[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 X(E`cH |  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 `,~'T [  
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建模任务 cz/E  
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模拟&设置：单平台互操作性 aKW-(5<JW  
建模技术的单平台互操作性 a8)2I~j  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 & .1-6  
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 平面波光源 Q'=7#_  
 微透镜阵列 PhuHfw4$y,  
 彩色滤光片(吸收介质) dR
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 通过基底传播 j< h1s%  
 探测 V[%IU'{:  
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连接建模技术：微透镜 \6 JY#%  
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连接建模技术：彩色滤光片 %e25Z.Se$  
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连接建模技术：可编程介质 0 5?`W&:9  
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连接建模技术：自由空间传播 ktfxb<%  
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连接建模技术：堆栈 %/\sn<6C}  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 tkptm%I_  
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 微透镜阵列 DsxNg  
 彩色滤光片(吸收介质) hEo$Jz`  
 通过基底传播 so.}WU  
 探测 5G2ueRVb  
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元件内场分析器：FMM )L "Dt_t  
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mV"F<G; H  
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模拟结果 sng6U;Z  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) leSBR,C  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Ai 8+U)  
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ia.+<, $`S  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) [zP}G?(  
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3D仿真与结果比较 XH!n{Of  
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3D仿真与结果比较 0#Q]>V@rO4  
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