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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 J0!V(  
    r9ulTv}X  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -#ZLu.  
    =.3#l@E!C  
    ~F,~^r!Jtu  
     w ,j*I7V  
    建模任务 Q!+AiSTU  
    h&'|^;FM  
    aC,adNub  
    概述 Blxa0&3  
    qX@e+&4P0  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 QY;(Ny/(y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 cUR :a @  
    ?#z$(upQ  
     *V2;ds.~  
    aj5HtP-  
    光线追迹仿真 +?*;#=q  
    kSz+UMC-7:  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 n6oOk nCna  
    •单击go！ d0>U-.  
    •获得了3D光线追迹结果。 ~[Tcl  
    =ANr|d  
     z x-[@G  
    <U3X4)r  
    光线追迹仿真 Ih.+-!w  
    uyYV_Q0~;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 JR] 2Ray  
    •单击go！ ]yPK}u  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 e4z~   
     FSMM  
     `H! (hMMV  
    <odi>!ViH  
    场追迹仿真 tc'iKJ5)  
    T1d@=&0"  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 U"r*kO%  
    •单击go！ X~r9yl>  
    3'uXU<W!  
    t<v.rb  
     G J%^hr`P  
    场追迹仿真（相机探测器） k?fz @H8D(  
    5k0iVpjQ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /GgID!8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (,I:m[0  
    IS]A<}j/-  
     Ge2Klyi  
    TDo)8+.2 z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） '/I`dj  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .+9*5  
    ??/bI~Sd  
    *ak0(yLn)  
     ZD&F ,2v  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "p O  
     \Eh5g/,[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dUv@u !}B  
    O&7.Ry m  
     $]|3^(y``  
    9y7hJib  
     
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