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摘要 O ^~IY/[ jI\@<6O 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 k^%=\c
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 L/:l>Ko>7
g0zzD v7~ 建模任务 vz4(
k/ >M2~p& Si  5m~9Vl-& 概述 ; "Gy5 * `+zf7-f •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 G"F O%3&| •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G7&TMg7i ,A` | jF
 aDRcVA$* mh}D[K=~% 光线追迹仿真 }
KyoMs Nksm&{= 6S •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %htI!b+"@ •单击go！ 4O-LLH •获得了3D光线追迹结果。 Ps@']]4>W DehjV6t
 Un K7&Uo LnE/62){N 光线追迹仿真 [+D]!& P p48enH8 CO •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [>v1JN •单击go！ Im~DK •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 GrG'G(NQ i5TGK#3o
 c~(61Sn] w|&lRo@1 场追迹仿真 hYzP6?K" .*` ^dt •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 x,mt}> •单击go！ gNW+Dq|X% d?X,od6  t sg`c ;{
;'{7 wr|9 场追迹仿真（相机探测器） 5.VPK 338A W2X`%Tx0 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~b]enG5xS4 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 oVK:A;3T| 7vZO;FGtG
 Dazm8_x ;w . la 场追迹仿真（电磁场探测器） =. 8n K
y •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f%EHzm/V Chnt)N`/B4  Dc0=gq0
)
Z3KO 场追迹仿真（电磁场探测器） }T$BU>z33N
D' !JV1Q •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r =x"E$ LujLC&S
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