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摘要 R-Q1YHUQM q83~j `ZJ$ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 }=hoATs B`B%:#  {*
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?'^6Xh Yv>BO K 不同光栅周期的衍射效率 ^ Y7 /Ow ZJ9Jf2 c  `8(h,aj; E ;! <Z4 考虑光栅周期的选择 So=nB} b[? lW$&fu DHF  d{yIy'+0/ 偏振相关衍射特性 \$'m ^tVU BY*2yp }7
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Q+d.%qhc 偏振相关衍射特性 v1nQs='
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?+n&hHRg 基于参数优化的光栅设计 `z}vONXpAX ,g/ _eROJ 具有固定周期的二维参数优化 u
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