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摘要 41i#w;ojI vZ|Wj] ;o
is{H >#+" |1m2h]];Q 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 (usPAslr 9y;zk$O8 建模任务 ,'@t.XP KY9@2JG
uh3<%9#\k }`_x%]EJ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 GAlM:> -'j|U[&N\
G=m18Bv{ 9Hs5uBe 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 LC0g"{M er2# h
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