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\}P3mS"e3 ;.Zgt8/ . 近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间
分辨率。同时，这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真，以验证微透镜的有效性。
8oK*NB29 Q bjO*:c4 建模任务 f~%|Iu1ob
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v*iD)k:|t }` ox ;Q 模拟&设置：单平台互操作性 + +w7jVi9 建模技术的单平台互操作性 !'8.qs 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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BCMQ^hP}t T1%_sq 平面波
光源 F$.h+v 微透镜
阵列 />Kd w 彩色滤光片(吸收介质)
{k*rD!tT 通过基底传播
L{1MyR7`I+ 探测
@`xR1pXQ T&+*dyNxMK 连接建模技术：微透镜 o 9\J
vJk f@yInIzRJ QiC}hj$ 
##!idcC o5 LyBUJ 连接建模技术：彩色滤光片 ;}1O\nngR uE] HU 
Vl'Gi44)3" TS4Yzq,f 连接建模技术：可编程介质 \ GYrP f$
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!-rG1VI_S* 连接建模技术：自由空间传播 {6Y |Z> ;$, b
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[ GQn1ZLc 7}#zF]vHNi 连接建模技术：堆栈 j/ [V< 在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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wtM1gYl^ +2xgMN6B@ 微透镜阵列
|2ImitN0 彩色滤光片(吸收介质)
sbv2*fno5 通过基底传播
| KtI:n4d 探测
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>#kz %9v l 元件内场分析器：FMM J lp nR#@ IC"Z.'Ph 
VO JA}$ ;n ,xu0/ 模拟结果 w1Txz4JqB iq^F?$gFk 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Ef @ z@I'Ryalyc 
)DB\du H^ 'As;R 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) d! {]CZ"@
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MB7`'W @*Tql:Qcd^ 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) t =V| '
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