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摘要 \# #~Tq }2G'3msx 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 4D0"Y#&G !x&/M*nBE
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IrM Ws86; +%oXPG? 在VirtualLab Fusion中查看 6gNsh P @G2F:} 4Y;z46yM% 8-+Ce;h VirtualLab Fusion的工作流程 KHI-m9( r_F\]68 •构造光栅结构 }e
s - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] X6kCYTJYF - 倾斜光栅的高级配置[用例] VMZ\9IwI •分析光栅衍射效率 ( hp 52Vse - 光栅级次分析器[用例] JN,4#, •使用参数优化优化光栅参数 &Y4S[- •使用参数运行进行容差分析 z;J"3kM - 参数运行文档的用法[用例] JgEPzHgx !g'kWE[
//xK v{3fI C|*U)#3:F VirtualLab Fusion技术 uD4on} TgoaEufS<
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