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\f+R! 内容简介 <1hwXo Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 EmLPq!C 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 U_14CLsdG 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !D z:6r <q_H 3| 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ^goS?p/z 目录 YpuA,r;" Preface 1 H-I*; 内容简介 2 IQH;`+ 目录 i )hn,rmn
(P 1 引言 1 >(\[ $ 2 光学薄膜基础 2 FL` . (, 2.1 一般规则 2 zmuq4-. 2.2 正交入射规则 3 hzPpw. 2.3 斜入射规则 6 2!jbaSH(+ 2.4 精确计算 7 C@KYg/nYw 2.5 相干性 8 "+|>nA=7 2.6 参考文献 10 %,>,J` 3 Essential Macleod的快速预览 10 $bMeL7CN 4 Essential Macleod的特点 32 }}ogdq 4.1 容量和局限性 33 @GGyiK@ 4.2 程序在哪里? 33 fF>H7 4.3 数据文件 35 dkCSqNFL) 4.4 设计规则 35 8l?]UFM>C 4.5 材料数据库和资料库 37 jP+4'O!s[ 4.5.1材料损失 38 /AWHG._ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 LxMOs Nv 4.5.2 材料库 41 vnIxI a 4.5.3导出材料数据 43 $bD!./fl 4.6 常用单位 43 h7o{l7`) 4.7 插值和外推法 46 lMP|$C 4.8 材料数据的平滑 50 + J_W }G 4.9 更多光学常数模型 54 CMTy(Z8_) 4.10 文档的一般编辑规则 55 EQ7cK63 4.11 撤销和重做 56 Ef7Kx49I 4.12 设计文档 57 QO|ODW+D 4.10.1 公式 58 O" T1=4 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 I</Nmgf 4.10.3 沉积密度 59 w $2-t 4.10.4 平行和楔形介质 60 I\4I,ds 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 _&yQW&vH# 4.10.4 性能 61 M?]ObIM:5 4.10.5 保存设计和性能 64
f0:) 4.10.6 默认设计 64 #Xsby 4.11 图表 64 !hJ%{. 4.11.1 合并曲线图 67 k
9s3@S 4.11.2 自适应绘制 68 K)^.96{/@ 4.11.3 动态绘图 68 3aW4Gs<g 4.11.4 3D绘图 69 `M\L6o 4.12 导入和导出 73 qo'pU/@ 4.12.1 剪贴板 73 =#1/<q)L 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 64zO%F* 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Av/|={i 4.13 背景 77 xXLKL6F(\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 P^&+ehp 4.15 生成Rugate 84 r}XD{F}" 4.16 参考文献 91 $KtMv +m" 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 7_A(1Lx/l7 5.1 Jobs 92 w/ZV9"BhE 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ysvn*9h+& 5.3 输入材料 94 A(<-
U| 5.4 设计数据文件夹 95 ujDAs%6MZ 5.5 默认设计 95 [D/q% 6 细化和合成 97 na%9E8;:&v 6.1 优化介绍 97 `t#C0 6.2 细化 (Refinement) 98 6s>PZh 6.3 合成 (Synthesis) 100 `SOaQ|H
6.4 目标和评价函数 101 7rsrC 6.4.1 目标输入 102 qB"y'UW8 6.4.2 目标 103 b/<4\f 6.4.3 特殊的评价函数 104 MJ>(HJY6?% 6.5 层锁定和连接 104 EEF}Wf$f 6.6 细化技术 104 A7ck-9dT/L 6.6.1 单纯形 105 gSC8qip 6.6.1.1 单纯形参数 106 8vnU!r 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 +)ro
EJ_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 !$Mv)c/_u 6.6.3 模拟退火算法 109 qOkw6jfluh 6.6.3.1 模拟退火参数 109 c[ =9Z;| 6.6.4 共轭梯度 111 \$9S_z 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ,{YC|uB 6.6.5 拟牛顿法 112 C%G-Ye|@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 {jr>Z"/q 6.6.6 针合成 113 7!Fu.Ps
> 6.6.6.1 针合成参数 114 |RHX2sso 6.6.7 差分进化 114 7dxY07yu 6.6.8非局部细化 115 3",6 E( 6.6.8.1非局部细化参数 115 92eS*x2@ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ]_5C5m 6.7.1 细化 116 \5X34'7 6.7.2 合成 117 I]TL#ywF 6.8 参考文献 117 E&]S No< 7 导纳图及其他工具 118 zoO>N'b3) 7.1 简介 118 Fa@#nY|UV3 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 gl00$}C 7.2.1 四分之一波长规则 119 Ho*S>Y 7.2.2 导纳图 120 Pq;1EI 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 _es>G'S 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +U@P+; 7.5 斜入射导纳图 141 g5/8u2d 7.6 对称周期 141 Jd/5Kx 7.7 参考文献 142 (9'MdH 8 典型的镀膜实例 143 iZ)7%R?5 8.1 单层抗反射薄膜 145 FL0[V, 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 jhK&Z7; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %`%1W
MO 8.4 W-膜层 148 ^8E/I]- 8.5 V-膜层 149 +)Z,%\)Z 8.6 V-膜层高折射基底 150 Sd}fse 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3^wJ4=^ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 /C_O/N 8.9 四层抗反射薄膜 153 U{{RRK| 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 (#7pGGp*E 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 pcm| 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 CuU"s) 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 hF!yp7l; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 0+M1,?+GfF 8.15十五层宽带抗反射膜 159 W:hR81ci 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 S\GG(#b! 8.17 1/4波长堆栈 162 \fh.D/@ 8.18 陷波滤波器 163 a]$KI$)e 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
PDM>6U 8.20 褶皱 165 6 3Kec 8.21 消偏振分光器1 169 pO=bcs8Z 8.22 消偏振分光器2 171 Po9 3&qE 8.23 消偏振立体分光器 172 *Cj]j- 8.24 消偏振截止滤光片 173 Y"G$^3% (] 8.25 立体偏振分束器1 174 A~O
'l&KB 8.26 立方偏振分束器2 177 bbS'ZkB\ 8.27 相位延迟器 178 G
}TT- 8.28 红外截止器 179 wf<uG|90 8.29 21层长波带通滤波器 180 6WI_JbT~ 8.30 49层长波带通滤波器 181 ()3+!}; 8.31 55层短波带通滤波器 182 j^986 8.32 47 红外截止器 183 kMN z5P 8.33 宽带通滤波器 184 fJC)>doM 8.34 诱导透射滤波器 186 '^lrGO6
z7 8.35 诱导透射滤波器2 188 st'Y j 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 nr-VzF7zu 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 es&+5 8.35 增益平坦滤波器 193 ~"+[VE5 8.38 啁啾反射镜 1 196 B3)#Ou2 8.39 啁啾反射镜2 198 CA[k$Sw* 8.40 啁啾反射镜3 199 {tF=c0Z 8.41 带保护层的铝膜层 200 tgc&DT;E 8.42 增加铝反射率膜 201 ,Ad\! 8.43 参考文献 202 (;C_>EL&u 9 多层膜 204 Z37Z 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 bbA+ZLZJn 9.2 内部透过率 204 ||9f@9 9.3 内部透射率数据 205 ]-L/Of6F)| 9.4 实例 206 8I NVn'G 9.5 实例2 210 .J&~u0g 9.6 圆锥和带宽计算 212 #q(BR{A>t
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;bkS0Vmg 10 光学薄膜的颜色 216 >Py; 6K 10.1 导言 216 umI#P,%[ 10.2 色彩 216 gd# 10.3 主波长和纯度 220 /xj'Pq((}p 10.4 色相和纯度 221 kd!f/'E! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ' G)Wy|* 10.6 色差 226 1[u{3lQ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 9Ni$nZN 10.8 颜色渲染指数 234 Y2<Z"D` 10.9 色差计算 235 qd!$ nr 10.10 参考文献 236 "R4~
8 r 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 YPGn8A 11.1 短脉冲 238 PN+,M50;1 11.2 群速度 239 cg0L(oI~ 11.3 群速度色散 241 ag[ yM 11.4 啁啾(chirped) 245 {K_YW 11.5 光学薄膜—相变 245 Zff-Hl 11.6 群延迟和延迟色散 246 ;(VJZ_ 11.7 色度色散 246 }5zH3MPQH 11.8 色散补偿 249 N[dhNK" 11.9 空间光线偏移 256 ?HZ+fS,- 11.10 参考文献 258 $?wX* 12 公差与误差 260 Vu;tU. 12.1 蒙特卡罗模型 260 Vk{0)W7 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 NVJvCs)3f 12.2.1 误差工具 267 0y2iS't
12.2.2 灵敏度工具 271 2$\Du9+ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 B@.U\. 12.2.2.2 灵敏度分布 275 +% '0; 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 mZMLDs: 12.3 参考文献 276 c>=[|F{{e 13 Runsheet 与Simulator 277 -%%2Pz0I 13.1 原理介绍 277 f<0-'fGJd 13.2 截止滤光片设计 277 e,:@c3I 14 光学常数提取 289 +#'exgGU^[ 14.1 介绍 289 ?6tuo:gP 14.2 电介质薄膜 289 V..m2nQj
14.3 n 和k 的提取工具 295 Q9FY.KUM 14.4 基底的参数提取 302 b`18y cVME 14.5 金属的参数提取 306 c1jgBty 14.6 不正确的模型 306 )v0m7Lv#/ 14.7 参考文献 311 LT:KZ|U9 15 反演工程 313 &ATjDbW*( 15.1 随机性和系统性 313 wzP>Cq 15.2 常见的系统性问题 314 0'RSl~QvqS 15.3 单层膜 314 o5. q 15.4 多层膜 314 F0Rk[GM 15.5 含义 319 <@@.~Qm' 15.6 反演工程实例 319 g0_8:Gs}^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 l,,5OZw 15.6.2 反演工程提取折射率 327 U2@?!B[\d` 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 H[!by)H 16.1 光学性质的热致偏移 329 >E[cl\5$E 16.2 应力工具 335 =(.HO:# 16.3 均匀性误差 339 g%[lUxL 16.3.1 圆锥工具 339 TpZ)v.w~l7 16.3.2 波前问题 341 J"I{0>@ 16.4 参考文献 343 fu\M2"e 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Q]IpHNt[> 17.1 引言 345 U,aV{qz 17.2 操作数 345 NWb,$/7T 18 如何在Function中编写脚本 351 =,,!a/U 18.1 简介 351 v=9:N/sW 18.2 什么是脚本? 351 Sf
lHSMFw 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 bBC3% H^
18.4 基础 352 .* VZY 18.4.1 Classes(类别) 352 &7JCPw 18.4.2 对象 352 [ V/*{Z 18.4.3 信息(Messages) 352 Ko2{[% 18.4.4 属性 352 VY Va8[} 18.4.5 方法 353 b^6Ooc/-k 18.4.6 变量声明 353 $6BXoh! 18.5 创建对象 354 Dgp"RUP 18.5.1 创建对象函数 355 3 LoB-4u? 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 a&wl- 18.5.3 丢弃对象 356 v7xc01x 18.5.4 总结 356 ]NG`MZ
18.6 脚本中的表格 357 ),dXaP[ 18.6.1 方法1 357 J?u@' "u 18.6.2 方法2 357 *,@dt+H!y 18.7 2D Plots in Scripts 358
h ej 18.8 3D Plots in Scripts 359 |c dQJW 18.9 注释 360 ^Shz[=fd 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ]"{K5s7 18.11 一个更高级的脚本 362 Z?CmD;W 18.12 <esc>键 364 WPpl9)Qc 18.13 包含文件 365 f!0* ^d 18.14 脚本被优化调用 366 hJ+>Xm@@! 18.15 脚本中的对话框 368 Lc0^I<Y 18.15.1 介绍 368 ~48Uch\LG: 18.15.2 消息框-MsgBox 368 \ec,=7S<Zf 18.15.3 输入框函数 370 1+.(N:) + 18.15.4 自定义对话框 371 e ST8>r 18.15.5 对话框编辑器 371 zF3fpEKe 18.15.6 控制对话框 377 /wH]OD{ 18.15.7 更高级的对话框 380 ]rXRon=' 18.16 Types语句 384 g}P.ksM 18.17 打开文件 385 N[z7<$$ 18.18 Bags 387 !1w=_ 18.13 进一步研究 388 V!a\:%#^Y 19 vStack 389 y]+i.8[ 19.1 vStack基本原理 389 WFsa8qv 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 d%u|)
=7 19.3 五棱镜 393 ~t.*B& A 19.4 光束距离 396 &0*j nb 19.5 误差 399 bAGQ 19.6 二向分色棱镜 399 31Y+bxQ 19.7 偏振泄漏 404 ja#E}`wC4 19.8 波前误差—相位 405 =|
%:d:r 19.9 其它计算参数 405 RU>T?2 20 报表生成器 406 `N]!-=o 20.1 入门 406 <Gr{h>b 20.2 指令(Instructions) 406 8{(;s$H~ 20.3 页面布局指令 406 Gt2NUGU 20.4 常见的参数图和三维图 407 1|q$Wn:* 20.5 表格中的常见参数 408 oV&AJ=|\ 20.6 迭代指令 408 7=aF-;X3jj 20.7 报表模版 408 K8ecSs}}J 20.8 开始设计一个报表模版 409 .FtW$Y~y 21 一个新的project 413 5BN!uUkm+ 21.1 创建一个新Job 414 9~SfZ,( 21.2 默认设计 415 GxuFO5wz 21.3 薄膜设计 416 Gp6|M2Vu_5 21.4 误差的灵敏度计算 420 cX9
!a, 21.5 显色指数计算 422 4S`2")V 21.6 电场分布 424 7D@O:yO 后记 426 nX7{09 F%UyFUz 对书籍感兴趣可以加微联系
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