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摘要 XR+ y41~ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 >zV !%(PN3*
1'!%$D hH~GH'dnaE 建模任务 D zdKBJT + jL0=a.; 6^sH3=# 仿真干涉条纹 ,FK.8c 6g *:Uq
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VirtualLab Fusion中的工作流程 i}/Het+( eL1)_M;{ •设置输入场 5"&=BD~D −基本光源模型[教程视频] |e91KmiqJ •使用导入的数据自定义表面轮廓 ]VoJ7LoCZ' •定义元件的位置和方向 cuh Z_l − LPD II:位置和方向[教程视频] /kV5~i<1S •正确设置通道以进行非序列追迹 Y'Yu1mH) −非序列追迹的通道设置[用例] OU[ FiW-E •使用参数运行检查影响/变化 i?D)XXB85 −参数运行文档的使用[用例] 8 Y))/]R 3'!*/UnU oC}2 Z{ .RpWE.C VirtualLab Fusion技术 Qov*xRO6 %+oV-o\ #A
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