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摘要 25f[s.pv8 !</U"P:L 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ?0'e_s l{*m-u 5&;
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_k :BY $vK,Gugcx 在VirtualLab Fusion中查看 xbxzB<yL ]&; In,z 0i"2s}^+_ ~+d{:WY VirtualLab Fusion的工作流程 GGo~39G "uP*pR^ •构造光栅结构 s Pb}A$' - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] @-L\c>rqT - 倾斜光栅的高级配置[用例] W}N7jPO} •分析光栅衍射效率 3#x1(+c6 - 光栅级次分析器[用例] *3P+K:2lNG •使用参数优化优化光栅参数 Wuo:PX'/9 •使用参数运行进行容差分析 \D k >dE&I - 参数运行文档的用法[用例] 7x77s ?(U;T!n
=fH5r_n $&qLrKJ VirtualLab Fusion技术 $a8,C\me? d2NFdBoI
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