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摘要 IH"_6s#$& mj ,Oy 干涉测量法是光学计量学的重要技术。 它被广泛用于例如,表面轮廓、缺陷、高精度的机械和热变形。 作为一个典型示例,在VirtualLab Fusion中借助非序列场追迹,构建了具有相干激光光源的Mach Zehnder干涉仪。 证明了光学元件的倾斜和移位如何影响干涉条纹图案。 D 77$aCt O`_]n
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^Y^5 @x= 摘要 #Y>d@ S4%MnT6Uy 干涉测量法是光学计量学的重要技术。 它被广泛用于例如,表面轮廓、缺陷、高精度的机械和热变形。 作为一个典型示例,在VirtualLab Fusion中借助非序列场追迹,构建了具有相干激光光源的Mach Zehnder干涉仪。 证明了光学元件的倾斜和移位如何影响干涉条纹图案。 BtP*R,> cKAZWON8;v
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