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摘要 SS!b` 2)9XTY6$ 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 Wn&9R
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mNKcaM?h )0zg1z 超构光栅结构和建模 h(p cGE t@!A1Vr@
2hY"bpGW H^<?h6T VirtualLab Fusion提供: 4"#F=f0 Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; uLr-!T Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 z[l_<`J$9 j+[oZfH 光栅周围介质 {m/KD 'b_ Q}|0
B/dJj# OmZK~$K_ • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 J3hhh(
• 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 ?N]G;%3/ • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 &'u%|A@ Z_s]2y1 光栅堆栈内部材料 "qoJIwl#q &Z%'xAOGR
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Lo,S8( z`sW5K(A • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 y\R-=Am". • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 pV*d"~T • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 (dP9`Na] zz #IY'dwT 单柱几何配置 oxLO[js _ygdv\^Tet
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<7l8 /4$ c-k 柱子的分布 I5E+=.T*ar c*",AZ>U #M<u^$Jz • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 |nY+Nen7 • 有几种方法可以做到这一点: `HILsU=| • 逐个柱子,手动; {BZ0x2 • 一次性定义在等距网格; U04)XfO;] • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 m5l& • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 S2?)Sb` 4KY@y?H g 数值参数设置 vH@$?b3VP
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NN~PWy1opa i}@5<&J • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 RQ,X0pS • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 JC9OL.Ob • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 $YK~7!! j#${L6 例1:一维Blazed 超构光栅 mV}eMw qot{#tk
d 材料和介质的配置 Tx(=4ALY -l{ wB"
cq9d;~q see the full Application Use Case Oyp)Wm;@ c[EG
cY={ 柱子几何及分布 N|w;wF!3 c3Zwp% }R`}Ey|{ ]#dZLm_ 空间频率数 C3b<Wa]) j2 jUrl c}w[T B|S X?X =h}PL22 例2:二维光束分离超构光栅 s"l ^v5 Ps~)l#gue 材料和介质的配置 RMa#z [{0 hcQv!!Q"k$
\p\rPfY{> 94.M8 柱子几何及分布 7G_OFD >k(AQW5? Hzc^fC
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