上次说错了,标准zernike系数可以达到231项,而fringe zernike 只有37项,是标准zernike的一个子集。而且两种zernike多项式的表达式是不同的。具体使用哪个,要看你在求zernike系数时是用哪个式子来求的。而phase(相位)和sag(矢高)这两个对应不同的情况。后者适用于轮廓仪求出的轴向的矢高(在ansys软件给出的节点位移求得的zernike系数拟合也是选用此项),而前者则用于由干涉仪检测所得的zernike系数的拟合。 k&nhF9Y4
还有一个就是圆环zernike系数,这是对于圆环状面型的拟合。如RC系统的主镜。 1SBc:!2
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在zemax中,在extra data editor一栏中有import一栏,可以直接读取后缀为.dat格式的文件中的zernike系数。文件格式如下: -`e=u<Y9@
第一行:对应于拟合最大项数 MDkIaz\U
第二行:归一化半径 .js4)$W^
第三行:zernike系数第一项 -X#J<u T/
以下类推 >/"XX,3
b("JgE`
在codev软件中,zernike系数的输入可以运用int命令(这个我没有试过)。另一中方面是将上面所提文件中的系数全选,复制。 $,k SR}
在codev软件的面型属性中选择zernike面型后,单击选中(而不是双击输入)拟合最大项数这一个单元格,再粘帖即可。 ?`F")y
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这两种方法,都避免了在光学软件中一个个输入系数,劳动量大又容易出错。