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1. 摘要 >Q /;0>V \78E>(`' 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 MrR`jXz -P;0<j@6k5 E]mm^i`| j,j|'7J% 2. 建模任务 n2K1X!E$ ,\6Vb*G|E>
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r84^/+"T 3. 干涉条纹的变化 p]mN) G(7%*@SX
Cy[G7A% EHC7b^|3} 4. 走进VirtualLab Fusion "-=fi
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=de'Yy:\- )$!b`u 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 _Tj&gyS G!6b
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]Ucw&B*@ NBPP?\1 6. VirtualLab Fusion 技术 +*8su5:[&@ ,>-j Ztm
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