摘要 ;%lJD"yF
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aj+zmk~- i,^>uf 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间
分辨率。同时,这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真,以验证微透镜的有效性。
!k ;[^> C5d/)aC 建模任务 XWJ0=t&}
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G;Pt|F?c iOE9FW|e 模拟&设置:单平台互操作性 qsQ]M^@> 建模技术的单平台互操作性 K4BTk! 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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qLU15cOM 8yNRxiW: 平面波
光源 P DNt4=C 微透镜
阵列 wK/}E h\^ 彩色滤光片(吸收介质)
GA}hp% 通过基底传播
9G=A)j 探测
8JFnB(3xU w/)e2CH 连接建模技术:微透镜 k|)^!BdO w`w `q' :"h
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b*9m2=6 #h}IUR 连接建模技术:彩色滤光片 O p! =+kvL2nx-
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<Ay?c 连接建模技术:可编程介质 exGhkt~
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S S7D1 7cJO)cm0' 连接建模技术:自由空间传播 Ix%"4/z> w%!k?t,*]
6Vu}kK)
mRix0XBI~ 连接建模技术:堆栈 "1=.5:yG 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
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NG4eEnic!a mUe@Dud 微透镜阵列
Hj-<{#, 彩色滤光片(吸收介质)
N69eIdl 通过基底传播
!kjr>:)x 探测
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di0 PAO[Og,- 元件内场分析器:FMM h|Teh-@A5 Eusf gU:
fS'k;r*r h<!khWFS 模拟结果 V8| q"UX 6kmZ!9w0| 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) n8y ,{| %^)Ja EUC
~ L i% 6O[wVaC1u 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Y ~\`0?ST
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o 0cc+ E?;T:7.% 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) C$Hl`>?$
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