摘要 Gu;OV LR| c^9tYNn tC )6 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
\TbVS8e^ ,:GN;sIXg 任务 `^6 ,kI-c • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
M bA\pG'T • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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@R q}nq=k 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 Mvcfk$pA 连接建模技术：衍射光束分束器 D/ Dt 
Adx`8}N8 ：
L%\b' fs • 相位函数设计
l#qv 5f • 结构设计
[V}, tO|
• TEA 评估
[f{VIE*?% • FMM 评估
@cD uhK"U} • 高度缩放检查（用于优化/容限）
diT=x52 n/Dp"4H%q 仅相位传输设计 I4c!m_sr TzG]WsY_ #x@ eDnb_ 结构设计 5iX!
lAFJ WF2- $`x [\e@_vY@OH 使用TEA进行性能评估 ^{yk[tHpS Dr#c)P~Wd 3iX?~ 使用FMM进行性能评估 \_BkY%a {6Au3gt/ g P}+wbk 进一步的分析（优化后，容差分析） :k=mzO<& 
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