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摘要 y]m:
{ .4)oZ 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ]HuB%G|t1V At4\D+J{Vs
cR/Nl pX Wye* ~t 建模任务 D=TS IJ@ VAz4@r7hkq
|Ev|A9J! q[,p#uJ] 正弦光栅—效率与高度(TEA) '|[V}K5m/f , ~O>8VbF
=cS&>MT fY[Fwjj3 正弦光栅—透射相位曲线 0\P5=hD)K _SAM8!q4,
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-%/ 正弦光栅—透射相位曲线 w\bwa!3Y GfE>?mG
k&ci5MpN SIJ7Y{\. 正弦光栅—衍射效率 QnWE;zN[7A ga5Q
im2mA8OH da7"Q{f+ 正弦光栅—效率与周期 '[
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{dpC;jsW1 k83K2>] 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 mWT+15\5r( `Nx@MPo
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_K1% VirtualLab Fusion工作流程 X30tO> g04^M( *yhA8fJ • 设置光栅结构 ?Lg<)B9
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 2;v:Z^& • 分析光栅衍射效率 |+
F ~zIu' −光栅阶次分析器[用户案例] \S;[7T • 通过参数运行检查不同参数的影响 <=.6Z*x+ − 利用参数运行文档[用户案例] 6Z_V,LD9L Y_%:%J
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