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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 #&7}-"Nd  
    w4d--[Q  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 o+$7'+y1n-  
    b 'pOJS  
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     HF.^ysI  
    建模任务 >:|q&|x-  
    =>! Y{: y(  
    I}vmU^Y>  
    概述 : 7`[$<~E  
    [ E ]E  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 GHeVp/u  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 x HhN  
    E3iW-B8u8  
     %$Aqle[  
    _n` a`2C|m  
    光线追迹仿真 byfJy^8G  
    <N9[?g)  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 y7i*s^ys{  
    •单击go！ Os1>kwC  
    •获得了3D光线追迹结果。 d|yAs5@  
    !f+H,]D"  
     y)@[Sl>  
    Pw61_ZZ4B\  
    光线追迹仿真 >M/V oV  
    EL9]QI  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 SK#(#OQoh  
    •单击go！ Q{lpKe0  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 a,WICv0E  
    | ]X  
     [a wjio  
    eXf22;Lz  
    场追迹仿真 0ok-IHE<  
    (X3Tav  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9^G/8<^^>  
    •单击go！ 0PrLuejz  
    07^iP>?  
    } =]M2}  
     @0u~?!g@  
    场追迹仿真（相机探测器） x-?Sn' m  
    pj?f?.^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 x}8yXE"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 bq:(u4 3  
    R'@9]99  
     `I,,C,{C  
    h9G RI  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 57&b:0`p  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D5*q7A6  
    -3=#u_  
    D,k"PaLP  
     [CXrSST")E  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8Hn|cf0  
     ^8AXxE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?}U(3  
    io{@^1ab  
     EKsT~SS  
    @8pp EFw  
     
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