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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 55$by.rf?  
    R o-Mex2  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 up:e0di{  
    ~7~nU>Vv  
    d9Q%GG0]  
     2&tGJq-E  
    建模任务 r ,b  
    M/1Q/;0P  
    /au\OBUge  
    概述 (b{ {B$O  
    2iH ,U  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 m7RWuI,  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -Q$$2QW!  
    QGshc  
     P%/+?(?  
    CiMy_`H  
    光线追迹仿真 nmSpNkJ5  
    ?L'k2J  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I) Y$?"  
    •单击go！ 8"<!8Img  
    •获得了3D光线追迹结果。 DG:=E/@  
    JGO>X|T  
     ^)fB "!s  
    (O<lVz@8  
    光线追迹仿真 Zy!\=-dSm  
    CLYcg$V  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 . }=;]=  
    •单击go！ F8=6!Qj  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 H/L3w|2+  
    vW4 f3(/  
     Uc6U!X  
    \\/X+4|o'  
    场追迹仿真 gf3/kll9  
    *uv\V@0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 '.dW>7  
    •单击go！ }Ns_RS$  
    ~(&xBtg:}  
    EAq >v t83  
     yqBu7E$X  
    场追迹仿真（相机探测器） FcWu#}.p}  
    qkBnEPWZy  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 F_21`Hj  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6Edqg   
    >)5vsqGZaK  
     ~z'0~3  
    H~$|y9>qI  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &G"]v]V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6 XG+YIG6w  
    3{_+dE"9  
    t)m4"p7  
     1u` Z?S(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） N&GcWcq  
     un /eS-IIh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H{}6`;W  
    WI6er;D  
     jG^~{7#  
     
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