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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 -PAF p3w\y  
    J?P]EQU  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 8o)L,{yl  
    . 9 LL+d  
    +zWrLf_Rc  
     ]2+g&ox4'  
    建模任务 Su8'$CFz$.  
    -O&"|   
    ~"ONAX  
    概述 4FA|[An  
    .#^0pv!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 LD+f'^>>Z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 { U <tc4^  
    um8AdiK  
     h'^FrWaU/  
    {Iy7.c8S  
    光线追迹仿真 ~uPk  
    7tH]*T9e>  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 _g6m=N4  
    •单击go！ E!aq?`-'!  
    •获得了3D光线追迹结果。 2ALj}  
    RT"O;P  
     @)sc6 *lnW  
    jXEGSn  
    光线追迹仿真 ~4s-S3YzaM  
    U($^E}I2(  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E_[ONm=,  
    •单击go！ bNvAyKc-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xQz#i-v  
    oofFrAaT  
     QAvWJydb  
    /{N))  
    场追迹仿真 n0.8)=;2  
    WbzA Jx 5  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 rh$1-Y  
    •单击go！ `?SGXXC  
    WzG07 2w  
    }%{=].)L  
     Lr M}?9'  
    场追迹仿真（相机探测器） *IlQ5+3I  
    dy_.(r5[L]  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 z\[(g  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 hCLk#_  
    5c~'!:7  
     n.;3X  
    mcMb*?]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |p'i,.(c_W  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T` ;k!F46  
    u '@Ely  
    $f(agG]  
     bD@@tGr;W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Ak|b0l>^  
     ew"m!F#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ocP*\NR  
    wrK#lh2  
     dKe@JQ+-z  
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