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摘要 &8Oy *'
9Jf.Ls F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 3*<~;Z' z4 :x_;- 建模任务 d@<~u,Mt&F
/y5a~3 系统构建块-扫描源 2?9gf,U 2E=vMAS How to Set Up a Scanning Source 8$6^S{M3 Cn8w})B 系统构建块-透镜系统组件 rp,PhS UE%~SVi.# 系统构建块-参数耦合 ]1i1_AR'` vsCy? Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion VaFv%%w An3%@; 系统构建块-失真分析仪
*4{GID
G\o*j| 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 w!/se;_H+w
ZHOh( 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 B)(ZRH :~dI2e\: 通用探测器和探测器附加组件 orr6._xw SXm Hn.?
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|H@1g=q Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: %DF-;M"8 a2`|6M; Universal Detector c/ABBvd| @G>Q(a*, 总结-组件… !&8HA
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j= Ebk;6p 系统观感 !S}4b n*GsM6Y& 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 >z1q\cz d(8X?k.S
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oId{; 性能评估-点位偏差 >`!Lh`n7_ h oL"K
&KZr`"cT# 性能评估-光斑直径测量 ;Jq 7E @
wJ|vW_. 0]^ke:(# 6P6Pl&
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}0,a0 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 F8%.-.l) )=c/{ VirtualLab Fusion技术 f)/5%W7n}
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