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摘要 40XI\yE_? C&gJP7 UF 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _QY "# }$ der
,*30Q b3H;Ea?^^< 建模任务 3@PVUJ0B| {Bx\Z0+'& 04:Dbt~=?p 光栅特性与参数的严格分析 _DQdo $[Ns#7K 不同光栅周期下的衍射效率 uJizR
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"2-TtQV! e_SlM=_u 关于光栅周期选择的考虑 w&H7S{ 9]iDNa/D
$8)/4P?OL `XQ5> c 偏振相关的衍射特性 _19k@a 'J}lnt[V
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+t f= S1."2AxO 通过参数优化进行光栅设计 ocvBKsfhE` @)}U\= 固定周期的2D参数优化 8wOr`ho B Tn|reXc0e
<7XdT 2D参数优化–设计1 pR$c<p zI(Pti
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R9HRbVBJf C/XOI> 制造公差分析–设计2 Tb[GZ,/%; z9gZ/d
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制造公差分析 _T1e##Sq, ?FLjvmE9
',.Xn`c #(7OvW+y 走进VirtualLab Fusion ;,<s'5icyg |1neCP@ng
hX^XtIC= \"Np'$4eu VirtualLab Fusion中的工作流程 OSBE5 + 7Z%N9
Tb}b*d3 V{8mx70 •构造光栅结构 vK$W)(Z −通过使用界面来配置光栅结构 35ng_,t$ [用例] _C##U; e! •分析光栅衍射效率
z\\MLyS −光栅级次分析器[用例] %T&kK2d; •使用参数运行搜索初始解决方案 Q5Wb) −参数运行文档的使用[用例] G#csN&|, •通过参数优化找到最终设计 g,.iM8 Z$q}y
79^ VirtualLab Fusion技术 (|WqOwmoUt 2JbCYCTC
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