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摘要 FGV
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s=8H<'l -XBZ1q 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 '09|Y#F /QXUD.(
8 建模任务 2 @#yQB1 dtTn]}J
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F 由于组件倾斜引起的干涉条纹 DDrR9}k CS[]T9|_
\YvG+7a >=@-]X2%j 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 2-4N)q Vl_6nY;
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