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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-20
    摘要 SSo~.)J  
     ^S:cNRSW"  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 " Tw0a!  
    ~m3V]v(q7  
     fjF!>Dy  
    p}cd}@cQ6  
    建模任务 Pi^ECSzQu[  
    T;xHIg4  
     !e9N3Ga  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) | 3hT{  
     19pND m2H1  
    某一位置的Talbot图样 Q;d+]xj  
    vEX|Q\b6'  
     @|jKO5Y  
       v[p/c.p?i  
    某一位置的Talbot图样 A?^A*e  
    \a9D[wk;@  
     a)YJ4\Qg[  
    1oXz[V  
    不同位置的Talbot图样 7<Z~\3x  
    dlU JYI  
     5#N"WHz!  
    O?+tY y?  
    不同位置的Talbot图样 8YT_DM5iI  
    P'F Pe55F  
     1( QWt  
    KqG/a  
    沿Z轴的强度 y^0HCp{  
    }R?v"6aBS  
     &-=G9sb,  
    9!Q $GE?vl  
    走进VirtualLab Fusion ~{3o(gzl  
    71}L# nQ  
     troy^H  
    CBz(hCaI  
    VirtualLab Fusion的工作流程 0& SrKn  
    `gBXeG2fn  
     构建光栅结构  ?fqkM  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 6@ (k8<3  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] /o}0oo5B  
    A{u\8-u  
     通过参数运行计算不同位置的强度 k7Be'E BKG  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 1,*Z_ F=y  
    Jte:l:yjtA  
    4BUK5)B  
    n79DS(t  
    VirtualLab Fusion技术 hjm .Ath  
    VUg~[  
     a_}BTkfHa  
     
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