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摘要 GXi)3I% {b|V;/ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 s.^+y7$ b,x$wP+
,zEPdhTX &z05h<] 设计任务 iD.p KG ASB3|uy _
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结果-容差分析 u"Mf xW` p7W9?b9
OaKr_m Pv|sPIIB7 结果-容差分析 Yyw9IYB; `# :(F z
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1!4R~ VirtualLab Fusion一瞥 NtmmPJ|5 `_sKR,LhB
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|[4R VirtualLab Fusion中的工作流程
3L-$+j~u X/buz 构建光栅结构 LVy`U07C V −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] <kJ`qbOU −倾斜光栅高级设定[用例] ju!V1ky •光栅衍射效率分析 *TrpW?]Y& −光栅阶序分析器[用例] &;RBG$t •使用参数优化进行光栅参数优化 R[kF(C& •使用参数运行的容差分析 Q9c*I,Oj kkJ8xyO G^Y^)pc] ps^["3e VirtualLab Fusion技术 x_9#:_S' l3+G ]C&<
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