这是一个一维周期线
光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景
材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、
玻璃(衬底)和空气(背景)。
nWl0R= A+}4 N%kh 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的
结构内的近场强度。
S偏振照明的近场强度
Ucy9fM P偏振照明的近场强度 XM 7zA^-
2kgm)-z 傅立叶变换后处理计算透射
衍射级的振幅。
vOj$-A--qU tQ|I$5jNJ 参数扫描 b;O+QRa v6n(<0: Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。
a,E;R$[! zSH#j RDV 它会生成以下
曲线图，显示反射和透射衍射级的强度：
}rQ*!2Y? >I!(CM":s$ 在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。
