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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 gHc0n0ZV  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 2@WF]*Z  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 o#Q0J17i?  
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    •设置输入场 !}fq%8"-  
    基本光源模型[教程视频] Sgp$B:  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 !ckmNE0  
    •定义元件的位置和方向 Ig*68M<  
    LPD II:位置和方向[教程视频] 3>%oGbo  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 Iqe=)   
    非序列追迹的通道设置[用例] k@r%>Ul@  
    •使用参数运行检查影响/变化 #`R`!4  
    参数运行文档的使用[用例] |#^##^cF/  
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    VirtualLab Fusion技术 QV/ o;  
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