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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 G"yhu +  
    =cR=E{20  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 z*^vdi0  
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    仿真干涉条纹 .YS48 c  
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    走进VirtualLab Fusion bb`DyUy ^+  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 eNt1P`2[  
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    •设置输入场 wAF#N1-k  
    −基本光源模型[教程视频] >RmL0d#B  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 0 s%{m<  
    •定义元件的位置和方向 @JD!.3  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] \%;5$ovV  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 7}e{&\0=l  
    −非序列追迹的通道设置[用例] SC0_ h(zb,  
    •使用参数运行检查影响/变化 za4:Jdr  
    −参数运行文档的使用[用例] { r8H5X  
     a*@4W3;7  
    n<7R6)j6  
    O#D N3yu?  
    VirtualLab Fusion技术 +@C|u'  
     A,|lDsvM  
     
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