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摘要 h=kC3ot\
 cCG!X%9 F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 uj)fah?Wg _+Pz~_+kS 建模任务 hw B9N
 # 3FsK
系统构建块-扫描源 4 *.
O%  wS|hc+1 How to Set Up a Scanning Source 2LCOB&-Ww M~.1 :%khM 系统构建块-透镜系统组件 *c (YlfeZ#  PM)nw;nS 系统构建块-参数耦合
-AB0uMot  .kfx\,lgm
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion .k,,PuP
!R[~Z7b6 系统构建块-失真分析仪 !&{"tL@ .
 q{xF7}i 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 :=:m4UJb
 wEU=R>j. 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 \[A JWyP 7GJcg7s*T
通用探测器和探测器附加组件 4(`U]dNcs jq_ i&~S
 2r@ 9|}La
 +iN p8 Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: l4&
l)4Rx fY|[YPGO^ Universal Detector (543`dqAmC wVF
qkJ 总结-组件… FA%V>&; `
 _9<Mo;C
 Q&w"!N 系统观感 ,}l|_GGj
@z`eqG,'] 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 C4
-y%W"P
K C8
 #[Rs &$vQm 性能评估-点位偏差 s#X fu\CP
_]L]_Bh
 UUGX@ 性能评估-光斑直径测量 nx%eq ,Pq TQQh:y  4rpr y@1
Rt@O@oD I
 WwxV} ?Cf+
此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 VKSn \HT~
XI,= W
VirtualLab Fusion技术 6lUC$B Y
 6;(b-Dhi
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