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1. 摘要 o|n0?bThS- <?@46d?C 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 &$Ip$"H aeLo;!Jh x3F L/^S jP6G.aiO 2. 建模任务 0$h$7'a Y~?YA/.x
,ui'^8{gK @ y2Bq[' 3. 干涉条纹的变化 soK_l|z:J =y/Lbe}:
|N.q[>^R Kyiez]T6%q 4. 走进VirtualLab Fusion #Z5Wk }nERQq&A
6C}Z1lZl uXa}<=O 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 T $]L 5 ebwoMG,B-
'QS~<^-j" h0QQP 6. VirtualLab Fusion 技术 BrmFwXLP" xH-k~#
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