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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 #K4*6LI  
    "(f`U.  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       64umul  
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    2. 建模任务 2khh4?|\  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) z_&P?+"Df  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) e.8$ga{  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) h/m6)m.D  
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    FFvCi@oT  
    6. 3D仿真与结果对比 JvL{| KtyU  
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    7. 走进VirtualLab Fusion 6R4<J% $P  
    v&;:^jJ8  
     eB]R3j{  
    e|lD:_1i  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 _A'{la~k  
    @ D[`Oj)  
    r*XLV{+4  
     构造光栅结构 (CE7j<j  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] G;1?<3   
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] LW:1/w&pv  
     计算光栅结构内部的场分布 /+[63=fl  
    PJ\0JR7a  
     |He=LQ }0  
    E=w3=\JP  
    9. VirtualLab Fusion技术 NX,-;v  
    /nQ`&q  
    $[ z y  
     
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