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-JgNujt# 9 8lpAe0p(Z 近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间
分辨率。同时，这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真，以验证微透镜的有效性。
)L:e0u V2}\]x'1 建模任务 la+Cra&xL
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#{|cSaX< I<9 40PZ 模拟&设置：单平台互操作性 _|GbU1Hz 建模技术的单平台互操作性 Oh$:qu7o0& 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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@p*)^D6E\ Zw9;g+9 平面波
光源 HCN/|z1Xq 微透镜
阵列 I2*rtVAP'j 彩色滤光片(吸收介质)
&t9 V 通过基底传播
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lN 探测
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fA4/TF 6"Fn$ :l? 连接建模技术：微透镜 '3672wF / uTR^K=Ve uem- fTG 
\_1a#|97e C*( 连接建模技术：彩色滤光片 !} TsFa *7Q6b 4~" 
A0)^ I:& :_R:>n9 p 连接建模技术：可编程介质 {o24A: M
u)0 I$Tc"
C")genMH #; ?3k uq( 连接建模技术：自由空间传播 TsTc3 o]oiJvOr 
Kn~Rck|
] =D /zC'l 连接建模技术：堆栈 >lRZvf-i 在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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NGc~%0n , Z"<-%3 元件内场分析器：FMM 6$r\ p2pi0 @yuiNj .T 
y>a?<*Y+e &-ro pY 模拟结果 s/D)X=P 1 aZA ``#p + 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) lME>U_E q\6(_U#Tl 
qE~_}4\Z9 hN-@_XSw<I 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) hk~/W}sI
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,L/ x \_28 @gI1:-chB 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) `$T$483/
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