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摘要 H0t#J Uqj$itqUQ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 pa?AKj] ;yjw(OAI*
LL+_zBP. 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) \)aFYDq#\ [ws;|nh 建模任务 gA1j'!\6l9 ^HTvw~]5
)u]=^ w_~tY*IwB 单次FMM仿真结果 e85E+S% \FCPD.2s+
]y$/~(OW Q4S:/"*v8 参数扫描(1D) "Z&_*F.[O /%t`0pi
_o+OkvhU N6S@e\* 参数扫描(2D) =0;njL(7; -sDl[ n3eWqwQ$5
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