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摘要 xQ}pu2@d /xsF90c\h 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 d74d/l1*{ Z>QF#."m
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O[I\A[* BUWqIdg VirtualLab Fusion一瞥 <oR a3Gi(% xDG2ws=@D
".W8) }T; P~aG VirtualLab Fusion中的工作流程 kW*f.! qs1 ?IYD 构建光栅结构 24E}<N,g −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] S0B|#O%Z −倾斜光栅高级设定[用例] B|R@5mjm •光栅衍射效率分析 =T-&j60 −光栅阶序分析器[用例] GNgKo]u •使用参数优化进行光栅参数优化 ey2S#%DF] •使用参数运行的容差分析 2/?`J 9f2UgNqe9 -7*ET3NSI/ {t0)
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