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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 l|5;&(Y+s  
                                             m! _*Q  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 FFpG>+*3  
    9y(491"o  
    建模任务 !7jVKI80  
    ,'>O#kD  
    系统构建块-扫描源                                                     HAc1w]{(  
    ~dlpoT  
    How to Set Up a Scanning Source (I\qTfN4  
                                                                                   q o tWWe#  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 jC_m0Iwc  
    klSAY  
    系统构建块-参数耦合 FgTWym_  
       y]b &3&  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion OGAC[s~V  
                                                                                       #0'%51Jcl  
    系统构建块-失真分析仪 raCgctYVq  
                                                                               H/N4t Wk"  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 go B'C  
     0*XCAnJ^_  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               -mY,nMDb  
    @tg4rl  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         `$i/f(t6`  
    sX,S]:X  
    _FtsO<p)"  
     >m# bj^F\  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: yrQf PR  
    K410.o/=-  
    Universal Detector _q=ua;I&  
                                                                                   <Xl/U^B  
    总结-组件… N Nw0 G&  
    #8@o%%F d  
     ^j]_MiA4  
    系统观感   = ow=3Ku  
     <#~n5W{l  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 +~f=L- >  
    <P.'r,"[  
     qA5 Ug  
    性能评估-点位偏差 Zgt(zh_l  
    Js/QL=,  
                                       { pk]p~  
    性能评估-光斑直径测量                                                       e"&QQ-q  
    E_T!|Q.  
    IA680^  
    i6)HC  
    :s>x~t8g#n  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 oMHTB!A=2  
    =Hx]K8N)  
    VirtualLab Fusion技术 P$5K[Y4f  
     a6!|#rt  
     
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