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摘要 L^ jC&
dF IB]VPj5 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 l8n[8AT1 `X]2iz J|64b bMK'J 设计任务 Uc%`? +Q f+W[]KK*PW
Zn=JmZ HDXjH|of 仅位相透射设计(IFTA) V~^6 TS( #}]il0d
J;]@?( Zo638*32 仅位相透射设计(IFTA) h/y} BrH`:Dw
`?S?)0B . L6@Rs 超表面晶胞分析 ]e3}9. moM&2rgdrQ
!v;_@iW3e Q9'p3"yoE 构建超光栅 k~EPVJh" kviSQM2
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(9q {J(44 r#Oz0=0u 参数优化 O?J:+L( )aA9z(x
s/&]gj" HkB<RsS$p_ 优化超光栅设计的评估 YbBH6RZr EYD{8Fw-
ML"P"&~u6 (c|qX-%rC 走进VirtualLab -$|X\#R s=@CeV@4W
~acK$.# ^3s&90 VirtualLab Fusion的工作流程 }
K-[/; 分析超表面晶胞 eu|q
{p - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] iBW6<2@oZF 构造超光栅 J0W).mD_H 分析光栅衍射效率 "@?kxRn! - 光栅级次分析 [用例] ,%G2>PBt 光栅结构参数优化 |(ju!& [jn;|
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