摘要 +~P_o _M 3 _!MVT p y%~Qz% 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
o9C# 5%9 c/j+aj0.v 任务 %2B1E( r%M • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
!I&,!$ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
9&6P,ts%Q mQSn*;9\T3 QUZ+#*:s 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 AOwmPHEL 连接建模技术：衍射光束分束器 O'@ [ f{ 
XWNo)#_3 ：
i\DU<lD5VN • 相位函数设计
L`w r~E2u • 结构设计
q"S,<I<f • TEA 评估
=FiO{Aw `N • FMM 评估
;i/? fw[h • 高度缩放检查（用于优化/容限）
JBZ1DZAWC ~v:IgS 仅相位传输设计 GZn=Hgv8 <$a-.C5 N>Uxq& )! 结构设计 }s6Veosl -yBj7F| fU$ _5v4 使用TEA进行性能评估 Zu>-y #Bw pp7
$Q>6 R9"}-A 使用FMM进行性能评估 I36%oA &"27U _% \% 进一步的分析（优化后，容差分析） .Y8P6_ 
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