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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-02
    摘要                                                                             nu%Nt"~[%  
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    #2'&=?J1r  
    E6-(q!"A  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             jL).B&  
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    仿真任务                                                                             2u H\8A+'f  
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    ~zC fan/  
    M~Dc5\T  
    连接建模技术:倾斜光栅 5*za]   
    VRP.tD  
                                                                        
    }`FC__  
    ]Tw6Fg1o>  
    可用的微结构建模技术: [a*>@IR  
    k)' z<EL6c  
    A-!qO|E[-  
                                                                                     n ZZQxV,  
    光栅阶数分析仪 MW@b ;=(  
    z :jF) N  
    ^52R`{  
    0(f;am0y  
    参数变化分析仪                                                                            
    He;%6OG{  
       $ rnr;V  
                                                                                 E1w XG  
    \gv x)S11  
    参数优化                                                                             J|8YB3K,  
    x&b-Na3Xi  
                       !)3Su=*R  
     #X_M  
    优化结果-平均效率 7+r5?h|  
    / hdl  
                                                       :2gO) 'cD  
    Mo|5)8_  
    优化结果-对比度 ?|YQtY  
    b>._ r&.  
     
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