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摘要 ? ^`fPH= 7'|aEH 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 #IU^(W pB7^l|\]
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32`Z3- pX1Us+% 在VirtualLab Fusion中查看 #er% q: '"'RC O n+nZ;GJ5d {.J<^V VirtualLab Fusion的工作流程 v 7%}ey[ #L57d •构造光栅结构 6E.[F\u - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] (*AJ6BQWa - 倾斜光栅的高级配置[用例] 6;;2e> e •分析光栅衍射效率 U\M9sTqo - 光栅级次分析器[用例] "F4 3q8 P •使用参数优化优化光栅参数 A8Km8" •使用参数运行进行容差分析 g1(5QWb - 参数运行文档的用法[用例] Hx!eCTO:* 5hTScnL%
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