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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 )'JSu=Ej  
    TR|; /yJ  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       0^=S:~G  
    ?k#% AM  
    2. 建模任务 J0IK =Y  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    'py k  
    DQSv'!KFO  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    vzL>ZBe Z  
    x{m)I <.:  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) VaB7)r  
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     GCrN:+E0FJ  
       ;(V=disU/  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) <YC{q>EMc  
    &7 ,wdG  
     aUnm9u r  
    ~'ovJ46tx  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) sEoS|"  
    -&c@c@dC  
     }~7>S5  
    }V 1sY^C  
    6. 3D仿真与结果对比 #\}hN~@F  
    7cC$)  
     -$7Jc=:>  
    _Qv4;a  
    7. 走进VirtualLab Fusion 4AGc2e'u  
    X@arUs7  
     :!%oQQO  
    A#T;Gi  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 @t_<oOI2  
    .m<-)Kx  
    L8V'mUyD  
     构造光栅结构 t*COzE  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 7l?=$q>k"  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] ?}W:DGudZ  
     计算光栅结构内部的场分布 .8"o&%$`V  
    (k[<>$hL*  
     |Oo WGVc  
    rTi.k  
    9. VirtualLab Fusion技术 8'zwy d3  
    b^v.FK46G  
    9U+^8,5  
     
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