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摘要 kPF9Z "l _OuWB" 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 M#As0~y bO'Sgc[]
.ys6"V|31 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) IE9XU9Kd E
,|xJjh 建模任务 Qj.l:9% }M3fmAP}
u%$Zqee 3b+d"`Y^S 单次FMM仿真结果 +eFFSt ev#;t@^
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Gx(w {j:hod@-:5 参数扫描(1D) @@8J6*y ]y,==1To
;)!Sp:mHX XVvK2( 参数扫描(2D) 0Sgaem` WXmn1^"kK} -lhLA`6_R
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