[求助]需要一种测量器件翘曲变形的方法 [复制链接]

哪位能提供一点思路吗？变形量可能很小，微米级的。 3 DDML,  
要在200度左右的温度看器件的变形情况。用光学方法是否能实现？据说有用干涉测量仪测的，但是不知道人家怎么做的。。。

不太容易，虽说干涉仪可以测翘曲，可你的器件的温度太高，空气扰动太厉害，很难得到稳定条纹。