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摘要 K k|mV&3J hQaa"U7[ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 EXti eHUb4,%P
vCn\_Nu;W& @s|yH" 建模任务 WP
!u3\91 [@/s! i @ %XH%.Ps/ 仿真干涉条纹 S0?e/VWy jfpbD
/ ~9c jc 走进VirtualLab Fusion >f(M5v(D\ p%IVWeZnx wQojmmQ :Jo[bm
VirtualLab Fusion中的工作流程 "89L^I (8Te{K h' •设置输入场 ;n.SRy6 −基本光源模型[教程视频] aMaqlqf •使用导入的数据自定义表面轮廓 !r4B1fX •定义元件的位置和方向 T2 /u7<D- − LPD II:位置和方向[教程视频] ;$FMOMR •正确设置通道以进行非序列追迹 QG5)mIJ −非序列追迹的通道设置[用例] ]s`cn}d •使用参数运行检查影响/变化 'W/AYF^5 −参数运行文档的使用[用例] Nzl`mx16 TmEh$M tD> qHR D:PrFa VirtualLab Fusion技术 Wx8n) 2tZ\/6G<
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