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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 _1EWmHZ?  
    Z?AX  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 g]a5%8*{  
    Pi&8!e<  
    VHlo}Ek<#  
     %*Aq%,.={  
    建模任务 ouO<un  
    |o0?u:  
    ^}\!Sn  
    概述 p^/6Rb"e  
    ;VlA~tv  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \&Bvh4Q  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~SD8#;v2  
    Vub ($  
     =Ti[Q5SZ  
    *!p#1fE  
    光线追迹仿真 U) B^R  
    6Q}WX[| tQ  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !b:;O +[  
    •单击go！ 2S#|[wq(  
    •获得了3D光线追迹结果。 NJ];Ck  
    1Ka,u20  
     W]l&mr  
    pipO ,n  
    光线追迹仿真 O77bm,E  
    i{.%4tA4  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *~H\#N|x  
    •单击go！ WY3D.z-</  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %M KZ':m  
    lf?dTPrD  
     0Xx&Z8E  
    ^;[|,:8f7L  
    场追迹仿真 F9\T <  
    O>)Fl42IeD  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1NI%J B  
    •单击go！ GR ^d/  
    jXCSD@?]K  
    pjVF^gv,*  
     5q Y+^jO]o  
    场追迹仿真（相机探测器） [Kc"L+H\  
    ,y%4QvG7a  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 X6`F<H`  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `of` uB  
    -YD+x PD  
     "z/)> ?Wn  
    /CW 0N@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (|kcSnF0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |2'u@<(Z/  
    )!tqock*v  
    KDQqN]rg  
     b IZuZF>*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -<MA\iSP  
     >3\($<YDZM  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :\sz`p?EC  
    +^0Q~>=VD  
     F{;{o^Pv  
     
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