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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 11-24
    摘要 <m"yPi3TY  
    }vRs n-E@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :h1-i  
    2Rc'1sCth-  
    Ng?n}$g*  
     (%huWW j  
    建模任务 ef\Pu\'U  
    ? 8g[0/  
    `c^ _5:euX  
    概述 c]`}DH,TJ  
    uUUj?%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 N:j"W,8  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 S{7*uK3$  
    }+K SZ,  
     m L#-U)?F  
    @'.(62v  
    光线追迹仿真 (Yz EsY  
    #%4-zNS  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 f?wn;;z`  
    •单击go！ n&Q{ [E  
    •获得了3D光线追迹结果。 `B{N3Kxbp  
    ?*I2?   
     =@U~ sl [  
    U[/k=}76  
    光线追迹仿真 sgdxr!1?y  
    };[~>Mzl  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 x:W nF62  
    •单击go！ o +sb2:x  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 B w1ir  
    ;iJ*.wVq  
     6Y^UC2TBs  
    !/W[6'M#p  
    场追迹仿真 a"^0;a  
    &ah!g!o3  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :-B,Q3d  
    •单击go！ QMoh<[3qu  
    HS"E3s8  
    5?+ECxPt  
     {VBx;A3*I  
    场追迹仿真（相机探测器） [A?Dx-R;(  
    XK[cbVu  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8A{n9>jrb  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~y.{WuUD  
    5mwtlC':l?  
     p\]Mf#B  
    JivkY"= F  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $Hcp.J[O  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C~PrIM?  
    GAONgz|ZI  
    3n;UXYJ%  
     \ct)/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1Zc1CUMG  
     %$/t`'&o-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7%C6hEP/*W  
    H79XP.TtE  
     BsV2Q`(gT  
     
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