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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 ujI 3tsl  
    S3%.-)ib  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 z*??YUT\M  
    WLg6-@kxXs  
    '6Pu[^x  
     :F!dTD$  
    建模任务 YR^Ee8_H  
    l8hvq(,{  
    rCnV5Yb0O  
    概述 >Hd~Ca>  
     [%gK^Zt  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 n?<# {$  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +X2 i/}  
    r'mnkg2,  
     >oM9~7f  
    wiK@o$S-  
    光线追迹仿真 rR),~ @]sL  
    HJ2]Nz:   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *@$($<pY&  
    •单击go！ Lz#$_Am'H  
    •获得了3D光线追迹结果。 o{S}e!Vb  
    #T gz,e9  
     ^C,/T2>  
    fl5UY$a2-  
    光线追迹仿真 jm#F*F vL  
    ^a:vJ)WB7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .g(\B  
    •单击go！ !}Woo$#ND  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 (dO'_s&M]/  
    o3\SO  
     :*F3  
    @'F8|I 6  
    场追迹仿真 M2zos(8g  
    5CRc]Q #@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 web8QzLLB  
    •单击go！ 5tgILxSK  
    KL:6P-3  
    @ ^XkU(m  
      }]n>A  
    场追迹仿真（相机探测器） m_r@t*  
    j]ln :?\  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 uV/HNzC  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Yt O@n@1  
    =yhn8t7@]  
     ()3x%3   
    ]U^d1&k  
    场追迹仿真（电磁场探测器） E |GK3/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'WM~ bm+N  
    SG+i\yu$h0  
    w ;s ]n  
     ]\os`At  
    场追迹仿真（电磁场探测器） D<D k1  
     ]` &[Se d  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #BT6bH08X  
    g.`t!6Hc  
     &=6cz$]z  
     
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