摘要 O5 ?Gv??@ }c o*%F{ 1 *He%%pk 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
a~nErB F:o<E 42 任务 ozr82 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
}F~4+4B^ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
yd-Kg zm8n _:Jra YLEa;M R 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 M((]> * g 连接建模技术：衍射光束分束器 n,E =eNc 
}&{z-/;H ：
2unaK<1s • 相位函数设计
Qmk}smvH • 结构设计
]^j'2nJv0 • TEA 评估
PU6Sa-fQ2, • FMM 评估
7 q%|-`# • 高度缩放检查（用于优化/容限）
d? Ol d DD4fV `:kG 仅相位传输设计 Y8Bc
&q} JF vVRGWB TC=djC4$/ 结构设计 NPL(5 @ Y}/e" mp d0;$k, 使用TEA进行性能评估 Y)-)owx7 6^oQ8unmS g@<E0
q&`$ 使用FMM进行性能评估 =deqj^&@ _7O;ED+ Dj~]] 进一步的分析（优化后，容差分析） <#hltPyh 
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