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摘要 fH.:#O: gY AXUM, 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 %?^T^P
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 GS |sx @Taj++ua 建模任务 /# Y)nyE
Bcx-t)[  ! g /&ws& 光栅特性与参数的严格分析 !1f 8~"Z _W 41;OY 不同光栅周期下的衍射效率 4!Ez# \ vjG:
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=z'w-ARy 关于光栅周期选择的考虑 i^ 9Pi P|U
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 v* %#Fp,g8 mrDIt4$D 偏振相关的衍射特性 YmM+x=G: .3Nd[+[
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 2= X 2M 3 X$)cZQ 通过参数优化进行光栅设计 @SA*7[?P >W"gr]R< 固定周期的2D参数优化 <@FOqi{o{ O=}4?Xv
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 H8~<;6W 43pQF DWa 制造公差分析–设计2 5Qhu5~,K
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 H ];|<G y0>asl •构造光栅结构 tWQ_.,ld
−通过使用界面来配置光栅结构 LziEF-_
[用例] VTySKY+
•分析光栅衍射效率 S?n k9 T+
−光栅级次分析器[用例] K^`3 Bg
•使用参数运行搜索初始解决方案 1VK ?Svnd
−参数运行文档的使用[用例] :#58m0YLA:
•通过参数优化找到最终设计 xaSvjc\ sfi.zu G VirtualLab Fusion技术 V %'`nJ! !Uz{dFJf;
 h`dtcJ0
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