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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 9]1LwX!M2  
    ASr@5uFR  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]9JH.fF  
    f&RjvVP?s  
    ?5,I`9  
     %Nob B  
    建模任务 7VWy1  
    ta PqRsvu  
    W )Ps2  
    概述 e#k)F.TZ:%  
    ?32i1F!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 'T3xZ?*q=  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G-;EB  
    RZ ?SiwE  
     !- 5z 1b)  
     3SPXJa\i  
    光线追迹仿真 x~{W(;`!  
    #uCfXJ-  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 UFUEY/q  
    •单击go！ -%{+\x2  
    •获得了3D光线追迹结果。 4T v=sP  
    K\s<<dRa  
     q9a6s {,  
    v$5D&Tv  
    光线追迹仿真 jc#gn& 4C  
    =En1?3?  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 b^P\Q s*m  
    •单击go！ 3a=\$x@  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #YK3Ogb,  
    mQ:YHtHE.F  
     t=s.w(3t  
    8LXK3D}?3  
    场追迹仿真 yUO%@;  
    b@K1;A! S  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 R|wS*xd,  
    •单击go！ l0g+OMt  
    t -fmA?\  
    && PZ;  
     2+ g'ul`  
    场追迹仿真（相机探测器） . NxskXq)  
    *O)i)["  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 W`TSR?4~t?  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 u),.q7(m  
    =ReSlt  
     %[azMlp<  
    N%e^2O)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） s vS)7]{cU  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7m?fv Ky  
    CteNJBm  
    [8oX[oP  
     r>CBp$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ua_,c\iL  
     "s(|pQh;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (*V!V3E3#  
    Z,M2vRj"qT  
     av:%wJUl,$  
     
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