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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 8f,'p}@!d  
                                             8gbm"!  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 |aS~"lImh  
    RCh$j&Tn  
    建模任务 /LI~o~m1)  
    >1r[]&8  
    系统构建块-扫描源                                                     {Bq"$M!Y  
    RZ|HwYG  
    How to Set Up a Scanning Source %O&m#)|  
                                                                                   iRUR4Zs  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 &V#zkW  
    }(+=/$C"#  
    系统构建块-参数耦合 6L8tz 8  
       K=c=/`E  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion /NW>;J}C  
                                                                                       f OM^V{)T  
    系统构建块-失真分析仪 3|K=%jr[  
                                                                               jom} _  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 v LBee>$  
     &Mhv XHI  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               %oh`EGmVP  
    {UdcX~\~  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ']IT uP8  
    #a(%(k S  
    GJC!0{8;  
     0q[p{_t`  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: #QTfT&m+G}  
    rL%]S&M9  
    Universal Detector YN%=Oq  
                                                                                   "ep`  
    总结-组件… GUu\dl9WA'  
    ?qg^WDs$  
     !fi &@k  
    系统观感   S,*{q(   
     ?w]"~   
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 {PODisl>\D  
    [$( sUc(%  
     ( zn_8s  
    性能评估-点位偏差 I&TTr7  
    ,DQGv_  
                                       V[o7J r~  
    性能评估-光斑直径测量                                                       v8=?HUDd  
    SY%A"bC  
    ^&+zA,aL,A  
    u}K5/hC  
    wr$cK'5ZL  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 @Jb@L  
    /d0Q>v.g  
    VirtualLab Fusion技术 IajD;V  
     9J~:m$.  
     
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