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    [技术]泰伯(TALBOT)光刻机 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    作为最著名的衍射效应之一，泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性纳米结构。继I.-H. Lee等人，我们在六边形网格上构造了一个圆锥形光栅掩膜版，并以深度方式模拟了Talbot图像的生成。 特别是，由于光刻过程中使用的紫外光是非偏振的，因此我们在示例中演示了如何为VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。 5G42vTDzS4  
     [ XY:MU e  
    圆锥形相位掩模的Talbot图像 aS1P]&  
    m%[2x#  
    在VirtualLab Fusion中对带有圆锥体的相位掩模版进行了建模。检测到不同的Talbot图像，以使柱形图案位于主像平面中，而孔图案出现在次像平面中。 bW 79<T'+  
     *|.yX%"k  
    用于光栅仿真的非偏振光–实例讨论 /n<Ncf  
    {H7$uiq3:B  
    示范了在VirtualLab Fusion的光栅仿真建模中，如何以两个正交偏振态的平均值建模非偏振光的影响。 X G@>1/  
    *M**h-p2'  
     
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