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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 YhKZ|@  
     Eh8Pwt7C@  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 R""%F#4XJ2  
    >%b\yl%0  
     &rq{v!=7  
    8pZ< 9t'  
    建模任务 ` vk0c  
    M7}Q=q\9  
     yOXO)u1n  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) C"<s/h  
     4 2) mM#  
    某一位置的Talbot图样 .=R lOK  
    F}?<v8#z0  
     Va<H U:<  
       H ZJL/=;  
    某一位置的Talbot图样 {[G`Z9]z&-  
    lPq\=V  
     qc-,+sn(  
    ?s%v0cF  
    不同位置的Talbot图样 `H%G3M0a  
    &k>aP0k"  
     'VnwG  
    Se^^E.Z,W  
    不同位置的Talbot图样 s&PM,BFf  
    8QgA@y"  
     ;<Qdy` T  
    3!9 Z=- tD  
    沿Z轴的强度 {ShgJ ;! Q  
    _kraMQ>  
     JNU/`JN9f  
    x-m/SI]_N  
    走进VirtualLab Fusion Z| 6{T  
    2!&pEqs  
     |H)cuZ  
    LK7Xw3  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ^QL 877  
    .J.vC1 4gi  
     构建光栅结构 W:s@L#-  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Y*YFB|f?  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] [I+9dSM1t  
    J1F{v)T '?  
     通过参数运行计算不同位置的强度 YcM;S  
    - 参数运行文件的使用 [用例] P~7.sM  
    ~UMOT!4}3  
    W Ox_y,  
    p]|LV)R n  
    VirtualLab Fusion技术 >.%4~\U  
    HCnf2td  
     zmFws-+A  
     
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