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摘要 l@]Fzl k(v &+v 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 'Mhnu2d ?}S!8;d
T'9M "{3MXAFe 设计任务 /<dl"PWkJv :9(w~bB9$ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 prB:E[1 ca,c+5
Hl*#iUq ,dFY] 光栅级次分析模块设置 v[R_6 8ZJ6~~h #-{ljjMQI 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 SRU#Y8Xv| uC6e2py<[
AgB$
w4 =$ubSfx ju4wU;Nu 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 +vPCr&40 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 }.=@^-JBA5 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 '*t<g@2$ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ]iZ-MG)J @&9<)1F
xsrdHP1 衍射分束器表面 rP/W,!
7:K BZjL\{IW
A5O; C `8TL*.9 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 yA`,ns&n }VVtv1
?}jjBJ& =,&{ &m)
db3.X~Cn#s +!G)N~o 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) w"A>mEex< $]?M[sL\N7
dQ#oY|a [.;8GMW 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 -&QpQ7q1 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ;:bnLSPo 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 1z@ ncqe 18y'#<X!
lO}I>yo}\ KnK\X>: 光栅级次和可编程光栅分析仪 b'RBel;W 3v)``
n@
lnV!Xuf 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 "2T* w~V&y @^HZTuP2; ,rhNXx 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 2}5@:cwR+ )=0@4 qf%p#+:B3 设计与评估结果 5L\Im^ 相位功能设计 U{HBmSR 结构设计 ;|oem\dKv TEA评价 yQC8 Gt8 FMM评估 YH-W{]. 高度标度(公差) *C^TCyBK; hr
g'Z5n 通用设置 X
u>]$+u# &VVvZ@X; gyCXv0*z 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 |(9l_e| 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 :/;;|lGw z~;@Mo"*f ~e+pa|lO 纯相位传输设计 w X.]O!^X~ @EH@_EwYV
{%X[Snv Oq95zo 结构设计 a!;K+wL
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F4g3l d*:J0J( VQpwHzh 更深的分析 /? Bu^KX •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 dewN\ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 8ya|eJ]/L •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 %v]-:5g'| :) T#.(mR
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*$ <ceJ!"L 使用TEA进行性能评估 7nbaR~ZV (KT+7j0^
P)UpUMt;k 'Y>@t6E4 使用FMM进行性能评估 ]?hlpL @Sz7*p
t},71Ry <z{,@Z} 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 0Y*Ag,S [<#`@Kr
OF`:); qWI8 >my11 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 . Kk'N LLwC*) #
v79\(BX Q% J! 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 }yM!o`90 wmit>69S
eo4v[V& q_0,KOGW VirtualLab Fusion技术 P".rm0@R O4,?C)
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