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1. 摘要 Yqz(@( % {3=M-U~r 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 1}+lL)-! \GYh"5 $"&0 SA_5.. 2. 建模任务 m<L.H33' 4mR{\
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ufF$7@(+ WE\@ArY> 3. 干涉条纹的变化 lc1?Vd$ D?;8bI%"
S*;8z}5<\ 1{@f:~ v? 4. 走进VirtualLab Fusion z5G<h w$I<WS{J:Z
q\wT[W31@ S1oRMd)r 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 O=E"n*U 0>hV?A
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