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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 )LXoey!aZ  
    =:xV(GK}  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 =yk Rki  
    QLn5#x~xb  
    )bB"12Z|8  
     _aXP ;kFMi  
    建模任务 @{J!6YGh  
    u+2 xrzf  
    y1,?ZWTayr  
    概述 jRv;D#Hp  
    LVR;&Z>j  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Zd[y+$>  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 FbNH+?  
    !(MA5L-  
     ,XWay%8{E  
    ZI2K-z'e  
    光线追迹仿真 /t$+Af,}  
    o 1 hdO  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zh#OD{  
    •单击go！ X_-Hrp!h  
    •获得了3D光线追迹结果。 p^pQZ6-  
    EuKrYY]g  
     #hy5c,}>  
    %fn'iKCB  
    光线追迹仿真 %KJ"rvi4K  
    9[t]]  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?J^IAF y  
    •单击go！ O+(. 29  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 GsP@ B'  
    @!L@UP0  
     n&2=6$*,k  
    eeI9[lTw  
    场追迹仿真 6SW|H"!!  
    )H[h53bIq  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 bGMeBj"R  
    •单击go！ |!4B Wt  
    z. _C*c  
    c"f-$^<  
     Y5h)l<P>B  
    场追迹仿真（相机探测器） r 48;_4d)D  
    2HvTM8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 IEIxjek  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 + ,vJ7  
    jt'Y(u]2  
     0] :*v?  
    C)&gL=O*$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ((RpT0rP\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o5*74Mv  
    |h^G$guw  
    1eE]4Z4Q  
     Y-neD?VN  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,{`o/F/  
     ~$y#(YbH  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HonAK  
    6S! lD=  
     +e\:C~2f28  
     
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