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摘要 L}>9@?;GW {nryAXK 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 l-t:7`=| M*t@Q|$:
eqeVz` 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) > %#J8 mWmDH74 建模任务 >GT0x jXZKR(L
y::KjB 0 K/MIDH 单次FMM仿真结果 =C`v+NPM)| bnD>/z]E
C!qW:H N_C\L2 参数扫描(1D) ]PUyX8'~ }{iR+MX
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esFx /DbwqBx 参数扫描(2D)
>kC@7h5) EVb'x Zr 7t@jj%F
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