[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 vBog0KD);s  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 u?+Kkk
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建模任务 5sb\r,kW  
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模拟&设置：单平台互操作性 AhNq/?Q Q~  
建模技术的单平台互操作性 Hbpqyl%O>  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ##4GK08!  
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 平面波光源 k70|'*Kh  
 微透镜阵列 >Bgw}PI  
 彩色滤光片(吸收介质) J2^'Xj_V  
 通过基底传播 3}/&w\$  
 探测 q#8[  
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连接建模技术：微透镜 ~}+Hgi  
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连接建模技术：彩色滤光片 y>aZXa  
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连接建模技术：可编程介质 -k"^o!p  
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连接建模技术：自由空间传播 M-giR:,  
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连接建模技术：堆栈 /<]{KI  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 YWxc-fPZ  
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 微透镜阵列 ivW(*c  
 彩色滤光片(吸收介质) YE9,KVV;$n  
 通过基底传播 wy}k1E'M  
 探测 x*Y@Q?`>5W  
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元件内场分析器：FMM )-`;1ca)s  
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模拟结果 n8DxB@DI  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) =%>oR  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) &[;HYgp  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) &JtV'@>v  
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3D仿真与结果比较 C|o`k9I#  
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3D仿真与结果比较 T0]*{k(FR  
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