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摘要 y2cYRHN[X}
 4S5U|n F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 jBb:) PKJ w%.- 建模任务 Cs))9'cD]
 Z ):q 1:y
系统构建块-扫描源 8MU+i%hd  s+DOr$\ How to Set Up a Scanning Source VX 0}x+LJ B 1je Ik, 系统构建块-透镜系统组件 shKTj5 s?  evjj~xkte 系统构建块-参数耦合 f?W_/daP  F$M^}vsjGx
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion E6XDn`:
zcGmru|k 系统构建块-失真分析仪 ? fW['%
 iSbPOC7 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 {.eo?dQ
 52ExRG S 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 CVE(N/&b 2)hfYLi
通用探测器和探测器附加组件 =U'!<w<- pmRm&VgE.
 0RgE~x!hI
 s@zO`uBc Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: K
@RGvP 0nbY~j$A= Universal Detector L>L IN 1A Fs"i fn0 总结-组件… &+ "<ia(
 DG?g~{Y~b
 #l R-?Uh 系统观感 _iu~vU)r
1oe,>\\ 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ZLP/&`>8
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 DL`8qJ'mJs 性能评估-点位偏差 A3)"+`&PUl
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 i-PK59VZ8f 性能评估-光斑直径测量 djH &)&q! v*[UG^+)  0<7sM#sI!
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 3\2%i 6W6
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VirtualLab Fusion技术 ? X6M8`
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