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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 aC$-riP,?'  
    R`M>w MLH  
    4#<r}j12z  
                                                        
    i/Zv@GF  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 hG1\  
                                                                 NMaZ+g!t(  
    建模任务                                                         ^eF%4DUC;  
    {WokH;a/  
    PSCzeR  
    VycC uq&M  
    光栅元件   &8=wkG%  
    %@C(H%obWd  
                                                        
    B=<>OYH  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 2pr#qh8  
    • FMM/RCWA ~yX8p7qr  
    • Diffractive Lens Component (L`7-6e(Ab  
                                                                 [D;wB|+,  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ?+3vK=Rf}  
    C8^h`B9z&I  
                                                    
    ,=TY:U;?  
    1co;U  
    正弦光栅-传输相位形态     ^Om0~)"q  
    6_UCRo5h%  
                                                    
    pFB^l|\ ]  
    nK!yu?mS  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         31VDlcn E  
    rC !!X  
    r6,EyCWcCs  
    X283.?  
    正弦光栅-衍射效率 : Xe,=M(l~  
    1w` ]2  
                                                            
    $ ,:3I*}be  
    ~wejy3|@0  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       cWp5' e]A  
    dM-qd`  
      
    d+caGpaR  
    g?7I7W~?`  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   _cRCG1CJ  
                                      
    9N+3S2sBx&  
    7lLh4__;`6  
                                                                 >Bw<THx  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ol[sX=5 *  
    Etj0k} A  
                                                          
    h+\+9^l6|  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         :D|5E>o(  
    Ru&>8Ln0  
    Ux/|D_rlf  
    s'7PHP)LOJ  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         c*m7'\  
    "_f~8f`y  
    v3*y43  
                                                                 OfE>8*RI4  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         'VMov  
    KD<smwXjG  
    (yJY/|  
                                                                 N1',`L5  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                          =8o$  
    ^@V; `jsll  
    "^froQ{"T  
                                                                 aAbK{=/y_!  
    VirtualLab Fusion技术   |#b]e|aP  
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