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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 XNU[\I  
    TCd1JF0  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 e Ert_@}  
    -H%806NAX7  
    N}*|*!6hI  
     27t23@{YL  
    建模任务 ci@U a}T  
    4D`T_l  
    %-6I  
    概述 YAIDSZ&l[  
    s C9j73 vf  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,\|W,N}~  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 JWa9[Dj  
    C NNyz$  
     2B# ]z  
    /l,V0+p  
    光线追迹仿真 ( *(#;|m  
    SY` U]-h  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 62&(+'$n  
    •单击go！ DFz,>DM;  
    •获得了3D光线追迹结果。 =-`}(b2N  
    \S)\~>.`y!  
     ['MG/FKuv  
    _M/ckv1q@  
    光线追迹仿真 1A4!zqT;  
    pr8eRV!x  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 z\,g %u41  
    •单击go！ k;w1y(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 h7NS9CgO  
    -;TqdL@  
     -,Q !:  
    4+od N.  
    场追迹仿真 vs/.'yD/C  
    (KDUX t.  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4|uh&4"*@W  
    •单击go！ X ?/C9  
    dyRKmLb  
    zo-hH8J:  
     bu[v[U4  
    场追迹仿真（相机探测器） U5]{`C0H?  
    i2SR.{&  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~a:0Q{>a  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ')w:`8Tl  
    _uuxTNN0x*  
     l+'@y (}Q  
    MO+g*N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） %vvA'WG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $DZ\61  
    \0iF <0oy  
    |1zoT|}q  
     #Jv|zf5Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） t<M^/xe2  
     _-$"F>  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 MzRws f  
    LfEeFF=#n  
     P08=?  
     
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