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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 BF@(`D&>  
                                             a% |[m,FvP  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 R $HI JM  
    ?v-IN  
    建模任务 / d=i 0E3  
    ,Dfq%~:grT  
    系统构建块-扫描源                                                     `au(' xi<  
    z~Ph=1O>p  
    How to Set Up a Scanning Source mr6/d1af_  
                                                                                   RIOR%~U  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ML'4 2z Y  
    zWoPa,  
    系统构建块-参数耦合 YLmzMD>  
       DeE-M"  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion TC[_Ip&  
                                                                                       }hrLM[  
    系统构建块-失真分析仪 F@Y)yi?z  
                                                                               ;j])h !8X  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ZHUA M59bx  
     4d4le  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ^wPKqu)^  
    @P#uH5U  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         qIcQPJn!}  
    P1;T-.X~&  
    V#.;OtF]  
     u3vBMe0v[  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Z)EmX=  
    "'h?O*V]u{  
    Universal Detector 4J0{$Xuu 0  
                                                                                   0-pLCf  
    总结-组件… Z m9 e|J  
    Bzn{~&i?W:  
     x^Tjs<#  
    系统观感   j89|hG)2  
     Z.Lm[$/edn  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 fN~kd m.  
    jK/2n}q&]  
     G,M &z>ub0  
    性能评估-点位偏差 sY+U$BYB>  
    4)BZ%1+  
                                       t5mI)u  
    性能评估-光斑直径测量                                                       *#1&IJPI  
    4v9zFJ<Z  
    zIt-mU  
    F,Y,0f@4U9  
    Qw4P{>|Y  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 fiOc;d8  
    "<ow;ciJF  
    VirtualLab Fusion技术 $ r|R`n=  
     X).UvPZ/  
     
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