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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 Vx^+Z,y&QP  
    Y\ len  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
    COa"zg  
    q]Cmaf(  
    2. 建模任务 7N / v  
    v'*#P7%Kf  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    VSCOuNSc  
    ]N^a/&} *  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    nxP>IfSA  
    M3350  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ^6 F-H(  
    !K#Q[Ee  
     DKu4e  
       V&E)4KBOs  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 0S0 ?\r  
    %+U.zd$  
    ?A /+DRQ(  
    (8u.Xbdh  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) t3.;W/0_  
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    #=@( m.k:s  
    t8,s]I&  
    6. 3D仿真与结果对比 J)iy6{0"  
    C#`VVtei  
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