摘要 JOeeU8C )=_,O=z$K 斐索
干涉仪是工业上常见的
光学计量
设备,通常用于高
精度测试光学表面的质量。在
VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下,我们建立了一个Fizeau干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,例如圆柱形和球形表面。结果表明,表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。
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lA8`l>I \ta?b!Y),? 通用探测器和探测器附加组件 iSs:oH3l 3eQ&F~S
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@GW#&\yM rf{rpe$ 观测下的倾斜平面 FXkM#}RgNm ,.FxIl]
xdkZdx>N FJ)$f?=Qd 被观测圆柱面 smo~7; ^.QzQ1=D
oe-\ozJ0 Wdbed U~`Q 被观测球面 {&1/V
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