[原创]随便聊聊离子源 [复制链接]

近几年国内兴起来很多镀膜机制造厂家，老牌的国外镀膜机厂家日渐衰微。 qLEYBv-3  
国外厂家以前值得夸耀的离子源系统和光控系统国内也基本攻克了，也就是稳定性上有点优势。 Kb%Y
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国内镀膜机上常见的离子源应该是霍尔源和射频源。 jY=y<R_oK  
这两种源都利用了磁场--电子在磁场做圆周（螺旋）运动， 4 Ej->T.  
从而增加了电子在空间的行程，增加了和工作气体碰撞的几率。 u7< +)6-  
不同的是霍尔源一般是永磁铁，磁场没有变化； A9xeOy8e  
而射频源是震荡磁场，磁场会周期变化，电子也会周期振荡。 c4fH/-  
霍尔源一般没有栅极，所以离子的能量（电压）比较小，但是数量（电流）可以很大； <P h50s4  
射频源有栅极，所以离子能量（电压）可以加的很高，但是数量（电流）有限制。 w}3N!jNDv  
一般镀膜时候离子电压在1kv水平就够了； xX<f4H\'  
离子能量增大到10kv水平，这个能量能把基材表面的颗粒打飞，一般用于离子溅射； mw"FQ?bJ  
离子能量加大到几百万电子伏特时，能把离子直接打进基材里面，这个就用在离子注入机上。 \S;[7T  
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射频源的难点在于栅网和射频匹配， w;O-ATUzN  
栅网受热会膨胀变形，而栅网之间通常离得很近，受热变形后就容易接触打火。 6Z_V,LD9L  
新的栅网还好说，随着栅网越用越薄，变形的几率就越来越大。 cGV%=N^BE<  
进口栅网一般是整块钼块掏制的，就是为了克服受热变形。 Nf]?hfJ  
用钼板旋压则制作成本较低，但是变形量比掏制的要大很多。 X:W\EeH  
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射频匹配就是调整可变电容来匹配射频震荡回路，使得反射电流最小化。 Y$JVxly  
一般只要接触良好，线圈不发生变形，LC震荡回路的匹配值只和真空度和气体有关， AU9C#;JD  
离子源本体因为会要切换气体（一般是Ar和O2），所以必须自动匹配， o/{`\4  
中和器只用Ar，所以匹配好了基本上不会变化。 s<YN*~  
如果发生反射很高的情况，要么就是接触产生问题了，要么就是线圈变形了， |5~Oh`w  
或者就是哪里对地短路了。

那如果射频离子源报加速电流异常一般是什么原因造成的？栅网也没有发现有破损或掉渣，但是栅网中间部分会有局部出现与其它地方不一致颜色的扭曲线条，像个W 01mu6)  

是哪家的离子源，不同厂家的离子源加速极位置不一样。 %"{P?V<-V  
有照片最好发一下，有可能是打火。 EDnNS  
栅网之间位置过近或者孔位偏差会造成打火。 %,[,mW4l   
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有可能是没装好，也有可能是本身栅网的问题。