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摘要 6'|J
; KiH#*u S 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 g)xzy^2e sRt|G
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+ +D(P=4hi x/bO;9E%U4 VirtualLab Fusion中的工作流程 6Q>:g"_ .:l78>f 构建光栅结构 <J[*~v%( −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] yd#4b`8U` −倾斜光栅高级设定[用例] ]
M_[*OAb •光栅衍射效率分析 h,
+2Mc< −光栅阶序分析器[用例] pr@8PD2% •使用参数优化进行光栅参数优化 ]+d.X] •使用参数运行的容差分析 )<-kS ~A>3k2N/e &..'7 % 0fj~s; VirtualLab Fusion技术 |F9/7 z\5+ 'X@j
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