通过连续减小CMOS传感器的像素尺寸,近几十年来已经实现了越来越好的空间分辨率,并且这种趋势有望继续。但是,这便将关注点放到位于每个像素顶部的微透镜上。当像素尺寸接近波长时,微透镜是否仍可以按预期聚焦光线?我们在选定的示例中使用VirtualLab Fusion研究了此问题。 /XwwB Ai5D[ykX 集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [K `d?&
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u# 使用严格的FMM / RCWA,我们模拟了像素大小等于或小于2 µm的CMOS传感器,尤其是研究了微透镜的有效性。 Med0O~T% ;h7O_|<% 使用界面配置光栅结构
>('Z9<|r: G4)X~.Fy 在VirtualLab Fusion中,光栅结构是在“堆栈”中配置的,根据光栅的几何形状,可以用一系列界面或特殊介质构造光栅结构。在这种使用情况下,说明了基于界面的光栅结构的配置。 ]PZ\N~T \Gy+y`