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摘要 QqS?- L.]mC ! 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 x>E**a?!L 1zz.`.R2U
m{ya%F 5[1#d\QR 光栅详细说明 jNO8n)a&p 4Pm+0=E
:2n(WXFFI _tGR:E •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 cuw3}4m% •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 0lvX,78G ; N$jI&SI?} 光栅阶次分析器设置 ;7F|g
W1@Q)i •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 V
r0-/T •可以指定各种输出选项。 4cO||OsMU •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 rCmxv7"
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ItoSORVV JqDj)}fzX 常规设置 B1& |