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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-24
    1. 摘要 +x2JC' -H  
    4'O,xC  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       <A,V/']  
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    2. 建模任务 i=gZ8Q=H  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 83vMj$P  
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     yx]9rD1cz  
       YlrN^rO  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 3]*Kz*i  
    G8av5zR  
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    es)^^kGj6f  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Pe _O(  
    Tdi^P}i_  
     \FsA-W\X  
    N68mvBe  
    6. 3D仿真与结果对比 GLf!i1Z  
    ]rv\sD`[  
     hY&Yp^"}]^  
    gC1LQ!:;Oi  
    7. 走进VirtualLab Fusion -pC'C%Q  
    ZO<,V  
     A6]:BuP;c  
    Pxr/*X  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 "6jt$-?  
    a}y b~:TC  
    c>LP}PGk  
     构造光栅结构 9S%5 Z>  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ve d]X!  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] ?06gu1z/  
     计算光栅结构内部的场分布 z8X7Y >+SA  
    KL_ /f   
     WGv47i  
    vfkF@^D  
    9. VirtualLab Fusion技术 YmC}q20;  
    Gn2{C%  
    F'K >@y  
     
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