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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
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    [技术]多参数扫描 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-11
    VirtualLab Fusion提供了各种工具，可以简化仿真工作流程。 其中非常重要的一个工具是参数运行，它可以自动扫描光学设置中多个参数的不同值范围。 您可以选择任何要改变的参数（物理值或数值参数），并检查它们对结果的影响。 特别是对于多个参数的情况，可以使用“参数运行”的不同配置模式：使用扫描模式检查所有可能的参数组合； 根据需要，以可编程/标准模式或随机方式定义特定组合。 5v9Vk` 3'  
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    参数运行文档的扫描模式会生成指定参数变化的所有组合的模拟序列，并提供特别适合的输出选项。 OM:v`<T!z  
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    可编程参数运行 "&QH6B1U6H  
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    在VirtualLab Fusion中，可以使用参数运行功能的可编程模式自由地自定义光学系统中的参数变化。 我们用一个特定的例子来说明这种可编程模式的应用。 @-"R$HOT  
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