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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 fP:]s@$  
     ,ss"s3  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 FShUw+y  
    b}fC' h  
     Mk~U/oq  
    K\wu9z8M  
    建模任务 \s%g'g;  
    'Kk/ J+6U  
     GMg! 2CIU  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) k,$/l1D  
     hP8w3gl_  
    某一位置的Talbot图样 L@z[b^  
    #q K.AZi  
     ZBR^$?nj  
       k;jl3GV  
    某一位置的Talbot图样 2Y%7.YX"  
    c0Bqm  
     |||m5(`S  
    L){V(*K '  
    不同位置的Talbot图样 SHs [te[  
    XlD=<$Nk7  
     gxmo 1  
    unc6 V%  
    不同位置的Talbot图样 tvf5b8(Y-  
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     O:8 u^ TP  
    A9N8Hav  
    沿Z轴的强度 V,rR*a&p  
    C[<{>fl)  
     fPHV]8Ft|  
    nBd]rak'  
    走进VirtualLab Fusion 1) K<x  
    X31%T"  
     +,,dsL  
    :-#7j} R&  
    VirtualLab Fusion的工作流程 cuH5f}oc  
    pY-!NoES  
     构建光栅结构 [L7s(Zs>  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] QVRQUd  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Xp| 4WM  
    P=1K u|k  
     通过参数运行计算不同位置的强度 kP}l"CN4  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ftcLP  
    ( tq);m&  
    *Gv:N6  
    Q!3-P  
    VirtualLab Fusion技术 O7_y QQAA  
    <mki@{;|  
     A(uo%QE|  
     
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