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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 &8Oy*'  
                                        
    9J f.Ls  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 3*<~;Z' z4  
    :x_;-  
    建模任务 d@<~u,Mt&F  
    /y5a~3  
    系统构建块-扫描源                                                
    2?9gf,U  
    2E=vMAS  
    How to Set Up a Scanning Source 8$6^S{M3  
                                                                                   Cn8w}) B  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 rp,PhS  
    UE%~SVi.#  
    系统构建块-参数耦合 ]1i1_AR'`  
       vsCy?  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion VaFv%%w  
                                                                                  
    An3%@;  
    系统构建块-失真分析仪  *4{GI D  
                                                                          
    G\o *j |  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 w!/se;_H+w  
    ZHOh(  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               B)(ZRH  
    :~dI2e\:  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    orr6._xw  
    SXm Hn.?  
    gye'_AR?k  
    |H@1g=q  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: %DF-;M"8  
    a2`|6M;  
    Universal Detector c/ABBvd|  
                                                                                   @G>Q(a*,  
    总结-组件 !&8HA   
    i slg5  
    j= Ebk;6p  
    系统观感   !S}4b   
    n*GsM6Y&  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 > z1q\cz  
    d (8X?k.S  
    x $ oId{;  
    性能评估-点位偏差 >`!Lh`n7_  
    h oL"K  
                                  
    &KZr`"cT#  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ;Jq 7E  
    @ wJ|vW_.  
    0]^ke:(#  
    6 P6Pl&  
    %N }0,a0  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 F8%.-.l)  
    )=c/{  
    VirtualLab Fusion技术 f)/5%W7n}  
    5 U{}A\q  
     
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