摘要 AWKJ@&pA9m P,F
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wm_rU] -3guuT3x\ 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
iRbe$v&N E+#<WK- 仿真任务 , 2xv "Mhn?PTq
(z?j{J R<(xWH 连接建模技术:倾斜光栅 _A])q
Z*Gf`d:
>P&1or)e% fc9@l a 可用的微结构建模技术:
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MU(I#Prpe j<k6z 光栅阶数分析仪 D W^Zuu/) y@<2`h
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参数变化分析仪 'tvuw\hhL ,isjiy
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%A9b_a 优化结果-对比度 q!?*M?Oz
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