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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-22
    摘要 <hB~|a<#  
    RWdx) qj{  
    P%y$e0  
                                                        
    qLk7C0  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 H5/w!y@  
                                                                 WF`  
    建模任务                                                         )vy_m_f&  
    Wf>=^ ~`  
    l;vA"b=]  
    f@H>by N  
    光栅元件   U{ ZKxE  
    ku^0bq}BrH  
                                                        
    Ie'iAY  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: /[=U$=uH  
    • FMM/RCWA XBN,{  
    • Diffractive Lens Component tW=oAy  
                                                                 =aCd,4B}  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       =fcRH:B:  
    ^#&PTq>  
                                                    
    Oz4yUR  
    17S<6j#H5  
    正弦光栅-传输相位形态     ~5 e 1&  
    .( X!*J]G  
                                                    
    Vh8RVFi;c  
    (&xIB F_6  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         .y2np  
    BBHoD:l  
    'aJm4W&j  
    /9(8ML#E  
    正弦光栅-衍射效率 3 , nr*R!  
    ^=,N] j  
                                                            
    LhQidvCNJ  
    != u S  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ;0;5+ J7  
    Xf*}V+&WN  
      
    T74."Lo#  
    cPg$*,]  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   M<cm]  
                                      
    L^{wxOf&6E  
    V<0J j  
                                                                 U'Fc\M5l/l  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) jU_#-<'r  
    mcLxX'c6<h  
                                                          
    MVZ9x%  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         [K#pU:lTH  
     !AFii:#  
    A =l1_8,`h  
    GdtR  /1  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         A S]jJc^  
    {14sI*b16  
    S<nbNSu6+  
                                                                 ~)%DiGW&  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ZY-mUg  
    Ops""#Zi  
    T8\%+3e.  
                                                                 #u$ Z/,  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         D[bPm:\0M  
    uoe>T:  
    (5&l<u"K~  
                                                                 "MU)8$d  
    VirtualLab Fusion技术   A:YWXcg  
    jWJ/gv~ $  
                                                        
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