[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 $:N "*  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ncr-i!Jjk  
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建模任务 ZcRm5Du~:  
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模拟&设置：单平台互操作性 ;Hb[gvl  
建模技术的单平台互操作性 I?g__u=n~  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 :*'?Ac ?  
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 平面波光源 M9g\/]Io;  
 微透镜阵列 Q_.c~I}yV  
 彩色滤光片(吸收介质) 97wy;'J[u  
 通过基底传播 G)B
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 探测 VFSn!o:C  
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连接建模技术：微透镜 1 "7#|=1/  
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连接建模技术：彩色滤光片 PZ(<eJ>  
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连接建模技术：可编程介质 s8d}HI  
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连接建模技术：自由空间传播 ?b7g9 G4  
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连接建模技术：堆栈 :t{vgi D9  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Gb|}Su  
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 微透镜阵列 }`N2ZxC0AQ  
 彩色滤光片(吸收介质) ;;'a--'"  
 通过基底传播
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 探测 }j(2Dl  
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元件内场分析器：FMM :6j :9lYL2  
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模拟结果 4JZHjf0M6  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 2vkB<[
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) xOL)Pjo/m  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) q|u8CX  
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3D仿真与结果比较 IjDT'p_  
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3D仿真与结果比较 j|&DP-@g/  
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