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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-22
    摘要 \9FWH}|  
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       h 7x_VO  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 y&F0IJ|`@M  
    B`I9  
    任务 v J `'x  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 2p6`@8*34  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 >n!,KUu]  
    +0&SXhy%y  
    7E 4Xvg+c  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 j4C{yk  
    连接建模技术:衍射光束分束器 Z#Q)a;RA  
      
    *Y!c6eA  
    >R&=mo~  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 6e%|.}U  
    $d[ -feU  
    =5 zx]N1r  
    将传输函数转化为结构 (txr%Z0E  
    <;T$?J9  
    ~C;1}P%9x  
    衍射光束分束器表面 }3rWmo8V  
    ;Xzay|  
     ~wX4j  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM $IdY(f:.:5  
    Xfq]vQ/{  
    ?n]e5R(cj  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 _jhdqON6E  
    Wd0$t    
    }'o[6#_*X  
    设计与评估结果 QqS?-   
    • 相位函数设计 s3., N|  
    • 结构设计 02_37!\  
    • TEA 评估 x>E**a?!L  
    • FMM 评估 ^mNPP:%iN  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) @Z50S 8  
    RR 8Z 9D;  
    仅相位传输设计 KPT@I3P  
    DJm/:td  
    XIrNT:h4  
    结构设计 I{V1Le4?  
    *C0gpEf9S  
    REmD*gf  
    使用TEA进行性能评估 Ul EP;  
    4-YXXi}  
    s\-^vj3  
    使用FMM进行性能评估 UpA{$@  
    _z3Hl?qk=  
    Vu6p l  
    进一步的分析(优化后,容差分析) TF@HwF"#  
    V r0-/T  
    4cO||OsMU  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ? 77ye  
    kP6P/F|RcZ  
    F[ Itq  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 JqDj)}fzX  
    B1&H5gxgN  
    [SW@"C!  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 x%;Q /7&$  
     
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