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摘要 O39 t&EizH$ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 &M<"Fmn 0%%U7GFB5
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EjFpQ|-L| poW%F zj VirtualLab Fusion一瞥 9v`sSTlSd \ui'~n_t]
c`\/] }(!Uq VirtualLab Fusion中的工作流程 `<d.I%} \1joW# 构建光栅结构 ~mt{j7 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] [ !#Dba# −倾斜光栅高级设定[用例] PkyX,mr#1 •光栅衍射效率分析 L5 Cfa- −光栅阶序分析器[用例] ?2da6v,t •使用参数优化进行光栅参数优化 ~K #92 •使用参数运行的容差分析 Uv>e :U7 ; = FV12(U 2IW!EUR DFQ`(1Q VirtualLab Fusion技术 ^j${#Q 1G12FV>M
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