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摘要 D ]03eu ` lpz-"EEV
|\9TvN^$` _t>"5s&i 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 |Ul,6K@f"5 zc+@lJy 建模任务 !PUZWO c0- ;VZ'
l|`^*%W@u6 ?+C V1 ] 在VirtualLab Fusion中构建系统 [3>GGX[Ic ]`o!1( GA 系统构建块 4`v!Z#e/aX @tT-JwU
wxQ>ifi9Z WrGK \Vw[ 元件解算器 oF:v
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b~Y%gC)FR $W8Cf[a 利用光线追迹进行几何光学仿真 |L3X_Me 3z =^(Y 结果:几何光线追迹 FiAY\4 m.Lij!0
ii|?; ).412I 利用场追迹进行物理光学仿真 Y}G_Z#- ! kPxT"
" k 不同离焦像面的双螺旋PSF g}xQ6rd S6i@"h5
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