[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 *E+2E^B  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 N{46DS  
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建模任务 d%
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模拟&设置：单平台互操作性 M(HU^?B{'  
建模技术的单平台互操作性 *>V6KW  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ~` @dI  
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 平面波光源 U8]L3&~  
 微透镜阵列 w(8q qU+\  
 彩色滤光片(吸收介质) DQP#h5O  
 通过基底传播 7s;<5xc  
 探测 ~QFD ^SoK  
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连接建模技术：微透镜 Wg[?i C*~  
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连接建模技术：彩色滤光片 7{RI`Er`  
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连接建模技术：可编程介质 `~UCWK  
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连接建模技术：自由空间传播 kQC>8"  
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连接建模技术：堆栈 VD/Wl2DK  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 B/q/sC  
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 微透镜阵列 _55T  
 彩色滤光片(吸收介质) vY *p][$  
 通过基底传播 B7nMyoj  
 探测 m}:";>?#  
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元件内场分析器：FMM [@kzC/Jq3  
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模拟结果 ABNsi$]r0  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Xx:0Nt]  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) }zRYT_
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) t"2WJ-1k}  
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3D仿真与结果比较 ZgtW  
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3D仿真与结果比较 3Aaj+=]W  
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