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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 p~e6ah?1  
     qI'a|p4fn?  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 !}vz_6)  
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    D #A9  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) a-kU?&* y  
     2h/` RefHJ  
    某一位置的Talbot图样 ;PbyR}s  
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    沿Z轴的强度 0ogTQ`2Z:  
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    走进VirtualLab Fusion ]6(NeS+  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 rv\<Q-uQ8  
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     构建光栅结构 dM$]OAT  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 5jbd!t@L  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 2B*9]AHny  
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    VirtualLab Fusion技术 d F),  
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