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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 y2cYRHN[X}  
                                        
    4S5U|n  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 jBb:)  
    PKJw%.-  
    建模任务 Cs))9'cD]  
    Z ):q1:y  
    系统构建块-扫描源                                                
    8MU+i%hd  
    s+DOr$\  
    How to Set Up a Scanning Source VX0}x+LJ  
                                                                                   B 1je Ik,  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 shKTj5s?  
    evjj~xkte  
    系统构建块-参数耦合 f?W_/daP  
       F$M^}vsjGx  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion E6XDn`:  
                                                                                  
    zcGmru|k  
    系统构建块-失真分析仪 ?fW['%  
                                                                          
    iSbPOC7  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 {.eo?dQ  
    52ExRG S  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               CVE(N/&b  
    2)hfYLi  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    =U'!<w<-  
    pmRm&VgE.  
    0RgE~x!hI  
    s@zO`uBc  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: K @RGvP  
    0nbY~j$A=  
    Universal Detector L>LIN 1A  
                                                                                   Fs"i fn0  
    总结-组件 &+ "<ia(  
    DG?g~{Y~b  
    #lR-?Uh  
    系统观感   _iu~vU)r  
    1oe,>\\  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 ZLP/&`>8  
    90#* el  
    DL`8qJ'mJs  
    性能评估-点位偏差 A3)"+`&PUl  
    /k8I6  
                                  
    i-PK59VZ8f  
    性能评估-光斑直径测量                                                       djH&)&q!  
    v*[UG^+)  
    0<7sM#sI!  
    d a<>a  
    aq)g&.dw?  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 3\2%i 6W6  
    `JO>g=,4  
    VirtualLab Fusion技术 ? X6M8`  
    VCfHm"'E8  
     
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