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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 j8n_:;i*  
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    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 K"u-nroHW  
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    建模任务 rk$&sDc/3  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) TNe,'S,%  
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    某一位置的Talbot图样 _8t5rF  
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    某一位置的Talbot图样 3ARvSz@5  
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    不同位置的Talbot图样 hOYm =r  
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    沿Z轴的强度 y8} fj=  
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    走进VirtualLab Fusion 590.mCm  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 Oi#4|*b{W  
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     构建光栅结构 NUxOU>f  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 5cc;8i  
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    VirtualLab Fusion技术 x"g-okLN  
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