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摘要 ?3q@f\fZ Y:psZ 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 RlRs}yF ,mKObMu q]FBl}nwl% fF;h V 设计任务 68e[:wf UpfZi9v?W
('hT iZxt/}1X0 仅位相透射设计(IFTA) 8(lR!!=q 1e}8LH7
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~<)vKk HBiBv-=, 超表面晶胞分析 mgQIhXH5L Ef@,hX
5 1dSFr<# Ri)uq\E/# 构建超光栅 vt1lR5 uMmXs%9T
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*Y6xvib9* 初始超表面设计的评估 L/Vx~r`P 2@khSWV
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{whvTN1#dh Or0O/\D) 走进VirtualLab '@=PGpRF P_Hv%g
6b=q-0yj /+|#^:@ VirtualLab Fusion的工作流程 1G^#q,%X_v 分析超表面晶胞 M(Zc^P}N - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] OW@\./nM 构造超光栅 w_wslN,) 分析光栅衍射效率 'LS z f/w - 光栅级次分析 [用例] Jxl6a: 光栅结构参数优化 *d*,Hqn *>[3I}mM
'T8W!&$ s:>\/[*>0c VirtualLab Fusion技术 v]VWDT
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