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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 !EQ@#qW/  
    n}xhW'3hU=  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 E2L(wt}^  
    PCnQ_A-Q  
    wB>r (xQ'  
     ^KB~*'DN~s  
    建模任务 rw)kAe31  
    :R):b  
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    概述 ``ekR6[8c  
    oPc\<$  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0N=X74  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .lhn;*Yi  
    S]sk7  
     r3rxC&  
    _ .i3,-l)  
    光线追迹仿真 G,=yc@uq  
    l8K5k:XCU3  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $N2SfyX7  
    •单击go！ >s3gqSDR  
    •获得了3D光线追迹结果。 0tk#Gs[  
    56hA]O29O  
     *=Z26  
    &/.hx(#d  
    光线追迹仿真 *b}>cn)<v  
    j<%])  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ,a?\M M9$  
    •单击go！ ]<DNo&fw  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %=j3jj[  
    6B$q,"%S@  
     vhr+g 'tf  
    acd:r%y  
    场追迹仿真 E99CmG|"  
    6pE :A@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =G~~?>=@2  
    •单击go！ c':ezEaC  
    BcA31%  
    /W#O +  
     !e#xx]v3  
    场追迹仿真（相机探测器） hM@\RPsY  
    l6[lJ0Y  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !k$}Kj)I  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 KRsAv^']  
    ,(G%e  
     _ nT{g  
    )_zlrX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） PU9`<3z5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l^NC]t  
    M4Z@O3OI E  
    5=?i;P  
     :<#`_K~'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]Pn !nSg  
     cd;NpN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 TY;U2.Ud  
    LE?u`i,e=+  
     !rxp?V n -  
    ;)DzC c/  
     
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