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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 F,$ypGr  
    7{DSLKtN  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 .Vb\f  
    3ES3, uR  
    `n`aA)|<  
     5Og=`T  
    建模任务 MF~Tr0tOC  
    L+$9 ,<'[  
    -D30(g{O  
    概述 y@Ga9bI7  
    >_um-w#C  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 x4bj?=+  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [n;GP@A ]R  
    6`hHx=L  
     O'<cEv'B*  
    M8' GbF=1  
    光线追迹仿真 hNJubTSE+)  
    _0]{kB.$_  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 G8voqP  
    •单击go！ = ^A/&[&31  
    •获得了3D光线追迹结果。 OQm-BL   
    T*sB Wn'am  
     ,~,{$\p   
    N=P+b%%:Z  
    光线追迹仿真 } h pTS_  
    x_TtS|   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 G_UxR9Qo  
    •单击go！ %.*?i9}  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 6S2v3  
    F)g.xQ  
     rG|*74Q]  
    cfEi]  
    场追迹仿真 Vr=c06a2  
    Tp0^dZM+  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 L=wg"$  
    •单击go！ $5)ZaYx<  
    tv1Z%Mx?Cp  
    D.\s mk  
     X3j<HQcK  
    场追迹仿真（相机探测器） g[~"c}  
    'YcoF;&[C  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 aZMMcd   
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 -K K)}I`  
    g^EkRBU  
     KvrcO#-sL  
    ywRw i~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ?!J{Mrdn  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qs]7S^yw  
    hh!^^emo  
    _g(4-\  
     _DK%-,Spu  
    场追迹仿真（电磁场探测器） okO^ /"  
     Ux Yb[Nbc  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'v"{frh   
    {)QSxO  
     IW.~I,!x  
     
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