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1. 摘要 (.c?)_G, ,Y*f] 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 *VH1(E`hl ,O2F}5|; Ul=`]@]] Y4_i=}\*vf 2. 建模任务 g%Z;rDfi by
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6V)# Yf |^1eL I 3. 干涉条纹的变化 * .e^s3q$ G/y< bPQ
Zy'bX* s| qG;WX n 4. 走进VirtualLab Fusion 0<Y)yNsV %>f:m!.
.(sT?M`\J aAX 8m 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 HJ2]xe09 eq"~by[Uq
W>"i0p d.{RZq2cp 6. VirtualLab Fusion 技术 !u^(<.xJ
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