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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 w=0zVh_`(  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 .G"T;w 6d  
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    建模任务 x@pzgqi3  
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    仿真干涉条纹 + EKp*Vje  
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    走进VirtualLab Fusion .t{uzDM  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 %O7?:#_  
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    •设置输入场 2+R]q35-  
    −基本光源模型[教程视频] (dV7N  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 %(s2{$3  
    •定义元件的位置和方向 3jto$_3'w  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] F:.8O ,%u  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 %uo#<Ny/ I  
    −非序列追迹的通道设置[用例] y'JJ#7O=  
    •使用参数运行检查影响/变化 ]xIgP%  
    −参数运行文档的使用[用例] P;|63" U  
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    VirtualLab Fusion技术 6r[pOl:  
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