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摘要 vP=H 2P ;Sg,$`] 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 VLJ]OW8cO
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:))&"GY a*iKpr- : 设计任务 Y*{5'q+2 | g1Cs 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 {Ppb ; 2
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%LD(S* >7 9c[bhGD? 光栅级次分析模块设置 H328I}7 \DWKG~r-% MZxU)QW1 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 J^S!GG'gb kD7'BP/#
<0? r#
} '-Oh$hqCx| W39J)~D^@ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Z^=(9: 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 a .?AniB0 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 [:qJ1^U U 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 LC$M_Cpw V?mk*CU
0AF,} &$ 衍射分束器表面 g3^:)$m uH,/S4?X
B-$zioZ E9Dy)f]#W 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 h9!4\{V;h ZS=;)
]6s/y ,4 q^(
^f-)gZ& eVB43]g 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) hh5h \ZI% <a&xhG}
D:?"Rf{) 9a_UxF+6/ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 BwGOn)KL 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 H q?F @X 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 B&y?Dc AK%&Kq&PaY
~4Mz:h^ SGba6b31 光栅级次和可编程光栅分析仪 cIC/3g}] -AU'1iRcK7
0>D*d'xLd 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 PRx- 0S %s9*?6 ShvC4Xb 0 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 [dUAb !!8;ZcL}Z p@O,-&/D 设计与评估结果 e'c3.sQ|? 相位功能设计 0NU3%
4? 结构设计 UH;bg}=8 TEA评价 L{l}G,j< FMM评估 Ktvs*.? 高度标度(公差) ,\#j6R,{I UV av^<_ 通用设置 q[}re2 |9Yx`_DF \
bWy5/+ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 rj4Mq:pJ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 l0qHoM,1Y[ f)gV2f0t ,,6lQ]wG 纯相位传输设计 VS>hi~j {f*{dSm9b
fA0wQz]u H 8 66,] 结构设计 3RxR'M1 [u J<]
<:N$ $n zf5%|7o _ouZd. 更深的分析 b"`fS`@/MW •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 5p:2gsk •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 YcR: _ac •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 rM6S%rS ;05lwP*r]
Z![#Uz.z yp@cn(:~ 使用TEA进行性能评估 .i*ja* ";jAH GbO
V~5vR`} B6\/xKmv?8 使用FMM进行性能评估 wdV)M? fIatp
%u<r_^w5 {!{T,_ J 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 QfM^J5j.M? W?.xtQEv
mUR[;;l ~7Nqwwx 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 }g%&}`%' ;eO Ye3;c
8JW0;H< <Nc9F[' 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 i12G\Ye -GQ.B{%G
KVViTpZ 4"{g{8 VirtualLab Fusion技术 (4`Tf*5hHa ?V_v=X%w
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