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摘要 19U]2D/z DXR:1w[^ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 dp5cDF}l _lxco=qd=%
@%ECj)u`O q6d~V]4: 建模任务 g=8un`]7 Bi%x`4Lf b^CNVdo' 光栅特性与参数的严格分析 Me3dpF zTm]AG|0 不同光栅周期下的衍射效率 j;~%lg=) nms8@[4-
EG<s_d? Xl-e ! 关于光栅周期选择的考虑 2umv|]n+l| YA]5~ZE\
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. 偏振相关的衍射特性 Q[4:
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Jf;?XP]z hVpCB, 通过参数优化进行光栅设计 n~IVNB* \3YO<E!t 固定周期的2D参数优化 B9dt=j3j2 ()T[$.(
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gxNL_(A z,SYw &S 制造公差分析 }GwVKAjP knp>m,w
tl yJmdl 5N$E()m$ 走进VirtualLab Fusion (?)7)5H | s+0~$O;
I,@r5tKo ;U=q-tb VirtualLab Fusion中的工作流程 6]cryf&b d50Vtm\
>pyj]y^3 R{YzH56M •构造光栅结构 "Y:/=
Gx −通过使用界面来配置光栅结构 ed 59B)?l [用例] 3Mjj'5KH! •分析光栅衍射效率 'fV%Z −光栅级次分析器[用例] e0,'+;*=g •使用参数运行搜索初始解决方案 }Rvm &?~O −参数运行文档的使用[用例] cV
K7 •通过参数优化找到最终设计 W[bmzvJ_X @r^!{ VirtualLab Fusion技术 pE]?x$5U % ~]xuP[
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