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1. 摘要 ;u(#-C2^{l Jbv[Ql# 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 N4[`pXM6 2l4*6rYa( bwC~ A_y]6~Mu?~ 2. 建模任务 yd}1Mx d3[O!4<T
} SNZl`> '^{:HR#i 3. 干涉条纹的变化 9hTzi+'S t'e\Z2
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NimW=X;c V JJ6q 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 hr/H vB tP.jJC~
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