这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 mrDIt4$D
]%I cUd} "J]_B 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 eR r.j !|`G<WD S偏振光照明的近场强度
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P偏振光照明的近场强度 ` bd
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 $ WA Fr
.$+]N[-=
在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 jw$3cwddH
EWPP&(u3 PostProcess { JicAz1P1W OpticalImaging { '~i}2e. InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" &| %<=\ OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" $x5P5^Y OpticalSystem { <va3L y)c& SpotMagnification = 2.0 c[]_gUp8 } D3V5GQ\=
} I*R[8|
5T;M,w6DV 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 {S(d5o8 Z%~j) 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
6_/691 >*H>'O4 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)