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摘要 ` D4J9;|;] Ufo- AeQo 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;$0za]x "@ ox=  sRoZvp 5 T !;<Fy"p 设计任务 ~I'Z=Wo 06=eA0JI  R 6M@pO {fX4 T;FzKfT| 光栅特性与参数的严格分析 |d:URuG~:I I A+>dr
不同光栅周期的衍射效率 *w%;$\^ P- vA.7  cBm3|@7 m:"2I&0)WM 考虑光栅周期的选择 Kfj*#) SZ -7+Fb^"L  'ugG^2Y 偏振相关衍射特性 ow`\7qr ^Jkj /n'
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zR5D)`Ph 基于参数优化的光栅设计 #Io#OG<7b N;D+]_;0| 具有固定周期的二维参数优化 ]_-$
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制造公差分析 - 设计＃2 ~ 01]VA S@*@*>s^
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