摘要 _I:~@ q
]M+/sl 斐索
干涉仪是工业上常见的
光学计量
设备,通常用于高
精度测试光学表面的质量。在
VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下,我们建立了一个Fizeau干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,例如圆柱形和球形表面。结果表明,表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。
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NM" iTFdN}U 通用探测器和探测器附加组件 9S-Z&2L .$Ik`[+Z
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被观测圆柱面 lp<g\ +s,Qmmb7)
nN*w~f" ;u;# g 被观测球面
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