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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 9| v  
    kNI m90,g  
     elWN-~  
                                                             x1/Usupi  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 C@buewk  
                                                                 l'W?X '  
    建模任务                                                         x~$P.X7(~  
    $sU?VA'h  
     ]RPv@z:V  
    6vX+- f  
    光栅元件   Umv_{n`  
    !#rZ eDmw  
                                                             F@ZG| &  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: +=$\7z>s  
    • FMM/RCWA [=Np.:Y%  
    • Diffractive Lens Component ~"gOq"y 5p  
                                                                 N,(@k[uta  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       GL@s~_;T6  
    RL~\/#  
                                                         (8GJLs 8  
    IQGIU3O  
    正弦光栅-传输相位形态     E5jK}1t4V  
    jS5e"LMIq  
                                                         izY,t!  
    ).9-=P HlX  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         \Wt&z,  
    ZA2y  
     Xvi{A]V  
    plsf` a  
    正弦光栅-衍射效率 _L_SNjA_  
    m]Z+u e  
                                                                 IB}.J,=  
    PaMi5Pq  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       T(a* d7  
    4J!1$   
           tOnaD]J  
    g[8V fIe  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   &4O"Xs`ka  
                                           ;r49H<z   
    bp_3ETK]P  
                                                                 Y91TF'  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) aZ5qq+1x  
    ~ZG>n{Q   
                                                               Kl(}s{YFn.  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         6jCg7Su]  
    EIEwrC  
    x[WT)  
     |g8 ]WFc  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         [DGq{(O  
    Y +HVn0~qz  
     0Yfk/}5  
                                                                  P/nXY  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         aR}NAL_`w  
    DMfC(w.d  
     qbqJ1^!6R  
                                                                 YyK9UZjI  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         8'^eH1d'  
    (C6Y*Zm\  
     d@C ;rzR  
                                                                 h=`rZC  
    VirtualLab Fusion技术   [0/?(i|  
    )I1LBvfQ  
                                                             <Y~V!9(~{Q  
     
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