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1. 摘要 j#rjYiYKy 9Ra*bP ]1 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 YBehyx2eK Yi1lvB?m Js.2R$o =* dI};l 2. 建模任务 tJ;<=.n .SzPig
rl"$6{Z} MEf`&<t 3. 干涉条纹的变化 `f?v_Ui-$ K Rs
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GgwO>[T o`,|{K$H 4. 走进VirtualLab Fusion q$x$ 4 ^E{M[;sF3y
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b 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Z\c^CN 8`~M$5!
qz[qjGdHg >U. 6. VirtualLab Fusion 技术 }ya@*jH S5'ZKk
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