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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 9小时前
    摘要                                                                             2GWDEgI1o  
    kGN||h  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 4B-yTyO  
    V/"}ku  
    Wv K(G3  
    {UH9i'y:t  
    超构光栅结构和建模 ujgLJ77  
    9 1P4:6  
                                                                            
    GlR~%q-jiQ  
    PI|`vC|yy&  
    VirtualLab Fusion提供: Mth6-^g5  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; FA>1x*;c  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 kJ=L2g>W<.  
    ])y{BlZ  
    光栅周围介质   ^[-> )  
     oYX{R  
                                                                            
    S|R|]J|  
    @qK<T  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 ARL  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 EychR/s  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 tLX,+P2|  
    Q e1oT)  
    光栅堆栈内部材料 Q!CO0w  
    [{F%LRCo-  
                                                                          
    y7zkAXhJ  
    "D> ]ES%5  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 R]b! $6Lt  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 p/|(,)'+jx  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 %my  
    pZ+j[!  
    单柱几何配置 izt^Wi|  
    d$1 #<-yP  
                                                                        
    qj?2%mK`  
    {-*\w-~G  
    柱子的分布                                                                           0B3 Q Vbp'  
    W7!.#b(hU  
    wz@FrRP=  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 e)pTC97^L  
    • 有几种方法可以做到这一点: Uu2N9.5  
    • 逐个柱子,手动; k@q Wig  
    • 一次性定义在等距网格; l]vohLz 3!  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 5~\Kj#PBx  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 bf98B4<  
    I]sqi#h$2W  
    数值参数设置 5upShtC  
    '\4fU%  
                                                                          
    =jIxI,  
    g.*&BXZi  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 oMTY)`me  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 }|He?[TR  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 5LMj!)3  
    ggCr-  
    例1:一维Blazed 超构光栅 u&3EPu  
    lS{4dvr?w  
    材料和介质的配 j:?N!*r=  
    cHn;}l!I  
                                                                        
    FrR9{YTA .  
    see the full Application Use Case r } 7:#XQ  
    5`UJouHi  
    柱子几何及分布                                                                           Dh8(HiXf:  
       -R@JIe_28f  
    Gmgeve  
                                                                                     ;E2kT GT  
    空间频率数                                                                             (6#M9XL  
                                                                               El1:?4;  
    rIp'vy S\p  
    8 DL hk  
    I3ho(Kdi  
    例2:二维光束分离超构光栅 6BPAux.]  
    F(G<* lA  
    材料和介质的配置                                                                             T:@7 S  
    Uk"Y/Ddm  
    5^o3y.J?P  
    4d6% t2  
    柱子几何及分布                                                                           zK /f$}  
    Z_jn27AC  
    t_Z _!Qy  
     
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