可变量功能(Variable)和连接功能(Link)是可以方便用户对于
结构中存在变量,以及同时存在多个变量时的
仿真,可变量功能可以一次计算多种仿真条件,从而用户可以很容易地对各种条件下的数据进行比较和分析,而连接功能可以同时改变两个或两个以上的条件,在某些数据复杂的情况下可以简化数据,降低运算量。其含义解释可参考下图
'Nqa=_<WW +,g"8&> 本案例在一个简化的IPS结构来使用变量和连接的功能
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oud); 1. 建模任务 }C'H@:/ 1.1堆栈结构
76} a 1.2本案例中将电极宽度作为可变量,并将变量使用连接功能连接起来,从而查看几个电极宽度同时变化时对应的
参数 cn3F3@_"\ <=yqV]JR 2. 建模过程 ask76
e 2.1在堆栈结构中指定需要作为可变量的参数,如下图。
<*Ex6/j 分别选中三个“Mask”
将“Mask”中的宽度选为“Variable”
{hNvCk _MI8P/ 2.2对掩膜宽度设置变量,并“link”起来
i3SrsVSG 上图中“Link”符号一样的参数都会被连接起来,相互连接的参数需要变量个数一致,如“Mask 1”的宽度设置了三个变量,则其余连接的掩膜宽度也需要设置三个变量
w nPg ). 0DZ}8"2 3. 结果查看 MS=zG53y 3.1 结构与透过率。可以在右侧直接选择不同的变量,来查看不同变量下的状态,如下图
Cj +{%^# /A4^l]H;+3 3.2 不同电极宽度下的图表