[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 s!j(nUd/  
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建模任务 /SPAJHh  
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模拟&设置：单平台互操作性 nIT^'  
建模技术的单平台互操作性 FQ9csUjpB  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 XD+cs.{5  
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 平面波光源 -X&!dV:= 4  
 微透镜阵列 S,`Sq8H  
 彩色滤光片(吸收介质) 2=Y_Qrhi  
 通过基底传播 =qS^Wz.  
 探测 bW 86Iw  
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连接建模技术：微透镜 :_~PU$%0  
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,$6MM6W;-F  
连接建模技术：彩色滤光片 *v:,rh  
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连接建模技术：可编程介质 /H;kYx  
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VI|DMx   
连接建模技术：自由空间传播 p=`x
 
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Eps\iykB  
连接建模技术：堆栈 /<?X-IDz.{  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 bhm~Ii
 
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B> "r-O  
 微透镜阵列 E-U;8cOMv  
 彩色滤光片(吸收介质) dW^_tzfF7  
 通过基底传播 G|G?h  
 探测 U*R~w5W.[  
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元件内场分析器：FMM |v%RjN  
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模拟结果 i8[Y{a*  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) KGE-RK  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 4\'81"ei  
U`nS` p  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 4FHX#`  
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3D仿真与结果比较 WWs[]zr  
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3D仿真与结果比较 }`/n2  
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