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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 TTjj.fq6  
                                        
    $<^4G  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 [\N,ow,n  
    9vc3&r  
    建模任务 S-[]z*  
    }>:v  
    系统构建块-扫描源                                                
    M7vc/E}]n  
    #5HJW[9  
    How to Set Up a Scanning Source C[ <OF/  
                                                                                   CL/8p;  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ,6rg00wGE  
    C:/ca)  
    系统构建块-参数耦合 \~ O6S`,  
       kQlXcR  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion oD_'8G}  
                                                                                  
    1fRYXqx  
    系统构建块-失真分析仪 k^gnOU;  
                                                                          
    GIQ/gM?Pv  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 lPm'>, }Y  
    7SYU^GD  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ^!H8"CdC3  
    &,Dh*)k  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    ry}CND(nB  
    j<!rc>)2+L  
    (A`/3Aq+  
    ^.jIus5  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: c_a*{L|c  
    `/ix[:}m^  
    Universal Detector J!%Yy\G  
                                                                                   @u3K.}i:g  
    总结-组件  ~d_Z?Z  
    %*]3j^b Q+  
    HB`u@9le  
    系统观感   u$x H iD  
    ":?>6'*1  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 iOm1U_S  
    a^i`DrX  
    1eI >Yy>}  
    性能评估-点位偏差 vjaIFyj  
    wIuwq>  
                                  
    z.oDH<1  
    性能评估-光斑直径测量                                                       g*\u8fpRq  
    |332G64K  
    ~;#J&V@D  
    O:Bfbna  
    c3&F\3  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 MX6*waQ-<  
    _WtX8  
    VirtualLab Fusion技术 v>.nL(VLjP  
    o %A4wEye  
     
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