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摘要 +(x eT+J
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 JKer//ng4
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ugT2% #,{+3Y&5-+ 闪耀光栅—效率与高度（TEA） 7Cjd.0T=(
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'03->7V VirtualLab Fusion一瞥 v#=`%]mL
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 0J. dG/I% x\2?ym@ VirtualLab Fusion工作流程 ND<!4!R^ ,3I^?5 `V[!@b:
• 设置光栅结构 kP xa7
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 7VK}Dy/Vvn
• 分析光栅衍射效率 qH"G m
−光栅阶次分析器[用户案例] Y2o6kS{x
• 通过参数运行检查不同参数的影响 nN$Y(2ZN
− 利用参数运行文档[用户案例] XW Jw J
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 xoB},Xl$D #S%Q*k<hw VirtualLab Fusion技术 (wc03,K^
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