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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-22
    摘要 9h&R]yz;  
    Fz#X= gmG  
    rf~Y6U?7  
                                                             d.UQW yLG  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 0k)rc$eDF+  
                                                                 kF(n!2"W  
    建模任务                                                         0:w"M<80  
    M?m,EQh.  
     1W7% 1FA  
    2c6g>?  
    光栅元件   `F<jLU^3  
    ,XDRO./+T  
                                                             1 zw*/dp  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: %\]* OZ7  
    • FMM/RCWA ~t9tnLc$  
    • Diffractive Lens Component J'$>Gk]  
                                                                 <-D/O$q  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ry9T U  
    /xtq_*I1S  
                                                         .X# `k  
    hn#1%p6t  
    正弦光栅-传输相位形态     y;_% W  
    i&{DOI%w  
                                                         , ]bB9tid  
    `tP7ncky  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         '%q$` KDb  
    h1'\:N`  
     Ym3\pRFiD  
    9$2/MT't  
    正弦光栅-衍射效率 CHe>OreiS  
    ggJO:$?$L  
                                                                 ^R:cd8+?%  
    0 $,SF3K  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       uj :%#u  
    ?@E!u|]K  
           +v=C@2T  
    dCRyOid$  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   1t)il^p4[;  
                                           J0@X<Lt U  
    hCC<?5q  
                                                                 )wT-8o  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) EK4d_L]I  
    #Y$hNQQ$F  
                                                               iof-7{+3_  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         17`1SGZ  
    ZIQ [bE7  
    #{?qNl8F*J  
     =3L;Z[^9  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ]*AR,0N&  
    ? #fu.YE\  
     p6;OL@ \~  
                                                                 K*~0"F>"0  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         r,h%[JKM  
    /Njd[= B  
     [PDNwh0g5  
                                                                 )c)vTZy  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         9b9$GyI  
    {GQ^fu;q  
     , GP?amh  
                                                                 E"5*Ei)^3  
    VirtualLab Fusion技术   `hQ5VJo  
    tNbN7yI  
                                                             PK`D8)=u  
     
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