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摘要 (x!bZ,fu #v<+G=r*O
wm4e:& cke[SUH, 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 "+60B0>sc glUP 建模任务 }Z=Qy;zk /J:j'6
CSs6Vm!= 2;tp>,G9d 光栅元件 2:yv:7t/ NI)nf;C
];YOP%2 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: G[ea@u$? • FMM/RCWA dWSH\wm+ • Diffractive Lens Component Gz:a1-x j|9 2
g 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) $+j) r+crE %-
;'kH<Iq im"v75 tc 正弦光栅-传输相位形态 <o
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Yy]Henw; Ym6[~=~EK 正弦光栅-衍射效率 ~yV0SpL u/:@+rTV_
;pJ7k23( r=;k[*;{ 正弦光栅-效率vs. 周期 BH^q.p_#>X O B:G5B`
&%<G2x$ U.\kAEJ 正弦光栅—选定周期的相位形态 <\u%ZB *!r8HV/< xfilxd B(hNBq7 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) SrxX-Hir 6aL`^^
a[!':-R`s 闪耀光栅-传输相位形态 b1+Nm PeOgXg)L`z Y (Q8P{@( gyIPG2d 闪耀光栅-衍射效率 ;,D7VxWhY :gmVX}
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