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摘要 8f,'p}@!d
8gbm "! F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 |aS~"lImh RCh$j&Tn 建模任务 /LI~o~m1)
> 1r[]&8 系统构建块-扫描源 {Bq"$M!Y RZ|HwYG How to Set Up a Scanning Source % O&m#)| iRUR4Zs 系统构建块-透镜系统组件 &V#z kW }(+=/$C"# 系统构建块-参数耦合 6L8tz8 K=c=/`E Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion /NW>;J}C f
OM^V{)T 系统构建块-失真分析仪 3|K=%jr[
jom}_ 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 vLBee>$
&Mhv XHI 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 %oh`EGmVP {UdcX~\~ 通用探测器和探测器附加组件 ']ITuP8 #a(%(k S
GJC!0{8;
0q[p{_t` Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: #QTfT&m+G} rL%]S&M9 Universal Detector YN%=Oq "ep ` 总结-组件… GUu\dl9WA'
?qg^WDs$
! fi &@k 系统观感 S,*{q( ?w]"~ 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 {PODisl>\D [$( sUc(%
( zn_8s 性能评估-点位偏差 I&TTr7 ,DQGv_
V[o7Jr~ 性能评估-光斑直径测量 v8=?HUDd SY%A"bC ^&+zA,aL,A u}K5/hC
wr$cK'5ZL 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 @Jb@L /d0Q>v.g VirtualLab Fusion技术 IajD;V
9J~:m$.
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