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摘要 2GWDEgI1o kGN||h 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 4B-yTyO V/"}ku
Wv K(G3 {UH9i'y:t 超构光栅结构和建模 ujgLJ77 9 1P4:6
GlR~%q-jiQ PI|`vC|yy& VirtualLab Fusion提供: Mth6-^g5 Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布;
FA>1x*;c Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 kJ=L2g>W<. ])y{BlZ 光栅周围介质 ^[->
) oYX{R
S|R|]J| @qK<T • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 ARL • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 EychR/s • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 tLX,+P2| Q
e1oT) 光栅堆栈内部材料 Q!CO0w [{F%LRCo-
y7zkAXhJ "D> ]ES%5 • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 R]b! $6Lt • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 p/|(,)'+jx • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 %my pZ+j[! 单柱几何配置 izt^Wi| d$1#< |