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摘要 {{2ZWK 6| >TL0hBaaR
3!Be kn] "h:xdaIE/p 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 [dt1%DD`M u!g<y 建模任务 Dm4\Rld{ JY>]u*=
{0Leua NINyg"g< 光栅元件 ["@K~my~D* #>>-:?X
o ue;$8 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ,&l>^w/ • FMM/RCWA '<XG@L • Diffractive Lens Component $e<3z6 ~G"6^C:x 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) !JrVh$K
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?[VS0IBS }|A%2!Q} 正弦光栅-传输相位形态 \W*ouH L{\B9b2
eqjl$QWPJS [>6:xGSe9X 正弦光栅-传输相位形态 8[zP2L!- *K0CUir|
&|gn%<^ .O lq_wuH 正弦光栅-衍射效率 vH7"tz&RIp ot,<iE#za
eR5swy& !xa,[$w(^ 正弦光栅-效率vs. 周期 PW.W.<CL r%TgZ5~u
Ym!Ia&n lfWxdi 正弦光栅—选定周期的相位形态 ^#"!uCq]gM T_I"Tsv _>&zhw2 ~":?}) 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) @^%zh 8tPq5i
u^V`Ucd"R 闪耀光栅-传输相位形态 Yo:>m*31 >F@7}Y( l} h<2 WvN5IHo 8i 闪耀光栅-衍射效率 WO_cT26Y G~YV6??
i' N G?8,&jP~T 闪耀光栅-效率vs.周期 :IS]|3wD VN;Sz,1Z
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