1. 摘要 rUAt`ykTmN
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 KeXt"U ,xAF=t 2. 建模任务 (XY`1|])` *JQ*$$5 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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5}Xi`'g, 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
g-]~+7LL ou<,c?nNM 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) f*9O39&|
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6]kBG?m0 N^@:+,<3 6. 3D仿真与结果对比 P8ZmrtQm
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_{gqi$Mi {IaDZ/XS6 7. 走进VirtualLab Fusion 5Z5x\CcC3
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$bFK2yx?= BenyA:W" 8. VirtualLab Fusion的工作流程 I~@8SSO,vH
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构造光栅结构 IF\ @uo`
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] o)^Wz
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] :."oWqb)
计算光栅结构内部的场分布 Q~VM.G
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L$.3,./ Ke?,AWfG 9. VirtualLab Fusion技术 kc't X;Sb^c"j1 hpPacN