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4MNl 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
AoU_;B\b% '}CN?f|. 仿真任务 l.uN$B ->3uOF!q
&t_A0z yWmrdvL 连接建模技术:倾斜光栅
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HoL~j( { L9$&-A9ix 可用的微结构建模技术:
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[\a:4vDAbi $8Ig&k|~8 光栅阶数分析仪 VZTmzIk.Y "&Gw1.p
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参数变化分析仪 yYM_lobn hAlPl<BO#V
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