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摘要 8Xjp5 7S]<?>*
#cy;((z uB 7@uhw">mX 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 *'jI>^o 's_[#a;Vp 建模任务 >s|zrS) .bvEE
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2 由于组件倾斜引起的干涉条纹 !ZrU@T \qj(`0HG
0l+[[ZTV g?i0WS 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 4(D/~OG-6 KO3X)D<3
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