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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 2?QJh2  
    Z+"&{g  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Rs`a@ Fn  
    &r%*_pX  
    PoJ$%_a}  
     er0D5f R  
    建模任务 _sVs6AJ  
    H |UL5<:]D  
     2JP?6N  
    概述 t\i1VXtO  
    %v[ Kk-d  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |a{]P=<q  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 vC:b?0s#(  
    'c&@~O;^d  
     C8EC?fSQ  
    }4SSo)Uv/  
    光线追迹仿真 8[)]3K x  
    .KucjRI  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 N@6OQ:,[F  
    •单击go！  7E`(8i  
    •获得了3D光线追迹结果。 V:BX"$ J1  
    | ",[C3Jg  
     S2E HmE&  
    H@E" )@92  
    光线追迹仿真 Cc)P5\j h  
     p &>A5  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 pYl{:uIPN8  
    •单击go！ ]TgP!M&q  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !y-2#  
    lt6;*z[  
     i1I>RK  
    `uh@iD'KI  
    场追迹仿真 DBJA}Cw  
    >}b6J7_  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 W[E3P,XS  
    •单击go！ =kh>s$We  
    p*`SGX  
    N4 mJU'_{  
     d-;9L56{P  
    场追迹仿真（相机探测器） oNB,.:  
    12sD|j  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `%M-7n9Y  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 IT`=\K/[4  
    oL Vtu5  
     kq~[k.  
    C$LRY~ \  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7B]:3M6d  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E0 eQ9BXh  
    u'i%~(:$\)  
    i*CQor6|z  
     B>Cs&}Y!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） wB>S\~i  
     y[p$/$bgC5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #)0Tt>d6  
    D!}K)T1~R  
     w,Zx5bBg%  
    jD/7/G*  
     
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