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Ew )1O9f 内容简介 fyF8RTm{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 | /X+2K}3 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,Ma%"cWVC 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 zi_0*znw a|-ozBFR 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 V4ybrUWK 目录 `sLD>@m Preface 1 $EnBigb! 内容简介 2 C/!7E: 目录 i bMB@${i} 1 引言 1 W.(Q
u-AE( 2 光学薄膜基础 2 n
>@Qx$- 2.1 一般规则 2 v[4-?7- 2.2 正交入射规则 3 5
)z'= 2.3 斜入射规则 6 g!;a5p6 2.4 精确计算 7 Oh3A?!y# 2.5 相干性 8 !PfdY&.) 2.6 参考文献 10 0V+v)\4FE 3 Essential Macleod的快速预览 10 4vi[hiV 4 Essential Macleod的特点 32 Z_4|L+i<{ 4.1 容量和局限性 33 .|i/
a%J 4.2 程序在哪里? 33 h,ipQ> 4.3 数据文件 35 k !V@Q!>, 4.4 设计规则 35 eWr2UXv$ 4.5 材料数据库和资料库 37 r<[G~n 4.5.1材料损失 38 39bw,lRPV 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Ae*
6&R4 4.5.2 材料库 41 =J`M}BBx 4.5.3导出材料数据 43 PU-L,]K 4.6 常用单位 43 q4SEvP}fLx 4.7 插值和外推法 46 0*,]`A= 4.8 材料数据的平滑 50 GK[9Cm"v 4.9 更多光学常数模型 54 l\37/Z 4.10 文档的一般编辑规则 55 ;)Sf| 4.11 撤销和重做 56 C$d b)5- 4.12 设计文档 57 9vBW CCf 4.10.1 公式 58 H`4KhdqR 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 };g<|v*o 4.10.3 沉积密度 59 GO3KKuQ= 4.10.4 平行和楔形介质 60 jt0f*eYE8 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 )
D5JA` 4.10.4 性能 61 V6&6I 4.10.5 保存设计和性能 64 z,RjQTd 4.10.6 默认设计 64 xHe"c< 4.11 图表 64 _~ 3r*j 4.11.1 合并曲线图 67 deOk>v&U 4.11.2 自适应绘制 68 C6qGCzlG` 4.11.3 动态绘图 68 Lb~'
I=9D 4.11.4 3D绘图 69 13A~."b 4.12 导入和导出 73 (gUVZeVFP 4.12.1 剪贴板 73 2>g!+p Ox 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 s=Xg6 D 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 %zN~%mJG 4.13 背景 77 Fr#QM0--B 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 A$rCo~Ek 4.15 生成Rugate 84 G_#MXFWt 4.16 参考文献 91 W$J@|i 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 eC@b-q 5.1 Jobs 92 T2 TWb 5.2 创建一个新Job(工作) 93 zh5ovA% 5.3 输入材料 94 1-.(pA' 5.4 设计数据文件夹 95 jP.dQj^j& 5.5 默认设计 95 t')%;N 6 细化和合成 97 ,"5xKF+cS 6.1 优化介绍 97 {a,U{YJ\H
6.2 细化 (Refinement) 98 C?]+(P 6.3 合成 (Synthesis) 100 U:gvK8n 6.4 目标和评价函数 101 p3qKtMs0! 6.4.1 目标输入 102 YoSBS 6.4.2 目标 103 QC(ce)Y 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ej<`HbJ'Q 6.5 层锁定和连接 104 sW&h?jdf 6.6 细化技术 104 2+yti,s+/ 6.6.1 单纯形 105 j2oU1' b 6.6.1.1 单纯形参数 106 (Ft#6oK" 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 \"P$*y4Le 6.6.2.1 Optimac参数 108 HMw}pp: 6.6.3 模拟退火算法 109 ]) #?rRw 6.6.3.1 模拟退火参数 109 =(Y+u 6.6.4 共轭梯度 111 7! ~)a 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 vofBS 6.6.5 拟牛顿法 112 b@B\2BT 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 d!y_N&z|( 6.6.6 针合成 113 =<Ss&p> 6.6.6.1 针合成参数 114 10tt' : 6.6.7 差分进化 114 k)agbx 6.6.8非局部细化 115 pwl7aC+6d 6.6.8.1非局部细化参数 115 WL;2&S/{@ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 L(}/W~En 6.7.1 细化 116 )Ut9k 6.7.2 合成 117 dK]#.. 6.8 参考文献 117 !Hj
7|5 7 导纳图及其他工具 118 " t,ZO 7.1 简介 118 )!5"\eys 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 <W/YC2b 7.2.1 四分之一波长规则 119 AbB+<0 7.2.2 导纳图 120 _+<AxE9\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 0+k=gO 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Bpv"qU7 7.5 斜入射导纳图 141 :JK+V2B$H 7.6 对称周期 141 Dk}txw}# 7.7 参考文献 142 )H{OqZZYD 8 典型的镀膜实例 143 nX<yB9bXDg 8.1 单层抗反射薄膜 145 \cQ+9e) 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 `m\ ?gsw7 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 dZAb': 8.4 W-膜层 148 RggO|s+0;
8.5 V-膜层 149 Zig3WiD& 8.6 V-膜层高折射基底 150 /KhY,G'Z 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 v>5TTL~? 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 !X1
KOG 8.9 四层抗反射薄膜 153 Lt{&v^y 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ki8Jl}dr 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 8|Wl|@1( 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 E#\'$@8j 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 VVc-Dx 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 O`.IE? h# 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ~(eD 4" 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 )_K:A(V> 8.17 1/4波长堆栈 162 XXb,*u 3 8.18 陷波滤波器 163 ES5a`"H 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 [k=LX+w@ 8.20 褶皱 165 p+Fh9N<F9 8.21 消偏振分光器1 169 1t7T\~+F 8.22 消偏振分光器2 171 :~~\{fm 8.23 消偏振立体分光器 172 :Y4G^i 8.24 消偏振截止滤光片 173 Xliw(B'\a4 8.25 立体偏振分束器1 174 fAD
{sg 8.26 立方偏振分束器2 177 W1[C/dDc 8.27 相位延迟器 178 }KV)F,` 8.28 红外截止器 179 r:,"k:C 8.29 21层长波带通滤波器 180 P]4@|u;=6[ 8.30 49层长波带通滤波器 181 l(~NpT{=V 8.31 55层短波带通滤波器 182 :D:J_{HJ 8.32 47 红外截止器 183 p9eTrFDy? 8.33 宽带通滤波器 184 cB2~W%H 8.34 诱导透射滤波器 186 XpdjWLO]C< 8.35 诱导透射滤波器2 188 Jg@eGs\* 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 6W)#FO` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 "Wy!,RH 8.35 增益平坦滤波器 193 FZfhiIf 8.38 啁啾反射镜 1 196 vcSb:(' 8.39 啁啾反射镜2 198 xgWVxX^) 8.40 啁啾反射镜3 199 K# h7{RE 8.41 带保护层的铝膜层 200 cFoeyI# v 8.42 增加铝反射率膜 201 {QT:1U\. 8.43 参考文献 202 t#7owY$^ 9 多层膜 204 hD7Lgi-N)W 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 J!iKW 9.2 内部透过率 204 V.w!]{xm 9.3 内部透射率数据 205 5,du2 9.4 实例 206 lv&y<d; 9.5 实例2 210 |k)Nf+(}W
9.6 圆锥和带宽计算 212 #|6M*;l N| 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 )"s(;kU! 10 光学薄膜的颜色 216 #a!qJeWm0 10.1 导言 216 =2d h}8Mz 10.2 色彩 216 _%<qZT 10.3 主波长和纯度 220 /?:q9Wy 10.4 色相和纯度 221 y&2O)z!B 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 xOc&n0}% 10.6 色差 226 gm}zF%B" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 *YWk. 10.8 颜色渲染指数 234 4M>E QF& 10.9 色差计算 235 0lpUn74F 10.10 参考文献 236 :Q>{Y 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ptTp63+ 11.1 短脉冲 238 D=~3N 11.2 群速度 239 _8OSDW*D5t 11.3 群速度色散 241 <s5s<q2 11.4 啁啾(chirped) 245 :JzJ(q/ 11.5 光学薄膜—相变 245 kj!mgu#T 11.6 群延迟和延迟色散 246 |$c~Jq 11.7 色度色散 246 L_fiE3G|> 11.8 色散补偿 249 iuEQ?fp 11.9 空间光线偏移 256 j.UO>1{7 11.10 参考文献 258 k
E-+#p 12 公差与误差 260 EV N:3 12.1 蒙特卡罗模型 260 .Yxf0y?uv 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ;V4f6[<]'z 12.2.1 误差工具 267 tnC,1HV0[ 12.2.2 灵敏度工具 271 +JY]J89 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ),f d, 12.2.2.2 灵敏度分布 275 pv,I_" 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 I=}R
Z9 12.3 参考文献 276 r~T3Ieb 13 Runsheet 与Simulator 277 ]D|Hq4ug 13.1 原理介绍 277 $(;0;!t. 13.2 截止滤光片设计 277 L_}F.nbS5 14 光学常数提取 289 axdRV1+s 14.1 介绍 289 KgEfhO$W 14.2 电介质薄膜 289 ehQ~+x 14.3 n 和k 的提取工具 295 1'9YY")# 14.4 基底的参数提取 302 *x&y24 14.5 金属的参数提取 306 Nrk/_0^ 14.6 不正确的模型 306 aTPmW]w6 14.7 参考文献 311 Iqb|.v LG 15 反演工程 313 3+iQct[ 15.1 随机性和系统性 313 rfhvd wwD 15.2 常见的系统性问题 314 ??=7pFm 15.3 单层膜 314 ZVz`-hB 15.4 多层膜 314 }B2qtb3 15.5 含义 319 [^A>hs* 15.6 反演工程实例 319 `rI[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 =s1Pf__<k 15.6.2 反演工程提取折射率 327 %1e{"_$O9 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 VseeU;q 16.1 光学性质的热致偏移 329 !!UQ,yU 16.2 应力工具 335 C/A~r 16.3 均匀性误差 339 &!O~ f 16.3.1 圆锥工具 339 oH kjMqju 16.3.2 波前问题 341 %B-m- =gz 16.4 参考文献 343
FK| q* 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ?K^~(D8( 17.1 引言 345 VtJyE} 17.2 操作数 345 Fx' E"d 18 如何在Function中编写脚本 351 cY[qX/0~ 18.1 简介 351 ;U$EM+9 18.2 什么是脚本? 351 S#^-VZ~U4x 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 SDICN0X* 18.4 基础 352 P};GcV- 18.4.1 Classes(类别) 352 %%f(R7n 18.4.2 对象 352 b0R{cj=<[ 18.4.3 信息(Messages) 352 \9s x_T 18.4.4 属性 352 ~3s\Q%
18.4.5 方法 353 Com`4>0>I 18.4.6 变量声明 353 2Jc9}|, 18.5 创建对象 354 {]dH+J7 18.5.1 创建对象函数 355 9>HCt*|_8 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 $|r
p5D6 18.5.3 丢弃对象 356 cp<jwcc! 18.5.4 总结 356 ]*JH~.p 18.6 脚本中的表格 357 APT/z0X> 18.6.1 方法1 357 ;B@-RfP 18.6.2 方法2 357 |!H@{o 18.7 2D Plots in Scripts 358 X"3Za[9j 18.8 3D Plots in Scripts 359 @mId{w z 18.9 注释 360 .q9wyVi7GI 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 OFcqouGE 18.11 一个更高级的脚本 362 D'3. T{*rH 18.12 <esc>键 364 k>q}: J9V 18.13 包含文件 365 TkSeDP 18.14 脚本被优化调用 366 Ug,23 18.15 脚本中的对话框 368 %t<ba[9F 18.15.1 介绍 368 )NCkq~M 18.15.2 消息框-MsgBox 368 &u7oa 18.15.3 输入框函数 370 dt|f4XWF 18.15.4 自定义对话框 371 >@c~ M 18.15.5 对话框编辑器 371 cWNWgdk,`V 18.15.6 控制对话框 377 ;f)o_:(JJ 18.15.7 更高级的对话框 380 rE&+fSBD 18.16 Types语句 384 *oU-V# 18.17 打开文件 385 `Aa*}1 18.18 Bags 387 ,=Fn6' 18.13 进一步研究 388 @O%d2bgEWV 19 vStack 389 -C<Ni 19.1 vStack基本原理 389 |=W=H6h* 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 f:|O);nM 19.3 五棱镜 393 ('VHL! 19.4 光束距离 396 !wZ9P 19.5 误差 399 Jh)K0>R 19.6 二向分色棱镜 399 S|?Ht61k 19.7 偏振泄漏 404 y:3d`E4Xw 19.8 波前误差—相位 405 K?:wX(JYT 19.9 其它计算参数 405 aR~Od Ys 20 报表生成器 406 Yab=p
9V;; 20.1 入门 406 {-?8r> 20.2 指令(Instructions) 406 /)E'%/"A 20.3 页面布局指令 406 ~M4@hG! 20.4 常见的参数图和三维图 407 s.7s:Q` 20.5 表格中的常见参数 408 ,t=12R]> 20.6 迭代指令 408 pRLs*/Bw 20.7 报表模版 408 5zBayJh# 20.8 开始设计一个报表模版 409 :u$+lq 21 一个新的project 413 Lc:DJA 21.1 创建一个新Job 414 .A2u7*h& 21.2 默认设计 415 +)gXU Vwd 21.3 薄膜设计 416 mv+K!T6 21.4 误差的灵敏度计算 420 M?fRiOj 21.5 显色指数计算 422 ';hTGLq\X 21.6 电场分布 424 p* 后记 426 WgK |r~ bn$}U.m$- 对书籍感兴趣可以加微联系
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