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摘要 %o>1$f]
wuCO Dz@~ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 u}$3.]-.?T
%|Vq"MW,I
 XQ>m8K?\d 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） n7vi@^lf(
uP:'e 8 建模任务 Jh1fM`kB5K
A]1](VQ)4
 Flsf5 Tr0 ZC"p^~U_e[ 单次FMM仿真结果 H`sV\'`!}
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 Nsb13mlY ' tekne 参数扫描（1D） L,$9)`j
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 p)`JVq,H/B G 9;WO * 参数扫描（2D） = >9`qcNW_ idHBz*3~ps  On ao'sjY
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