摘要 ,*Z[P%<9
I! 7.fuO
]2Fo .n K2rS[Kdfaq 近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间
分辨率。同时，这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真，以验证微透镜的有效性。
h==GdS4 .&x? `pER 建模任务 :ZfUjqRE
'}`hY1v
pt cLJ]+) :/[YY?pg- 模拟&设置：单平台互操作性 q uGPk)c 建模技术的单平台互操作性 kw^D p[8X 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
X_({};mz ;]ShC\1 
sR>;h / N"x\YHp 平面波
光源 ) .-(-6=R 微透镜
阵列 O mh&)|Iql 彩色滤光片(吸收介质)
!bV(VRbu 通过基底传播
]<;i} n|
< 探测
7k t7^V< `{|}LFS > 连接建模技术：微透镜 e=]oh$] v6P~XK}G YNJpQAuSn) 
uU ?37V @j\?h$A/ 连接建模技术：彩色滤光片 'oiD#\t4 g . Caapy 
x$5nLS2.
)47j8jL 连接建模技术：可编程介质 LJNie*
gj egzKU
,Z*3,/a 1|EU5< 连接建模技术：自由空间传播 t2 -nCRXEP P$6f +{ 
&Rl3y\
r %AEK[W+0 连接建模技术：堆栈 ptWG@"j/b 在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
\, %o>M' 4'{hI;&a& 
&v
auLp p[@oF5M 微透镜阵列
kk /+Vx~ 彩色滤光片(吸收介质)
gKs/T'PW 通过基底传播
3dxnh,]&@ 探测
%is,t<G _> |R-vQ8 元件内场分析器：FMM ^Azt.\fMX S1az3VJI\ 
Hc&uE3=%sL orQV' 模拟结果 (w#s lTFT iA%'
;V 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) C{`^9J- LG Y!j_bD 
Pi"~ /MGP$ T[4[/n> i 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) +J o 3rX'`
ez g^5o;
0?6 If+AC {7K'<ti 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) E*r
\2].|Mym
w]W `R. z)ft3(! 3D仿真与结果比较 da9*9yN
q lz9&w
M|[@znzR< jHu,u|e0>S 3D仿真与结果比较 1Es*=zg
_>gXNS r4u
