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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 sS0psw1  
     Kp99y  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 T xN5K`q  
    v<-D>iJ  
     pu^1s#g8w  
    LZ@^ A]U  
    建模任务 O}%=c\Pb  
    >LNl8X:Cz*  
     \Z~m6;  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) vdo[qk\C  
     n|F`6.G  
    某一位置的Talbot图样 dNyc|P`U  
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    某一位置的Talbot图样 "y`?KY$[N  
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    不同位置的Talbot图样 WH/a#F  
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    不同位置的Talbot图样 ,CdI.kV>o2  
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    沿Z轴的强度 H4pjtVBr  
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    走进VirtualLab Fusion :')<|(Zy  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 ?@XO*|xkSk  
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    VirtualLab Fusion技术 WT0U)x( m5  
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