[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ;%lJD"yF  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 !k ;[^>  
C5d/)aC  
建模任务 XWJ0=t&}  
E%KC'TN^D  
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模拟&设置：单平台互操作性 qsQ]M^@>  
建模技术的单平台互操作性 K4BTk!  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 DWHOSXA4  
NO%|c|B|  
qLU15cOM  
8yNRxiW:  
 平面波光源 P DNt4=C  
 微透镜阵列 wK/}E h\^  
 彩色滤光片(吸收介质) GA}hp%  
 通过基底传播 9G=A)j  
 探测 8JFnB(3xU  
w/)e2CH  
连接建模技术：微透镜 k|)^!BdO  
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连接建模技术：彩色滤光片 O p!  
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T(t <Ay?c  
连接建模技术：可编程介质 exGhkt~  
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S S7D1  
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连接建模技术：自由空间传播 Ix%"4/z>  
w%!k?t,*]  
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连接建模技术：堆栈 "1=.5:y
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在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 IDL^0:eg<.  
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 微透镜阵列 Hj-<{#,  
 彩色滤光片(吸收介质) N69eIdl  
 通过基底传播 !kjr>
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 探测 TWD|1 di0  
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元件内场分析器：FMM h|Teh-@A5  
EusfgU:  
fS'k;r*r  
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模拟结果 V8|q"UX  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) n8
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Y~\`0?ST  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) C$Hl`>?$  
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3D仿真与结果比较 /d]V{I~6  
V+@%(x@D_  
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3D仿真与结果比较  el*pYI  
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