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摘要 F,*2#:Ki rkxW UDl 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 UdT&cG `S"W8_m i]it5 G/v|!}?wG 设计任务 r%0pQEl \,>_c
c {1V. >|wKXz 仅位相透射设计(IFTA) 8@E8!w&~ ; D1FAz
4\p$4Hs} tf4*R_6;1$ 仅位相透射设计(IFTA) g[/^cJHQ >@^<S_KVh
>&bv\R/ t,RyeS/ 超表面晶胞分析 Tdg6kkJ @u,+F0Yd
S[vRw]* >G]? 构建超光栅 e#tIk;9Xz m7JPH7P@BM
/:U1!9.y GGH;Z WSe 初始超表面设计的评估 8KFj<N>' '<TD6jBs
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V|TA:&:7 'f 3HKn<L 优化超光栅设计的评估 9hy'DcSy, tyB)HF
qk&gA}qF o~= iy 走进VirtualLab hGvq T, ' h0|[etaf
7R: WX: Yt{ji VirtualLab Fusion的工作流程 h6g:(3t6m 分析超表面晶胞 H"_v+N5= - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] L_^`k4ct 构造超光栅 `mrCu>7 分析光栅衍射效率 D3y>iQd - 光栅级次分析 [用例] TFO74^ 光栅结构参数优化 %VWp&a8 x@Y|v@}BE
Twx{' S Rs2-94$!5 VirtualLab Fusion技术 y`rL=N# EY~7oNfc`R 6+iK!&+=
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