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摘要 WcHgBbNe 6&bY} i^K 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 p"l3e9&'j Z9575CI<
X@k`3X 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ?T>'j mmV= BNd^qB ? 建模任务 @O@GRq&V S+'rG+NJ
+n<k)E@>J Ga# :P F0 单次FMM仿真结果 8zA=;~GHP UJfEC0
Mk=mT3=# io#&o;M< 参数扫描(1D)
fv`O4 |N}P(GF
5B&;uY ?t+5s] 参数扫描(2D) ;9~6_@,@o IkrF/$r VQ0fS!5'
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