[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 {GaQV-t  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 xELnik_L2  
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建模任务 ~/@5&ajz  
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模拟&设置：单平台互操作性 [N|/d#  
建模技术的单平台互操作性 R|Oy/RGY$  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 8tc9H}>  
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 平面波光源 >!j= {hK  
 微透镜阵列 q4k)E  
 彩色滤光片(吸收介质) _{EO9s2FG  
 通过基底传播 &h7q=-XU   
 探测 ~urV`J  
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连接建模技术：微透镜 @G vDl=.  
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连接建模技术：彩色滤光片 ~&/|J)}  
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连接建模技术：可编程介质 ;Yrg4/
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连接建模技术：自由空间传播 _tfZg /+)  
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连接建模技术：堆栈 p{j }%)6n  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 JM{S49Lx  
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 微透镜阵列 ;Ef:mr"Nu  
 彩色滤光片(吸收介质) |Xblz1>DF  
 通过基底传播 '0|AtO77  
 探测
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元件内场分析器：FMM ?~rF3M.=|  
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模拟结果 G7k0P-r,0  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) <^,w,A  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 9&}`.Py  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) b .k J&c  
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3D仿真与结果比较 cA"',N8!5  
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3D仿真与结果比较 -@%*~^~z'  
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