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摘要 }J+ ce 097Fvt=# 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2A*X Hvwb
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h_ !q~X*ZKse 建模任务 T@K7DkP@ z9k *1:  p |&ZJ@3 光栅特性与参数的严格分析 _Hz~HoNU (xk.NZn F 不同光栅周期下的衍射效率 a'
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 99J+$A1 N YCj; ,V VirtualLab Fusion中的工作流程 7sj<|g<h(_
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 qIB>6bv#x }16&1@8 •构造光栅结构 5iP8D<;o5
−通过使用界面来配置光栅结构 Q }WL/X5
[用例] 5i^ `vmK
•分析光栅衍射效率 [m~b[ZwES
−光栅级次分析器[用例] u@AI&[Z
•使用参数运行搜索初始解决方案 {?w "hjy
−参数运行文档的使用[用例] -<8B,
•通过参数优化找到最终设计 !A~d[</]m / rqqC(1 VirtualLab Fusion技术 - oU@D E^7C
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