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摘要 ]^C 8Oh< 0FOB5eBR 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 j"nOxs ?:wb#k)Z/ &MSU<S?1 -~{Z*1`, 设计任务 ]$ "eGHX L"&T3i
gNEcE9y2 MOD&3>NI 仅位相透射设计(IFTA) o^/
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x{:U$[_ !ekByD 超表面晶胞分析 kumV|$Y?kA ==[(Mn,%d
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}$u[ 4C`RxQJM VirtualLab Fusion的工作流程 Bb=r?;zjO 分析超表面晶胞 eF%M2:&c; - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] 9Vm
aB 构造超光栅 nDvfb*\ 分析光栅衍射效率 GUu8 N - 光栅级次分析 [用例] ^dpM2$J 光栅结构参数优化 }K) AjZ ;((t|
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