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    [技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 06-18
    摘要 ;%lJD"yF  
    X@G[=Rs  
    aj+zmk~-  
    i,^>uf  
    近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 !k ;[^>  
    C5d/)aC  
    建模任务 XWJ0=t&}  
    E%KC'T N^D  
    G;Pt|F?c  
    iOE9FW|e  
    模拟&设置:单平台互操作性 qsQ]M^@>  
    建模技术的单平台互操作性 K4BTk !  
    模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 DWHOS XA4  
    NO%|c|B|  
    qLU15cOM  
    8yNRx iW:  
     平面波光源 P DNt4=C  
     微透镜阵列 wK/}E h\^  
     彩色滤光片(吸收介质) GA}hp%  
     通过基底传播 9G=A)j  
     探测 8JFnB(3xU  
    w/)e2CH  
    连接建模技术:微透镜 k|)^!BdO  
    w`w ` q'  
    :"h Pg]'  
    b*9m2=6  
    #h}IUR  
    连接建模技术:彩色滤光片 O p!  
    =+kvL2nx-  
    hPNQGVv  
    T(t <Ay?c  
    连接建模技术:可编程介质 exGhkt~  
    qhv4R|)  
    S S7D1  
    7cJO)cm0'  
    连接建模技术:自由空间传播 Ix%"4/z>  
    w%!k?t,*]  
    6Vu}k K)  
    mRix0XBI~  
    连接建模技术:堆栈 "1=.5:yG  
    在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 IDL^0:eg<.  
    'npT+p$ V  
    NG4eEnic!a  
    mU e@Dud  
     微透镜阵列 Hj-<{#,  
     彩色滤光片(吸收介质) N69eI dl  
     通过基底传播 !kjr> :)x  
     探测 TWD|1 di0  
    PAO[Og,-  
    元件内场分析器:FMM h|Teh-@A5  
    EusfgU:  
    fS'k;r*r  
    h<!khWFS  
    模拟结果 V8|q"UX  
    6kmZ!9w0|  
    像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) n8y,{|  
    %^)JaEUC  
    ~ L i%  
    6O[wVaC1u  
    像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Y~\`0?ST  
    <LOx.}fv  
    o 0cc+  
    E?;T:7.%  
    像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) C$Hl`>?$  
    is _ dPc  
    cVv4gQD\  
    6vp8LNSW  
    3D仿真与结果比较 /d]V{I~6  
    V+@%(x@D_  
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    3D仿真与结果比较  el*pYI  
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