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摘要 P8]ORQ6 ZF $[w| oAwi 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 TMtI^mkB:
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 %%x0w^ J P_kQ 建模任务 M/)B" q /sH0x,V  F#^L9 光栅特性与参数的严格分析 tzmETRwG 1!s!wQgS 不同光栅周期下的衍射效率 @|]G0&gn&? w?/f Z x
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mQnL<0_<f 关于光栅周期选择的考虑 )?9\$^I
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 y\z*p&I #\0TxG5'QA 偏振相关的衍射特性 Q.>/*8R; ? AT (S
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通过参数优化进行光栅设计 * H?t;,\ 2\ ,e 固定周期的2D参数优化 h%/ssB -2z,cj&E{
 ` )]lUvR 2D参数优化–设计1 .h a`)@MsZ
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 u5/t2 }^T iW":DOdi_ 2D参数优化–设计2 R^|!^[WE
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 a\>+=mua ;i/"$K 制造公差分析–设计2 u9 %;{:]h
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 $>|?k$(x *J.c $1#h 变化光栅周期的3D参数优化 Pb3EnNqYbM
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 W.z$a.<(rF )4Bwt`VX 制造公差分析 *-{Omqw
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 N:twq&[Y >Sh0dFqeT 走进VirtualLab Fusion wXP_]-
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 R !jhwY$ Q X sfp VirtualLab Fusion中的工作流程 ys/ `{:w8p
LPb]mC6#
 RFh U# %C6|-?TAd •构造光栅结构 5s#R`o %Z
−通过使用界面来配置光栅结构 CgN]dx* `
[用例] P nI)n=(\
•分析光栅衍射效率 pb~Ps#"Zg
−光栅级次分析器[用例] z9I1RX V
•使用参数运行搜索初始解决方案 t; h+Cf4
−参数运行文档的使用[用例] PpW
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•通过参数优化找到最终设计 z w K g #W_i{bdO VirtualLab Fusion技术 Ml' bZLwq \a\^(`3a[
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