这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 =dT
#x
kOE\.}~4 HJi
FlL3 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 \y(ZeNs [59g] ') S偏振光照明的近场强度
D03QisH= 
P偏振光照明的近场强度 sv.?C pE
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 s||c#+j"8
.rwa=IW 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 hS 9^Bi
Gw$Y`]ipy PostProcess { /;5/7Bvj OpticalImaging { 2@6Qifxd@ InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" uv&4
A,h OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" SIZ&0V OpticalSystem { w)Xn MyD(P SpotMagnification = 2.0 _ea|E 8 } !C;$5(k } R0#'t+7^
0;L.h|R T( 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 Gc=uKQ+\V o
zMn8@R 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
p[K!.vOt+ kz"QS.${ 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)