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摘要 `uNvFlP $/<"Si&( 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 %2Xus9;k# \N`fWh8&
EU^}NZW&v: \'s$ZN$k 建模任务 +
4V1>e+ 9&O#+FU +K$5tT6b 光栅特性与参数的严格分析 %?]{U($? Qr|N) 不同光栅周期下的衍射效率 Nh1e1m? NRHr6!f>
(E"&UC[ (<]\,pP0_ 关于光栅周期选择的考虑 vDK:v$g =9;[C:p0-
>+Sv9S w&wA >q>& 偏振相关的衍射特性 gtaV6sD *2 qh3
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Gsds!z$ 2y9:'c| 通过参数优化进行光栅设计 _"?c9 #;\L,a|>* 固定周期的2D参数优化 KAj"p9hq+k ShL1'Z}^{
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Ph(]?MG\_ T7>48eH 制造公差分析–设计2 S+.21, eVqM=%Q
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v2W VirtualLab Fusion中的工作流程 Pk$}%;@v 1U717u
ggerh# <T(s\N5B= •构造光栅结构 f:_=5e
+ −通过使用界面来配置光栅结构 l\K% [用例] 5Z*
b(R •分析光栅衍射效率 Dl0/-=L −光栅级次分析器[用例] T$: >* •使用参数运行搜索初始解决方案 xL9:4'I −参数运行文档的使用[用例] *<B)Z •通过参数优化找到最终设计 v57N^DR{ >nc4v6s VirtualLab Fusion技术 whV&qe;sw Q{H17]W
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