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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 u~[HC)4(0  
     reR><p  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 oW(lQ'"  
    {STOWuY  
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    建模任务 gF-<%<RV  
    >/mi#Y6  
     0D/u`-  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) B4yU}v  
     w`=_|4wFw  
    某一位置的Talbot图样 SF$7WG3Q  
     UhN16|x  
     L9Sd4L_e  
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    某一位置的Talbot图样 d0Xb?- }3M  
    =F'p#N0_2  
     yI/2 e[  
    /_<`#?5T(  
    不同位置的Talbot图样 fZ1v|  
    oNQ;9&Z,^2  
     W&CQ87b  
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    不同位置的Talbot图样 s3qWTdM  
    WA}<Zme3[  
     cKuU#&FaV  
    **_`AM~  
    沿Z轴的强度 g?` g+:nug  
    g?N~mca$  
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    _nu,ks+  
    走进VirtualLab Fusion rE0?R( _  
    !`=ms1%U  
     BCsz8U!  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 .{sKEVK  
     R}Pw#*B  
     构建光栅结构 w}+#w8hu  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] S^q)DuF5!  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] >dKK [E/[d  
    j1 _ E^  
     通过参数运行计算不同位置的强度 7pMl:\  
    - 参数运行文件的使用 [用例] u.;zz'|  
    vvA=:J4/i)  
    f!6oW(r-L  
    +Go(y S  
    VirtualLab Fusion技术 5v"r>q[ X  
    3sG7G:4  
     Oop5bg  
     
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