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摘要 $q$\GOQ 9
x,c68Q)g 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 R F2 XJJ
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 W!B4< 'Fjc 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） L "I HyUW
a[cH@7W.# 建模任务 ~JP zjE
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 `oWjq6 nJ})6/gK 单次FMM仿真结果 1p<?S}zg@
<\~#\A=;
 iC+H; s5< |M>k &p,B- 参数扫描（1D） knzED~ v@(
OYp8r
 _rJ SkZO g uWqHVSs 参数扫描（2D） ^JDV4>S\ |+~2sbM  64X # :t+
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