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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 8小时前
    1. 摘要 S.*~C0"  
    jM)C4ii.-$  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       p *w$:L  
    kFLB> j97  
    2. 建模任务 1fU,5+PH  
    DGESba\2+  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    yHo[{,4itA  
    D<$XyP  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    WYcA8 X/  
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) SGL|Ck  
    #KlCZ~s  
     ;]2s,za)qs  
       Ol_q{^  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) "/{RhY<  
     XRN+`J  
     ~wm;;#_O  
    4'1m4Ugg  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) X;F8_+Np  
    5&Ts7& .  
     s"KJiQKGM  
    nAJdr*`a,5  
    6. 3D仿真与结果对比 7r# ymQ  
    !A3-0zN!  
     K>:]Bx#F7  
    5K%SL1N  
    7. 走进VirtualLab Fusion 6?tlU>A2s  
    d~J-|yyT  
     ^"\s eS  
    t&q N: J  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 {V19Zv"j  
    SymwAS+  
    :nN1e  
     构造光栅结构 `O?T.p)   
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] y m,H@~  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 75T_Dx(H  
     计算光栅结构内部的场分布 E_z;s3AXQ  
    BimjQ;jtI  
     UB`ToE|Ii  
    eYUr-rN+)z  
    9. VirtualLab Fusion技术 "^j>tii  
    :e1o<JgPt  
    AFvgbn8Qh  
     
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