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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 ysCK_  
                                              6@"E*-z$  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 EPA 2_  
    _~ 'MQ`P  
    建模任务 s:cJF  
    )L7[;(gQ  
    系统构建块-扫描源                                                     O.Y|},F  
    !E|R3e X_  
    How to Set Up a Scanning Source -d thY(8  
                                                                                   hL&7D @  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 S(^YTb7  
    /q8B | (U  
    系统构建块-参数耦合 !? H:?  
       R+!oPWfb  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 5s;@;V  
                                                                                       45x4JG  
    系统构建块-失真分析仪 CEBu[TT/9  
                                                                               _ nz^+  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 7HQL^Q  
     4E_u.tJ  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               feH&Ug4?G  
    }@/Ox  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         {U@"]{3Qx  
    Y^C(<N$  
    EQk omjv  
     }_-tJ.  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 6)W8HX~+  
    &/:c?F?l  
    Universal Detector :fnJp9c  
                                                                                   =[[I<[BZq  
    总结-组件… Z op/ MeI  
    >;F}>_i  
     vbX.0f "n  
    系统观感   s&+`>  
     dcTZL$  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 /|#2ehE  
    E2z=U  
     g/WDAO?d  
    性能评估-点位偏差 m-a':  
    I+ 3qu=  
                                       WnU2.:  
    性能评估-光斑直径测量                                                       q&O9W?E8dG  
    wAgV evE  
    vO53?vN[m9  
    f:y:: z  
    gwsOw [;k  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 L>&{<M_  
    ZsCwNZR  
    VirtualLab Fusion技术 wDSwcNS  
     b6H7>x  
     
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