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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-02
    摘要                                                                             AWKJ@&pA9m  
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    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             iRbe$v&N  
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    仿真任务                                                                             , 2xv  
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    连接建模技术:倾斜光栅 _A] )q  
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    可用的微结构建模技术: -e sQyLx  
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    光栅阶数分析仪 D W^Zuu/)  
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    参数变化分析仪                                                                            
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    参数优化                                                                             aWJj@',_  
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    优化结果-平均效率 B4wRwrVI>  
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    优化结果-对比度 q!?*M?Oz  
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