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摘要 gHc0n0ZV Yy]^_,r 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 2@WF]*Z T1yJp$yD"
+Mth+qg w cd,)GF 建模任务 {~7VA v~i/e+.h>y i_8q!CL@{ 仿真干涉条纹 & %4x qv|geBW sE7!U| 走进VirtualLab Fusion boAu f%ude@E3 }Jkz0 JY~ _hlLM,p VirtualLab Fusion中的工作流程 o#Q0J17i? I\J^@&JE •设置输入场 !}fq%8"- −基本光源模型[教程视频] Sgp$B: •使用导入的数据自定义表面轮廓 !ckmNE0 •定义元件的位置和方向 I g*68M< − LPD II:位置和方向[教程视频] 3>%oGbo •正确设置通道以进行非序列追迹 Iqe=) −非序列追迹的通道设置[用例] k@r%>Ul@ •使用参数运行检查影响/变化 #`R`!4 −参数运行文档的使用[用例] |#^##^cF/ IfF@$eO #=r:;,, z^s/7Va[ VirtualLab Fusion技术
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