摘要 O5?Gv??@ }co*%F{1 *He%%pk 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
a~nErB F:o<E 42 任务 ozr82 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
}F~4+4B^ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
yd-Kg zm8n _:Jra YLEa;MR 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 M((]> *g 连接建模技术:衍射光束分束器 n,E=eNc
}&{z-/;H Mx<?c 通过配置助手和IFTA进行相位设计 s/"?P/R c+^#(OB D'!
v9} 将传输函数转化为结构 <7;AK!BH bim
82<F 'l| e}eti> 衍射光束分束器表面 xc HG5bg| ."#M
X! g[d.lJ=Q-N 衍射光束求解器 - TEA & FMM 8 FqhSzw b+ g(=z+ |Qe#[Q7 光栅级数 & 可编程光栅分析器 =h<LlI^v 1JIo,7 L
=kc^dU 设计与评估结果:
2unaK<1s • 相位函数设计
Qmk}smvH • 结构设计
]^j'2nJv0 • TEA 评估
PU6Sa-fQ2, • FMM 评估
7 q%|-`# • 高度缩放检查(用于优化/容限)
d? Old DD4fV`:kG 仅相位传输设计 Y8Bc
&q} JFvVRGWB TC=djC4$/ 结构设计 NPL(5@ Y}/e"mp d0;$k, 使用TEA进行性能评估 Y)-)owx7 6^oQ8unmS g@<E0
q&`$ 使用FMM进行性能评估 =deqj^&@ _7O;ED+ Dj~]] 进一步的分析(优化后,容差分析) <#hltPyh
?ep'R&NV "0nT:!BZ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 *f? z$46 b~1]}9TJ G9/5KW}- 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 q Z,7q U8T"ABvFP Q bg,q 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 33{(IzL0