[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 od' /%  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 @A<PkpNL  
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建模任务 Cq)IayD@  
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模拟&设置：单平台互操作性 5ExDB6Bx@y  
建模技术的单平台互操作性 ufV!+$C)is  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Q
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 平面波光源 \!]hU%Un  
 微透镜阵列 :Y,BdU  
 彩色滤光片(吸收介质) )0 W`  
 通过基底传播 D]G)j  
 探测 VZ& A%UFC  
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连接建模技术：微透镜 WI> P-D  
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连接建模技术：彩色滤光片 :r#)z4d5  
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连接建模技术：可编程介质 v3d&*I  
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连接建模技术：自由空间传播 ,GWNLm\5  
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连接建模技术：堆栈 ,)PiP/3B  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 i) E|bW;  
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 微透镜阵列 Z6\+  
 彩色滤光片(吸收介质) ~'37`)]z  
 通过基底传播 7dsefNPb  
 探测 WE]e m >  
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元件内场分析器：FMM 2(5ebe[
 
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模拟结果 !EUan  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) lL1k.&|5m  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ()&
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) .bBdQpF-  
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3D仿真与结果比较 %HrAzM.QBF  
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3D仿真与结果比较 l;o1 d-n]  
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