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摘要 w7O(I" 9m<>G3Jr 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 MJK L4 G *iYs,4  9#1lxT4% .>&kA f. 设计任务 GXsHc, Fm*O&6W\@A  [*,`a]z-Q rQ/S|gG L8!xn&uyP= 光栅特性与参数的严格分析 \5J/ ? rNZN}g 不同光栅周期的衍射效率 KaOS!e' xHI>CNC,  +HNQ2YZ N>VA`+aFR 考虑光栅周期的选择 VN*^pAzlF OrHnz981K  Nk]r2^. z[ 偏振相关衍射特性 eRD s?n3F .4U::j}
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