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摘要 %u%;L+0Q[ E*)A!2rlK 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 O8hx}dOjA PYQ
Jy:@&c 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Q']'KU. ){GJgk|P 建模任务 %tkqWK: lg-`zV3
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htg; 单次FMM仿真结果 !(bYh`Uy C|H`.|Q
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