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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-02
    摘要                                                                             f}blB?e  
    FE}s#n_Pd  
    B G5X_s0/  
    Hh\ 4MNl  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             AoU_;B\b%  
    '}CN?f|.  
    仿真任务                                                                             l.uN$B  
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    yWmrdvL  
    连接建模技术:倾斜光栅 [9J:bD  
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    HoL~j({  
    L9$&-A9ix  
    可用的微结构建模技术: Eo Ko   
    Fr2kbQTg;  
    [\a:4vDAbi  
                                                                                     $8Ig&k|~8  
    光栅阶数分析仪 VZTmzIk.Y  
    "&Gw1.p  
    #)FDl70S8  
    |SxMN %M!  
    参数变化分析仪                                                                            
    yYM_lobn  
       hAlPl<BO#V  
                                                                                 3Qk/ Ll  
    S7Znz@  
    参数优化                                                                             <c(&T<$  
    {N "*olx  
                       o:H'r7N  
    .Jptj  
    优化结果-平均效率 %uj[`  
    9@Q&B+!  
                                                       X:U=MWc>  
    Q7L)f71i  
    优化结果-对比度 3Fgz)*Gu]  
    o>.AdZby  
     
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