[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 y-@{  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Q=F4ZrNqD  
L9,O,f  
任务 ?0'db  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 crr#tad.  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 8'0
I$Qa4  
q#P@,|nc:  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 Jm]P,jaLc  
连接建模技术：衍射光束分束器 G!5~`v  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 1p COLC%1  

l]Q<BV  
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将传输函数转化为结构 {M P(*N  
e c4vX  
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衍射光束分束器表面 #0 eop>O  
U6LENY+Ja  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM Q
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]O+W+h{]  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 ^y<8&ZFH  
)wfqGkr=m!  
O <"\G!y~  
设计与评估结果： -=a,FDeR  
• 相位函数设计 cxn*!TwDs  
• 结构设计 j5bp)U  
• TEA 评估 w)xfP^M#  
• FMM 评估 @ACq:+/Qc  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） ,w$:=;i  
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仅相位传输设计 ja+PVf  
XSe\@t~&g  
GfL:0  
结构设计 L<[%tvV  
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使用TEA进行性能评估 8m 5T  
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]@hN&W(+x  
使用FMM进行性能评估 :L5k#E"u  
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O7# 8g$ZIv  
进一步的分析（优化后，容差分析） 4)NbQ[  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ]lZg }7h  
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QpiA~4  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 fOt?2Bh  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 BL1d=%2R