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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 7G:s2432  
    }v@dL3{f  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 d:_t-ZZo  
    cCSs  
    ob+b<HFv  
     bH-ub2@qO  
    建模任务 +s"hqm  
    }Q)#[#e  
    {i1| R"ta  
    概述 dl.N.P7}4  
    b1?#81  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 QEm|])V  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Eav[/cU  
    H ;7(}:.  
     0v6)t.]s  
    aC^\(wp[  
    光线追迹仿真 b IH;  
    CWf / H)~  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 )}''L{k-  
    •单击go！ xqXo0  
    •获得了3D光线追迹结果。 *w$W2I>b7  
    (ScxLf=]  
     9TU88]  
    7WZrSC  
    光线追迹仿真 E0BMv/r8b  
    fs|)l$Rd  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ,368d9,rDz  
    •单击go！ BmBj7  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Nw:GCf-L  
    anuL1f XO  
     rJd,Rdt.  
    ZkgV_<M|  
    场追迹仿真 =31"fS@  
    t^VwR=i  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :KH g&ZX7  
    •单击go！ [l:x'_y  
    H1 2Fw'2  
    !y#"l$"xK  
     6f;fx}y  
    场追迹仿真（相机探测器） |VKK#J/  
    oYHj~t  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {Z{75}  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 TbA}BFT`  
    kM!kD4&  
     Pnw]Tm}g  
    5Y?L>QU"  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /TE_W@?^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YW-usvl&  
    W"724fwu&  
    agkA}O  
     yH7F''O7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d[r#-h> dS  
     ]5BX :%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }{M#EP8q+  
    fz;iOjr>  
     :#2Bw]z&z  
     
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