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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-16
    摘要                                                                             `Pl=%DR  
    wSIt"g,%  
    超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 OR&+`P"-\  
    )2F:l0g  
     Iu0K#.s_  
    /]]\jj#^  
    超构光栅结构和建模 Tjure]wQz  
    6@o_MtI  
                                                                                 OAw/  
    "_'9KBd!  
    VirtualLab Fusion提供： _* 4 <  
     Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; 9 J5Z'd_  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 1Sz5&jz  
    !9iVe7V  
    光栅周围介质   u[2R>=  
    7F?^gMi  
                                                                                 +}4vdi"  
    jy@}$g{  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 7-e)V{A`w  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 6mdJ =b#  
    • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 94nvh:n  
    cx_"{`+e  
    光栅堆栈内部材料 *N'B(j/  
    "cJ5Fd:*  
                                                                               pJ_Z[}d)c  
    L/nz95  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 lt0(Kf g  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 :Fj4YP"  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 8Yq6I>@!  
    &B3\;|\  
    单柱几何配置 Y!&dj95y  
    AW> P\>{RE  
                                                                             |BYD]vK  
    %q>gwq A  
    柱子的分布                                                                           Iob o5B  
    `q_7rrkO  
    ~sSB.g  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 5W<BEcV\  
    • 有几种方法可以做到这一点: B0Z*YsbXL  
    • 逐个柱子，手动; j?z(fs-  
    • 一次性定义在等距网格; !JYDg  
    • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 Vp5qul%  
    • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 $#Ji=JX  
    bk4%lYJ"  
    数值参数设置 ,u]kZ]  
    j1d#\  
                                                                               8a?V h^  
    G2L7_?/m  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 hDp'=}85@  
    • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 _5 y)m5I  
    • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 Ii|<:BW  
    5@ ZD'  
    例1:一维Blazed 超构光栅 7^Onq0ym T  
    TR)' I  
    材料和介质的配置 iv;;GW{2  
     pd X9G  
                                                                             )SDGj;j+  
    see the full Application Use Case )XO2DY1/&  
     $h_@`j  
    柱子几何及分布                                                                           g>f(5  
       VCc4nn#  
    UhEJznfi  
                                                                                     PS=crU@"H  
    空间频率数                                                                             * 5P/&*c|  
                                                                               qVM]$V#e  
    &aHj;Z(  
    hZzsZQ`  
    =ARI*  
    例2:二维光束分离超构光栅 >J8?n,*  
    !4z"a@$  
    材料和介质的配置                                                                             kc "U)>  
    N+}yw4lb  
     m&ZdtB|  
    vB.LbYyF  
    柱子几何及分布                                                                           t<: XY  
    $ \P!P.  
    rqa;MPl  
     
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