摘要 \9FWH}| \~ACWF7l h
7x_VO 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
y&F0IJ|`@M B`I9 任务 vJ `'x • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
2p6`@8*34 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
>n!,KUu] +0&SXhy%y 7E4Xvg+c 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 j4C{yk 连接建模技术:衍射光束分束器 Z#Q)a;RA
*Y!c6eA >R&=mo~ 通过配置助手和IFTA进行相位设计 6e%|.}U $d[ -feU =5zx]N1r 将传输函数转化为结构 (txr%Z0E <;T$?J9 ~C;1}P%9x 衍射光束分束器表面 }3rWmo8V ;Xzay| ~wX4j 衍射光束求解器 - TEA & FMM $IdY(f:.:5 Xfq]vQ/{ ?n]e5R(cj 光栅级数 & 可编程光栅分析器 _jhdqON6E Wd0$t }'o[6#_*X 设计与评估结果:
QqS?- • 相位函数设计
s3.,
N| • 结构设计
02_37!\ • TEA 评估
x>E**a?!L • FMM 评估
^mNPP:%iN • 高度缩放检查(用于优化/容限)
@Z50S 8 RR8Z 9D; 仅相位传输设计 KPT@I3P DJm/:td XI rNT:h4 结构设计 I{V1Le4? *C 0gpEf9S REmD*gf 使用TEA进行性能评估 Ul EP; 4-YXXi} s\-^vj3 使用FMM进行性能评估 UpA{$@ _z3Hl?qk= Vu6pl 进一步的分析(优化后,容差分析) TF@HwF"#
V
r0-/T 4cO||OsMU 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
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Itq 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 JqDj)}fzX B1&