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摘要 tP*Kt'4W Nc{&AV8Y_v
?HZ^V LO)!Fj4| 对于许多光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的纳米或微米结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。 x[0hY0 ?[M ksOsJ~3) 设计任务 R2a99# J Xm>zT'B_tJ
43B0ynagN gDLS)4^w 如何优化抗反射蛾眼结构的参数?最小化空气-PMMA界面的反射? =RD>#' sUK JfSe;
v 扫描参数空间以获取初始解 .!0Rh9yyl g`S;xs
`vAcCahM -sKtT 9o 初始解#1的参数优化 b3R(O| vr4r,[B6y
DGb1_2ZQ [1kQ-Ko` 最终设计#1的性能分析 }BI6dZ~2A { m~)~/z?
y-nv#Ejr BQ Vro;#Jc 初始解#2的参数优化 6P717[ jIe
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|6bvUFr K=JDl-#! 最终设计#1的性能分析 v9Ii8{ca| 6[ 3 K@
\L~^c1s3r 6_QAE6A VirtualLab Fusion一瞥 WVpx / kK*%TP
bS~Y_]B \u[} VirtualLab Fusion中的工作流程 D|)_c1g WXmfh 构建光栅结构 QR"+fzOL ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces .G\](% ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
2hF^U+I} 分析光栅衍射效率 '=Zm[P, ─ Grating Order Analyzer
q#mL-3OQ 使用参数运算寻找初始解 Q%d%Io\-t ─ Usage of the Parameter Run Document k6ry"W3 使用参数优化确定最终解 !;*flr`/ TBPu&+3 VirtualLab Fusion技术 J+IItO4% ?.<
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