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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-02
    摘要                                                                             u\{MQB{T  
    "4IrW6B $9  
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    Z;O!KsJ  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             ^Gi7th,  
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    仿真任务                                                                             0u;a*#V@  
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    连接建模技术:倾斜光栅 ' 7Mz]@  
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    -5oYGLS$y3  
    可用的微结构建模技术: p/yz`m T'w  
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                                                                                     j0=F__H#@  
    光栅阶数分析仪 ZZw2m@T>  
    97[wz C,  
    TMGYNb%<bX  
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    参数变化分析仪                                                                            
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       `_f&T}]  
                                                                                  aGOS 9  
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    参数优化                                                                             !</U"P:L  
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    tPa( H;  
    优化结果-平均效率 g(auB/0s  
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                                                       ^W(ue]j}o  
    >z~_s6#CP  
    优化结果-对比度 u -)ED  
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