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    [技术]JCMsuite应用:孤立线栅 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 #UWQ (+F  
    }f-rWe{gs>  
    sL/Lw WH  
    光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度  %;W8;  
    ;( 2uQ#Y  
    S偏振光照明的近场强度
    R2J3R5 S=[  
    P偏振光照明的近场强度 .!6ufaf$  
    后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 x~{ m%)I  
    ,RT\&Ze5  
    在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 D1g1"^~g  
    _v $mGZpGY  
    PostProcess { *n[Fl  
      OpticalImaging { ]iNSa{G  
      InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" =)I{KT:y  
      OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" R6:N`S]&d[  
      OpticalSystem { RgRcW5VxK  
        SpotMagnification = 2.0 *v5y]E%aW  
      } "R30oA#m  
    } }Ql;%7  
    cxv) LOl-  
    输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 3<`h/`ku  
    DHJnz>bE  
    线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波) e4`KnHsL  
    <'vM+Lk  
    线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
     
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    离线ka2012
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    只看该作者 1楼 发表于: 2025-05-29
    JCMsuite这个软件看起来不错呢。