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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 D9r;Ys%  
    y dzvjp=  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 itO1ROmu  
    ~;wR}s<}(  
    Q6[h;lzGV  
     =D 5!Xq'|  
    建模任务 .d4&s7n0  
    ;/^O7KM-  
    z-S8s2.Fd  
    概述 f5nAD  
    qMBEJ<o  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /q`f3OV"  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &#]||T-  
    Nn5sD3z#  
     baf@"P9@\A  
    {JcMJZ3  
    光线追迹仿真 <,nd]a  
    E{}eYU  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 d[ce3':z  
    •单击go！ bgmOX&`G  
    •获得了3D光线追迹结果。 n]wZ7z  
    "&kXAwe  
     As#/ln$nE  
    ?kc,}/4  
    光线追迹仿真 'KNUPi|  
    qI\B;&hr(  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 xx%*85<  
    •单击go！ bEzy KrN\  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 T:udw  
    :Us NiR=l  
     NVo =5  
    Uw>g^[V;  
    场追迹仿真 qIgb;=V  
    7:S)J~s*O  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _57 68G`P  
    •单击go！ &eX^ll  
    l8!n!sC[,  
    HBgt!D0MZ  
     Pexg"328  
    场追迹仿真（相机探测器）  *U4eL-  
    S 5nri(m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 / =:X,^"P  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ("@ih]zYf  
     qr7_3  
     q^kOyA.  
    N7qSbiRf<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） H52] Zm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +Tp>3Jh2  
    9xUAfU  
    ?bK^IHh  
     lA7\c#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） r}])V[V  
     Y- c_ 2 )  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t{ScK%S6  
    `Jon^&^;|  
     l8ZzKb-  
     
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