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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 *?R<gWCF  
                                             "ZR^w5  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 +kM*BCPYE  
    YPmgR]=6  
    建模任务 W@WKdaJ  
    >U6 2vX"  
    系统构建块-扫描源                                                     V_P,~!  
    -!-1X7v|Fp  
    How to Set Up a Scanning Source u;/<uV3  
                                                                                   +8 }p-<a  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ^~DClZ  
    EViDMp"  
    系统构建块-参数耦合 `y*o -St3  
       gPY Cw?zQ  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion /rzZU}3[  
                                                                                       lQt* LWd[  
    系统构建块-失真分析仪 de q L  
                                                                               ^cI 0 d,3=  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 X0BBJ(e  
     *:,y`!F=y  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               2@?\"kR"!  
    o]WG8Mo-  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         /F_(&H!m  
    !A#(bC  
    Z:Nm9m  
     B+n(K+  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: &)F# cVB  
     $&to(  
    Universal Detector la*c/*  
                                                                                   ;0Mg\~T~'  
    总结-组件… &BkdC,o  
    L<O"36R  
     ky{-NrK  
    系统观感   MzCZj  
     xYD.j~  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 4qmaL+Q  
    O_[]+5.TX  
     =(]||1 .  
    性能评估-点位偏差 '/Ag3R  
    RtScv  
                                       /]hE?cmj  
    性能评估-光斑直径测量                                                       {+x;J4  
    @1tv/W  
    )NCSO b  
    x[1( cj  
     FA#8  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Z*M-PaU}  
    ` EgO&;1D)  
    VirtualLab Fusion技术 :Wmio\  
     (  V H0+  
     
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