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摘要 Em4TEv lV]l`$XI 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 F>^k<E?,C ShCAkaj_
_9L2JN$R6 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) vja^O
b?w4Nx# 建模任务 :FxZdE B"+Ygvxb
rTmcP23] )K5~r>n& 单次FMM仿真结果 <#`<Ys3b*! 0CTI=<;
X-n'?= X^aujK^@ 参数扫描(1D) }O
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