[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 V8O-|7H$v  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 A I v  
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任务 TVZf@U  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 hg7_ZjO  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 yJ:rry  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 yRivf.wH  
连接建模技术：衍射光束分束器 mwMcAUD]2  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 #z61I"k
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将传输函数转化为结构 rA|&G'
  
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衍射光束分束器表面 ^KJi|'B  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM z:8ieJ)C  
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k]9y+WC2  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 n0FzDQt26  
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设计与评估结果： b"2_EnE}1  
• 相位函数设计 .)E1|U[L  
• 结构设计 q26qY5D  
• TEA 评估 NE><(02qW  
• FMM 评估 Eb8~i_B-  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） :7*9W|e  
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仅相位传输设计 iX6*OEl/Q  
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结构设计 T3Sz<K$E  
.7+"KP:  
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使用TEA进行性能评估 g77:92  
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ctPT=i60  
使用FMM进行性能评估 g)}q3-<AK>  
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进一步的分析（优化后，容差分析） R*H-QH/H1  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 lm*C:e)4A  
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Of-8n-  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 <
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I5]58Ohx  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 sRQ4pnnrn