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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-22
    摘要 *0WVrM06?  
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    ~%hdy @  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 FOaA}D `]  
                                                                  %zavSm"  
    建模任务                                                         $+gQnI3w  
    !3Dq)ebBz  
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    Rq4; {a/j  
    光栅元件   =4y gbk  
    LPs%^*8(2  
                                                        
    ?2<QoS  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 68%aDs  
    • FMM/RCWA IrwQ~z3I  
    • Diffractive Lens Component c '|*{%<e2  
                                                                 egmUUuO  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       W5j wD  
    0J R/V68$  
                                                    
    2j\_svw'  
    <J%qzt}  
    正弦光栅-传输相位形态     .=y=Fv6X  
    \0@DOW22C  
                                                    
    LUbhTc  
    3 ML][|TR  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         s|YH_1r  
    qLR;:$]Q&8  
    x0 7 =  
    M-WSdG[AJ  
    正弦光栅-衍射效率 O7.V>7Y9H  
    Z'o0::k  
                                                            
    /E>;O47a  
    VPN 9 Ql=  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       >}k*!J|  
    yoE-a  
      
    DJ ru|2  
    8lQ/cGAc  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   LpHGt]|D  
                                      
    ^} j~:EZb  
    |N,^*xP(6  
                                                                 /Qgb t  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) q 4BXrEOw  
    \F _1 C=  
                                                          
    cGot0' mB  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         _KRnx-  
    +U fw  
    6:_~-xG  
    +|?a7qM  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         L03I:IJ  
    d`\SX(C  
    %Z;RY5  
                                                                 ;NP-tA)  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         NF$6yv9C  
    f,YORJ  
    LP3#f{U  
                                                                 @`.4"*@M  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         #v c+;`X  
    8~y!X0Ov!  
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                                                                 DVQr7tQf  
    VirtualLab Fusion技术   g}9 ,U&$]y  
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