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摘要 AT9q3 x/;bu W-
:@ %4 *tgnYa[l 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 v=_6XF 3
|hHR 建模任务 #bl6sa{E t: #6sF
F'B8v3 O9EKRt 光栅元件 m9" n4a|: XVKfl3'%
#$c Rkw 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: s<oNE)xe • FMM/RCWA ^go7_y • Diffractive Lens Component 7N:Y?Hi\ dHK`eS$sb 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) u>TZt]h8 oo=Qt(#
$% 1vW=d =|I>G?g- 正弦光栅-传输相位形态 gF$V$cU (N&lHLy
(*oL+ef-C 1jc,
Y.mP 正弦光栅-传输相位形态 =Qgt${| WDg+J
p;W.lcO`0 \T<$9aNb 正弦光栅-衍射效率 X LL/4 ) E I:w
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+"8,Mh 6(G?MW. 正弦光栅-效率vs. 周期 Zf'TJ`S sVJ!FC
iVG-_RsKK JaK}| 正弦光栅—选定周期的相位形态 G(~;]xNW+ J41G&$j( |37
g ~ ;gs
^%z 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) r=6v`)Qr zxf"87se
;$a@J& 闪耀光栅-传输相位形态 DqX{'jj mExVYp h IdXZoY 4H|(c[K; 闪耀光栅-衍射效率 jcI&w#re nv0]05.4
aBNZdX]vzO `&-Mi[1 闪耀光栅-效率vs.周期 7DIIx}A v>Mnl
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= {;.T7dL 闪耀光栅-选定周期相位形态 u-tQ9ioKC QK+(g,)_86
KyzFnVH3) <x&%~6j VirtualLab Fusion技术 G 2mX; !}4MN:r
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