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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 DpA)Z ??  
    V r y#  
    _vad>-=D*U  
                                                             ]_-<[0  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ^ H'|iju  
                                                                 GDk/85cv0$  
    建模任务                                                         !=ZbBUJF  
    )ZT&V I  
     [;c#LJ/y  
    Ls9G:>'rR  
    光栅元件   qh=lF_%uj  
    ZI1[jM{4^F  
                                                             $v+g3+7  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: es.`:^A  
    • FMM/RCWA C; ! )<(Vw  
    • Diffractive Lens Component ^K3{6}]  
                                                                 .*8.{n5   
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       -E.EI@"  
    <.Pr+g  
                                                         1<lLE1fk  
    J|s4c`=  
    正弦光栅-传输相位形态     55Jk "V#8  
    ^58'*13ZL  
                                                         3dXyKi  
    =\tg$  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         07CGHAxJ`  
    ?!Y2fK=h0  
      Y]P]^3  
    DI+kO(S  
    正弦光栅-衍射效率 VaH#~!  
    2&dtOyxo>  
                                                                 QGfU:  
    uRJLSt9m  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       k0%4&pU  
    Uc \\..Cf  
           e%"L79Of6)  
    P*G&pitT  
    正弦光栅—选定周期的相位形态    y!!p:3  
                                           K5b8lc  
    koe&7\ _@  
                                                                 oMcX{v^"  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) r%F{1.  
    iugTXZ(  
                                                               iz>a0~(K  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         b bX2D/  
    )t0t*xu#  
    M++*AZ  
     Ot5 $~o  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ~,.Agx  
    s>^*GQw  
     [K,&s8N5  
                                                                 RytQNwv3  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         R/U"]Rc  
    e%#9|/uP  
     B$aboL2  
                                                                 mq >Ag  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         9_oIAn:<  
    V\^?V|  
     (q*Za  
                                                                 KR#Bj?fz-H  
    VirtualLab Fusion技术   !ZHPR:k|  
    {6*h';~  
                                                             -fn["R]  
     
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