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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-22
    摘要 _b~{/[s  
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    j fY7ich  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 <Kv$3y  
                                                                 p2i?)+z  
    建模任务                                                         WYUDD_m  
    Lz'VQO1U=  
    '|zrzU=  
    0<-E)\:[g  
    光栅元件   6(f 'P_*  
    .+/d08]  
                                                        
    Gs,:$Im  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: \:WWrY8&  
    • FMM/RCWA Dp ](?Yr  
    • Diffractive Lens Component PC#^L$cg}  
                                                                 IT_I.5*A2  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ,|({[ 9jA  
    9qB0F_xl  
                                                    
    I4X9RYB6c  
    T$xB H  
    正弦光栅-传输相位形态     l4oyF|oJTH  
    J, 9NVw$  
                                                    
    No'?8+i  
    VI&x1C  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         rG-T Dm  
    N>!:bF  
    'BjTo*TB]Z  
    20;9XJmjl  
    正弦光栅-衍射效率 cQU;PH]  
    W&?Qs=@  
                                                            
    $')C&  
    r!mRUw'u  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       *9aJZWf>V  
    |`5 IP8Z  
      
    mH'~pR>t  
    7MKX`S  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   f~`=I NrU  
                                      
    lM6pYYEq=  
    hy5[ L`B  
                                                                 -b(DPte  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) i+*!" /De  
    AI-*5[w#A  
                                                          
    *VZ|Idp  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         /,Xl8<~#  
    >NRppPqL  
    iVXt@[  
    HC%Hbc~S_Q  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         r7m~.M+W"  
    fK J-/{|  
    5?kfE  
                                                                 D@O `"2  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Ax;[Em?I  
    ju"z  
    2B ]q1>a!  
                                                                 <+roY"  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         JE?rp1.  
    q< JCgO-F<  
    a5 D|#9  
                                                                 C0wtMD:G  
    VirtualLab Fusion技术   B*(]T|ff<  
    gq7tSkH@  
                                                        
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