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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 Zv[D{  
                                             &,v- AL$:Q  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 hc"l^a!7ic  
    }%8 :8_Ke  
    建模任务 u{| Q[hf[  
    x*`S>_j27=  
    系统构建块-扫描源                                                     g`7C1&U*T  
    n*gr(S  
    How to Set Up a Scanning Source "|N58%  
                                                                                   ar&j1""  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 !sknO53`H`  
    ,=_)tX^  
    系统构建块-参数耦合 fAEgrw%Ti  
        3o_)x  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion W D/\f$4  
                                                                                       GtuA94=!V&  
    系统构建块-失真分析仪 |Do+=Gr$t@  
                                                                               G3.*fSY$.<  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 lw\+!}8(  
     ?g{--'L  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               xL&evG#  
    k kZ2Jxvx  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         [c^!;YBp)  
    XC(:O(jdA2  
    .2Q4EbM2  
     t]3> X  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: v 9,<2  
    hQeGr 2gMq  
    Universal Detector g 2LY~  
                                                                                   gg0rkg  
    总结-组件… uI9eUO  
    #r|qi tL3  
     ^l:~r2  
    系统观感   [X9T$7q#  
     {})d}dEC  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 9T\uOaC"  
    d/8p?Km  
     'iM#iA8  
    性能评估-点位偏差 %nS(>X<B  
    Z bW!c1s{  
                                       @Ojbu@A  
    性能评估-光斑直径测量                                                       +Rj8 "p$K  
    Aaw]=8 OI  
    oW5Ov  
    N&uRL_X .  
    '^n,)oA/G  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 &ir|2"HV  
    ~GLWhe-  
    VirtualLab Fusion技术 w4Uo-zr@  
     :[:*kbWN-  
     
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