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摘要 MDGcK/$')f f?2Y np=@
3k5Mty `P)1RTVx 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 <E&1HeP %R7Q`!@8 建模任务 p%]*I? HJ !)D~M{
*<Fz1~%* {{tH$j?Q 由于组件倾斜引起的干涉条纹 \G#Qe*"'K }Xrs"u,
!})/x~~e 7$8z}2 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 %+Z0$Q
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