切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 446阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    7089
    光币
    29586
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 +=*ZH `qX  
    n/?_]  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {?82>q5F  
    J::dY~@  
    ^z_~e@U  
     z7}@8F  
    建模任务 h[Hw9$31  
    0h* AtZv_  
    0HE@L_$;2  
    概述 E[ ,Ur`>:  
    hD"Tjd` P  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 M!,WU[mP  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |[0|j/V%O  
    8[eH8m#~$  
     =OCHV+m  
    jZ)1]Q2  
    光线追迹仿真 I~Ziq10  
    i-$]Tg  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /Ue~W, |  
    •单击go！ mIt=r_  
    •获得了3D光线追迹结果。 }oU0J  
    &R25J$  
     ~ujY+ {  
    hl8[A-d(R  
    光线追迹仿真 (c_E*>c)  
    P)4SrqW_  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 H_Vf _p?  
    •单击go！ ]wZG4A  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 -B'<*Y  
    N|wI=To  
     yy@g=<okt\  
    yqZKn=1:  
    场追迹仿真 V|Smk;G  
    dG\dGSZ\h  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {eL XVNR7R  
    •单击go！ 46sV\In>?  
    Q! WXFS  
    ;>bcI).  
     /g@!#Dt  
    场追迹仿真（相机探测器） J#"@~Q+a`@  
    *bsS%qD]  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  s'RE~,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 KFx4"f%  
    4vC { G.  
     Qt` }$]  
    &c%;Lo  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R^4JM,v9x`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N$i!25F`  
    [_q3 02  
    @p~f*b4H?  
     M|xd9kA^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） RG4T9eZq  
     `ZhDoLpH<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 DAa??/,x7  
    yz.a Z  
     yy8h8{=g  
    'W(!N%u  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表