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1. 摘要 sm0x LZ |zQ4u 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 fBRo_CU8! 0'V5/W 3Mxp)uG/ JRSSn] pw 2. 建模任务 @x"0_Qw ;pqg/>W'
plb!.g Y' %^NP}o 3. 干涉条纹的变化 \@8+U;d &j4 xgh 9
N['qgO/ ^aH\7J@Y 4. 走进VirtualLab Fusion R_sr?V|" @2Z#x
DE%KW:Hug S`#w+C#EW 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 RoU55mL
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ptDY3n~' Z&|Kki* 6. VirtualLab Fusion 技术 W#KpPDgZE *^f<W6xc
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