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摘要 "a
g_ #.><A8J 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 bPOx~ CMh w*
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@Dy.HQ~ -hzza1DP 设计任务 s/^k;qw "tR.'F[n4P
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VMWg:=~$ s]N-n?'G" 结果-容差分析 6+5Catsn R\}YD*
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.I^ekF VirtualLab Fusion一瞥 f*],j =5`@:!t7
q(7D8xG;F ?a%i|Z7! VirtualLab Fusion中的工作流程 `VsGa M@ kZ(Rkv 构建光栅结构 d]3sC −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] nrIL_ −倾斜光栅高级设定[用例] m'tk#C •光栅衍射效率分析 3\+p1f4 −光栅阶序分析器[用例] fYy.>m+P1 •使用参数优化进行光栅参数优化 dmz3O(]$ •使用参数运行的容差分析 1%"`
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