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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 D42!#  
     p8&rl|z|  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 sN1I+X  
    # .OCoc  
     $B%3#-  
    &&96kg3  
    建模任务 }72+i  
    7~D5Gy  
     #_Lgo  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) k)9 pkPl  
     @_;vE(!5  
    某一位置的Talbot图样 }~<9*M-P  
    U\YzE.G1]S  
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    某一位置的Talbot图样 \ERHnh  
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    不同位置的Talbot图样 r"KW\HN8  
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    不同位置的Talbot图样 [;7$ 'lr%D  
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    沿Z轴的强度 $n<X'7@0  
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    走进VirtualLab Fusion r5!Sps3B  
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     %h=cwT6  
    mH4Jl1S&  
    VirtualLab Fusion的工作流程 t hQ)J|1  
    j"P}Wn  
     构建光栅结构 p=f8A71  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] {F*81q\  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] m<:g\_<  
    %4h$/~  
     通过参数运行计算不同位置的强度 #)<WQZ)  
    - 参数运行文件的使用 [用例] (d=knoo7A  
    E#M4{a1  
    W}>wRy  
    roWg~U(S  
    VirtualLab Fusion技术 Ap%tm)@1  
    aK'%E3!~=x  
     ,Je9]XT  
     
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