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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 :>q*#vlb  
                                             id?B<OM  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 5R%4fzr&g  
    + g*s%^(E  
    建模任务 2=%R>&]*  
    AY(z9 &;6  
    系统构建块-扫描源                                                     $sxm MP  
    2?}5U)Hg  
    How to Set Up a Scanning Source 2uEvu  
                                                                                   0XzrzT"&  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 |19zjhl  
    US'rhSV  
    系统构建块-参数耦合 />dH\KvN  
       =>m x>R`S  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion !7>~=n_,L.  
                                                                                       = }!4%.$  
    系统构建块-失真分析仪 + e3{J_  
                                                                               $&ZN%o3  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 +oRBSAg-  
     <tn6=IV  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               +M{A4nYY|1  
    1 k\~%  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         /l b"g_  
    w|G4c^KH  
    [h0.k"&[  
     0_f6Qrcj  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: T*"*##c  
    KmX?W/%R  
    Universal Detector 3$n O@rOS  
                                                                                   6mml96(  
    总结-组件… w7e+~8|  
    INF}~DN]  
     T$pBgS>  
    系统观感   p 02E:?  
     ,&ld:v?~  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 2PDU(R  
    nl/~7({  
     7H$wpn Zln  
    性能评估-点位偏差 ;Ob`B@!=b  
    XNaiMpp'  
                                       E5.@=U,c  
    性能评估-光斑直径测量                                                       !)//b]  
    @UwDsx&2(t  
    SLjSNuOP  
    P+gY LX8  
    9>!B .Z?!#  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 HlgkW&}c^  
    ~ \3j{pr  
    VirtualLab Fusion技术 m[$pj~<\  
     7blo<|9  
     
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