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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 vSf ?o\O  
    m5w ZS>@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 dH8^\s .F  
    J/ ! Mt  
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     (}jYi*B  
    建模任务 S="teH[  
    Kx[u9MD  
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    概述 ZM$}Xy\9  
    _pM~v>~*+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %%-hax.x0X  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Aqp$JM >  
    Z6Kw'3  
     AR}q<k6E  
    4PsJs<u  
    光线追迹仿真 ]`S35b  
    s2'] "wM  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 h_{//W[  
    •单击go！ 2wKW17wj,  
    •获得了3D光线追迹结果。 .&R j2d  
    &N^^[ uG  
     _ h7qS  
    %?`TyVt&0  
    光线追迹仿真 2S`D7R#6s  
    0 jszZ_  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 `VB]4i}u  
    •单击go！ K$K6,54y  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。  | D?lF  
    |` +G7?)Y  
     Q8^fgI|  
    TGe)%jZ  
    场追迹仿真 w)u6J ,  
    DQ a0S7I  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 sp VE'"^  
    •单击go！ F_ Cp,  
    2G4OK7x  
    B > sTM  
     k&kx%skz  
    场追迹仿真（相机探测器） 6,D)o/_  
    Ba]J3Yp,z  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 mV58&SZT  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Oy,`tG0  
    oK!W<#  
     [kjmEMF9i  
    /1Q i9uit  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R>05MhA+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "AAzBWd/  
    /M.@dW7 w  
    pjh o#yP  
     ?'I[[KuG  
    场追迹仿真（电磁场探测器） c,\!<4  
     3Xun>ZQ-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 kN99(  
    jZ;dY~fE  
     j |N8"8"  
     
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