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ouyuu:是哪家的离子源,不同厂家的离子源加速极位置不一样。 cD}Sf> 有照片最好发一下,有可能是打火。 HM[klH]s= 栅网之间位置过近或者孔位偏差会造成打火。有可能是没装好,也有可能是本身栅网的问题。 (2025-08-23 17:57) R=)55qu
quan6658:镀红外膜用霍尔源是比射频源更好吗?我们用霍尔源镀红外膜料,怕膜料氧化,离子源充气都是氩气,结果气体分配片消耗好大,感觉气体分配片的金属都镀到膜里面去了,气体分配片用不了40小时就穿孔了,这个该怎么去设置气体?是不是还是要充一些氧或者改用特殊材质的气体分配片,现在 .. (2025-08-30 16:44) 6vKS".4C
ouyuu:射频源因为离子速度高(加速电压高),所以对折射率的提高比较大, pg+[y<B 也就是说折射率的稳定性来讲,射频源不如霍尔源。(因为霍尔源提高不多) 5BkV aF7Th 红外膜因为厚度大,如果没有直控的话,确实霍尔源要比射频源更容易控制。 $2DuB 因为折射率来讲霍尔源更稳定。 {4aWR>< ....... (2025-09-03 01:30) 6pOx'u>h+