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摘要 3 R&lqxhg . <tq61 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 xTGxvGv8 BIj=!!
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F M4WiT<|]R 光栅特性与参数的严格分析 A_;8IlW a
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rDdzxrKg{ +ht|N[P 通过参数优化进行光栅设计 +-B^Z On e:AHVepj{ 固定周期的2D参数优化 >]%8Zx[ <[GYLN[0Q
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a ,7&" /+e~E;3bO VirtualLab Fusion中的工作流程 NcCvm# 8e0."o.6
IaFr& \M]-bw` •构造光栅结构 w{ `|N$ −通过使用界面来配置光栅结构 wNE$6 [用例] Q:6VYONN •分析光栅衍射效率 eo^/c+FG −光栅级次分析器[用例] 2AVc?
9@ •使用参数运行搜索初始解决方案 mKq" 34F −参数运行文档的使用[用例] woq)\;CK •通过参数优化找到最终设计 YwH./)r= nT#JOmv VirtualLab Fusion技术 H(Ms^8Vs~: t5
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