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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 oSn! "<x  
    l`b1%0y  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 qx2E-PDL;<  
    ~{4n}*  
    D1X4|Q*SK  
     J%\- 1  
    建模任务 ?GO SeV  
    c~^CKgr~R9  
    x6^l6N  
    概述 :xFu_%7  
    yuHZ&e  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 S9 G+#[.|  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Tm)GC_  
    GIm " )}W  
     FxCZRo&  
    sno`=+|U]  
    光线追迹仿真 (#!] fF"!x  
    oZvA~]x9\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !K3})& w  
    •单击go！ 9 Uha2o  
    •获得了3D光线追迹结果。 XXW]0{k:y  
    c,y|c`T 2  
     oW 1"%i%  
    weAn&h|  
    光线追迹仿真 =)I"wR"v$  
    H8@8MFz\  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 e-X HN  
    •单击go！ SY-ez 91  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 p%q.*trUb9  
    :O $@shV  
     T><{ze  
    v6s\Z\v)Q`  
    场追迹仿真 d2rL 8jW  
    TUh&d5a9H  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 DY9fF4[9a  
    •单击go！ d0(Cn}m"c  
    vSOT*0r  
    6M ^IwE  
     ^0^( u  
    场追迹仿真（相机探测器） M[, D  *  
    8|O=/m^]  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $<B +K  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 'p%= <0vrr  
    CqqXVF3  
     zv //K_  
    qmZ2d!)o  
    场追迹仿真（电磁场探测器） x# VyQ[ok  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 b~7Jh:%@;  
    kt^yj"C>  
    bpCNho$  
     E&*: jDg  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ![ZmV  
     7K&}C;+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 V vu(`9u]  
    Lf. 1>s  
     nH@(Y&S  
     
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