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摘要 !BjJ5m u#+Is4Vh 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 S[e> 8 &a'mh
0i>>CvAl} Q"s]<MtdS 设计任务 @M*oq2U; $ vBFs]h 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 A~@x8 $}JWJ\-]
|Sv}/P- Kut@z>SK 光栅级次分析模块设置 w\1K.j=>|N 6(/*E=bOKV 5
)z'= 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ^4C
djMF-E >{{0odBF
!PfdY&.) wW,
n~W C.RXQ`-P} 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 F):1@.S 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 'd]t@[# 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 *&~(>gNF, 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 wln"g,ct v(]dIH
{ceY:49 衍射分束器表面 )C$pjjo/` @2~;)*
-VvN1G6.x? x~E\zw 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 '3=@UBs m#^;V
AEd9H
+I +ZR>ul-c
YJ}9VY<}1K A3.*d:A 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) <q`|,mc c#Qlr{ES
K?Jo"oy7
t;}`~B 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 lv#L+}T 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 0lU
pil 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Q>I7.c-M| Jo\karpb
F{E`MK~f_ RBpv40n0 光栅级次和可编程光栅分析仪 3F$N@K~s ZyV^d3F@$
a>&dAo} 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 MaZVGrcC %zN~%mJG Q"K`~QF" 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 s8;*Wt z8j7K'vV1 y>c Yw! 设计与评估结果 jEm=A8q 相位功能设计 '26
,.1 结构设计 bZ}T;!U?I TEA评价 zh5ovA% FMM评估 1-.(pA' 高度标度(公差) jP.dQj^j& t')%;N 通用设置 ,"5xKF+cS ^*F'[!. p 6M[OEI5 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 QtLd(&
!v 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 %>1C($^ J
IE0O` $U'*}S 纯相位传输设计 'M
fVZho{ HE-ErEtGB
'OU`$K7n *JO%.QNg 结构设计 ~BgNMO;| SqVh\Nn
:ay`Id_tm w$aejz`[ s6!! ty;Y 更深的分析 C|RC9b •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 u6
4{w, •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 EJ(z]M`f •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 #<vzQ\~Y IO"q4(&;P4
EQX?Zs?C ~JB4s%& 使用TEA进行性能评估 %-an\.a. 6%&DJBU!
< Q6 ?>mpUH 使用FMM进行性能评估 4{%-r[C9k W{t-UK
ue -a/a {*X|)nr 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 GK{~n D 1(9/;9
oTveY ^39?@xc@ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 1%7zCM0s c
LfPSA
]:Pkh./ !*}E 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 c@$W]o"A *s?C\)x
FLQ^J3A,I W,.Exh VirtualLab Fusion技术 x) R4_3 *Tq7[v{0*|
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