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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 9L,T@#7  
                                             :M16ijkx  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 e!#:h4I  
    dL>ZL1.$  
    建模任务 A7se#"w  
    KVBz=  
    系统构建块-扫描源                                                     (#~063N,#  
    } 2KuY\5\i  
    How to Set Up a Scanning Source :v`o="  
                                                                                   hI$an%Y(  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ~<-i7uM  
    ~7|z2L  
    系统构建块-参数耦合 G6FknYj  
       rnUe/HjH  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion >K3Lww)Ln  
                                                                                       =x> KA*O1  
    系统构建块-失真分析仪 '0+-Hit?  
                                                                               ynhH5P|6,  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 X(~NpLR  
     CKK8 o9W  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               K7|BXGL8r8  
    U<$|ET'  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         *:iFhKFU  
    74_ji!  
    B4%W,F:@  
     9"[#\TW9Vb  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: "bqB@)  
    F{v+z8nW  
    Universal Detector M%m$ 5[;n  
                                                                                   k 2~j:&p  
    总结-组件… dXZV1e1b&#  
    5Jd,]~KAP  
     #-{4F?DA]y  
    系统观感   D?$f[+  
     c8h 9  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 V<b"jCXI  
    P6 9S[aqW  
     [dL#0~CL$  
    性能评估-点位偏差 O:4.xe  
    D9h\=[%e  
                                       ZDlMkHJ  
    性能评估-光斑直径测量                                                       g94NU X  
    L49`=p<  
    a4?:suX$  
    nCt:n}+C7  
    "[76>\'H  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Y>r9"X| &H  
    dLLF#N  
    VirtualLab Fusion技术 N/(&&\3  
     {$b]K-B  
     
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