[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 `t/@ L:  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 xOX*=Wv  
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建模任务 -hJ>wGI  
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模拟&设置：单平台互操作性 ._F6-pl  
建模技术的单平台互操作性 4N0W& Dy  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 V"D<)VVA  
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 平面波光源 %o
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 微透镜阵列 Ke;X3j ]`  
 彩色滤光片(吸收介质) MSm`4lw  
 通过基底传播 ~*Sbn~U  
 探测 ytcG6WN3  
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连接建模技术：微透镜 X?k V1  
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连接建模技术：彩色滤光片 ZE3ysLkm  
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连接建模技术：可编程介质 wDC/w[4:  
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连接建模技术：自由空间传播 >cr_^(UW&  
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连接建模技术：堆栈 ~)_
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在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 YO!7D5rV#  
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 微透镜阵列 gp&& c,  
 彩色滤光片(吸收介质) UC LjR<}  
 通过基底传播 +K?N:w  
 探测 =rO>b{,hs  
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元件内场分析器：FMM V]PhXVJ  
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模拟结果 j
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) xS\QKnG.  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) (>5VS  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ![D,8]GD  
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3D仿真与结果比较 xW;[}t-QS  
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3D仿真与结果比较 5!Mp#lO  
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