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摘要 |&"aZ!Kn `Pc6
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S3/%;=| E"9(CjbQ[ 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 l<XYDb~op tTBDb 建模任务 V?dwTc Zb2pZhkW
Uj;JN}k @\nQ{\^; 光栅元件 cW>=/ 2$Xof
,r*Kxy 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: n
6pJ]Ce • FMM/RCWA hYpxkco"4' • Diffractive Lens Component F(n<:TvlK @Dfg6<0 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) )YgntI@ Xuu&`U~%
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8~ la<.B^ 正弦光栅-传输相位形态
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9V1d`]tP <qfAW?tF 正弦光栅-传输相位形态 .iy>N/u \_O#M
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K-:y 正弦光栅-衍射效率 %:'G={G`QH 1SztN3'q
27fLW&b2 ;*Vnwt A 正弦光栅-效率vs. 周期 V K6D {,JO}Dmu5
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H2%Qu<Kg2 正弦光栅—选定周期的相位形态 hhaiHi!$
YA,~qT| LUD. .F8[;+ 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA)
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.8K 闪耀光栅-效率vs.周期 UgAp9$=z pi"M*$
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