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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 $+ \JT/eG9  
    ]T<RC\o  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 e=6C0fr  
    a '<B0'  
    CJLfpvV  
     m!<uY?,hf  
    建模任务 Daf;; w  
    CwzDkr&QC_  
    5DeAH ;  
    概述 "CQ:<$|$  
    _nW#Cl~  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ID=^497  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^paM{'J\\)  
    (d5kD#.N  
     "IdN*K  
    XuW>GT/  
    光线追迹仿真 {Ve_u  
    oGZ%w4T  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 h1N{;SWQ  
    •单击go！ &q[`lIV,L  
    •获得了3D光线追迹结果。 }W"/h)q  
    &14Er,K  
     3hzKd_  
    a^GJR]] {  
    光线追迹仿真 pj'[ H  
    }W* q  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 czp}-{4X  
    •单击go！ sZPA(N?  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 h-:te9p6>4  
    w>gB&59r  
     LZ*ZXFIg  
    ER$qL"H U  
    场追迹仿真 |"EQyV  
    >*goDtTjp  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 O9[Dae{i  
    •单击go！ ;l=ZW  
    kEM|;&=_  
    D~JrO]mi  
     m&8'O\$  
    场追迹仿真（相机探测器） EJ`"npU  
    /aD3E"Op  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 LYyOcb[x  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 N(^ q%eHp  
    jAb R[QR1%  
     R<x~KJ11c  
    :HQQ8uQfb  
    场追迹仿真（电磁场探测器） J9*$@&@S  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nhPua&  
    "_T8Km008  
    |.Y}2>{  
     &C=[D_h  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :NPnwX8w  
     hUGP3ExC*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jLG Q^v"  
    2^$Ha|  
     FpM0%   
    yd4\%%]  
     
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