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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 Ri\\Yb  
    %|j8#09  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 > `mV^QD  
     /PTq.  
    PEMBh?)g  
     o=6 <?v7  
    建模任务 ?L0|$#Iw  
    \}~71y}  
    ym+Ezb#o  
    概述 G1\F7A  
    %w?C)$Kn\  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {T-^xwc  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 j+rY  
    r`\@Fv,&#  
     |>OBpb  
    A!Tm[oqu  
    光线追迹仿真 T Y% =Y=  
    4oL .Bt  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (>AQ\  
    •单击go！ :K5?&kT  
    •获得了3D光线追迹结果。 +prUau*  
    %~} ,N  
     ^!x! F  
    3y,2RernK  
    光线追迹仿真 m'N8[ o|h  
    mHV{9J  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 f'w`<  
    •单击go！ &H P g>  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 V]GF53D  
    ve:Oe{Ie{  
     T "hjL  
    ~$C}?y^ a  
    场追迹仿真 `HO] kJpX  
    ; O(Ml}z  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #oR`_Dm)P  
    •单击go！ ~)n[Vf  
    H^54o$5  
    SF9NS*mr  
     TZ `Ypi7r  
    场追迹仿真（相机探测器） _RUL$Ds  
    ijUu{PG`X  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~#i2reG5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 D.Cn`O}  
    5Zd oem  
     QnP?j&  
    r d-yqdJ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j S[#R_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 : p)R,('g  
    .9WOT ti  
    p*)I QM<B  
     -FI)o`AE  
    场追迹仿真（电磁场探测器） TOF V`7q;3  
     r>7 +&s*yk  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 u|T]Ne  
    #oFyi @U  
     ,Q3OQ[Nmh  
    G;iH.rCH  
     
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