近几年国内兴起来很多镀膜机制造厂家,老牌的国外镀膜机厂家日渐衰微。 <(~geN  
国外厂家以前值得夸耀的离子源系统和光控系统国内也基本攻克了,也就是稳定性上有点优势。 g87M"kQKA  
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国内镀膜机上常见的离子源应该是霍尔源和射频源。 "1ZVuI  
这两种源都利用了磁场--电子在磁场做圆周(螺旋)运动, JQ\o[t  
从而增加了电子在空间的行程,增加了和工作气体碰撞的几率。 _p+q)#.W  
不同的是霍尔源一般是永磁铁,磁场没有变化; 23zR0z (L  
而射频源是震荡磁场,磁场会周期变化,电子也会周期振荡。 /-3)^R2H  
霍尔源一般没有栅极,所以离子的能量(电压)比较小,但是数量(电流)可以很大; DsiyN:o'+  
射频源有栅极,所以离子能量(电压)可以加的很高,但是数量(电流)有限制。  J \I`#   
一般镀膜时候离子电压在1kv水平就够了; &G+:t)|S  
离子能量增大到10kv水平,这个能量能把基材表面的颗粒打飞,一般用于离子溅射; KH[Oqd  
离子能量加大到几百万电子伏特时,能把离子直接打进基材里面,这个就用在离子注入机上。 k0DX|O8mXV  
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射频源的难点在于栅网和射频匹配, &gvX<X4e  
栅网受热会膨胀变形,而栅网之间通常离得很近,受热变形后就容易接触打火。 C2J@] &