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摘要 WNO!6*+ <|>7?#s2=
%1Nank!Zj !v\_<8 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 hdN[wC] ?}ly`Js 建模任务 &cf(} #`o]{UfW
Bm$(4 Iw[7;B5v 在VirtualLab Fusion中构建系统 YwaWhBCIF hM "6-60 系统构建块 AD>X'J
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v[XTH 2 ]L/AW 元件解算器 UlQS]f~ 8nE}RD7bx
Vk:] aveW sL!+&Id| 利用光线追迹进行几何光学仿真 FMEW[' ?2nF1>1 结果:几何光线追迹 SUN!8
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w#^z:7fI 60z8U#upM 利用场追迹进行物理光学仿真 C8W4~~1S ;"w?@ELE 不同离焦像面的双螺旋PSF vhd +A HY2*5#T
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