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摘要 W(oJ{R&m{ pb(YA/ 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 K{}U[@_tS o
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JC~L!)f BitP?6KX 超表面晶胞分析 :1q)l )T1U!n?^x
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LUGyc( h Zl5cHejM VirtualLab Fusion的工作流程 I}djDtJ 分析超表面晶胞 i6L>,^Dg - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] Zd~'%(q 构造超光栅 c418TjO; 分析光栅衍射效率 B?BB - 光栅级次分析 [用例] u@j]U|FpY 光栅结构参数优化 J9!}8uD OAoTsqj6
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