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摘要 3IHya=qN kK nz
F 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 _|.q?;C]$ 1,fjdd8OM; C.dN)?O `As.1@ 设计任务
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构建超光栅 8E{<t} |)QE+|?P
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初始超表面设计的评估 gl-O"%rMcL gTZ1LJ
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参数优化 |RX uO tn201TDZ]=
N8;/Zd;^ aLTC#c%U 优化超光栅设计的评估 [9NzvC 9I O#fGHI<43[
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D U#6%8~ VqLqj$P VirtualLab Fusion的工作流程 /qA\|'~ 分析超表面晶胞 k2muHKBlk - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] FS30RP3
`/ 构造超光栅 _c?&G` 分析光栅衍射效率 ]cLO-A - 光栅级次分析 [用例] u-0-~TwD 光栅结构参数优化 0t?: p7}xgUxX
?n9gqwO %{g<{\@4(; VirtualLab Fusion技术 xpt*S~ N=lFf+ (gZKR2hO
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