这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 iCh,7I,m
{K >}eO:K cP`[/5R 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 b&E9xD/;r xPorlX)zW S偏振光照明的近场强度
+|TFxaVz 
P偏振光照明的近场强度 >sm<$'vZ/
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 {K42PmQL
h][$1b&B 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 PNhxF C.
y-#01Z PostProcess { `w#p8vR OpticalImaging { YuKg|<WO InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" [}Pi $at OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" hYEUiQ OpticalSystem { zJX _EO SpotMagnification = 2.0 vC>8:3Zaq } OVa38Aucr3 } .|z8WF*
Y>Tok|PV 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 ~Rk~Zn 6z ,nt 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
F<LRo}j"9Q K *xca(6 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)