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摘要 .ts0LDk0f QM ZUt 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 'q92E( adI!W-/R:
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dP$8JI{ zb;(?!Bd# VirtualLab Fusion一瞥 2(m85/Hr\; *N-;V|{
id;#{O$ ~h)@e\Kc VirtualLab Fusion中的工作流程 [ WV@ w 7R9nMGJ@ 构建光栅结构 ]V36-%^ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] fvcW'T}r −倾斜光栅高级设定[用例] d>%gW* •光栅衍射效率分析 z\fW )/ −光栅阶序分析器[用例] YDQ:eebg( •使用参数优化进行光栅参数优化 I@0z/4H`` •使用参数运行的容差分析 YV/>8*i DX}B0B ~;M)qR?]W #l*a~^dhqC VirtualLab Fusion技术 .dx
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