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摘要 !<wM?Q: ZiBTe,; 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 A9_)} ;:nO5VFOg
N 798(" SBnwlM"AN 设计任务 /( /)nYAjk ]j.??'+rg 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 kI>Iq
Q-h nVqFCBB
aZ% -[cl]H)V 光栅级次分析模块设置 E\5cb[Y 9/rX% tL?nO#Qx 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 r-#23iT.~ mK3U*)A
VU1;ZJE O]OZt,k( x)M=_u2 _ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 E>j*m}b 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 6e1/h@p\7 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 ~/hyf] *j 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 #GBe=tm\K aB9Pdut
%,u_`P 衍射分束器表面 YYrXLt: ,LjB%f[
*I0{1cST p?OwcMT]M 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 $`:/OA<. {'W\~GnZ
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5r VXforI
}(AgXvRq VmLV:"P}^ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ;m{*iKL6{ =;.#Bds
9/OB!<*V| U[\aj;g) 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 [gZd$9a 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ?MevPy`H 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 FL5u68 `A5^D
z= pb<Y@X ar.w'z 光栅级次和可编程光栅分析仪 \ /C-e " x&hBJ
FHVZ/ e 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 WDr'w' m|<j9.iJ "|{O%X 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 Y|FJ1x$r unqX<6hu >&h#t7< 设计与评估结果 MF/359r)Et 相位功能设计 mA:NAV$!s 结构设计 [m7jZOEu TEA评价 $\>GQ~k FMM评估 D T^3K5 高度标度(公差) (q+U5Ls6 $a(EF
6 通用设置 SGn:f>N ;L.@4b[lP T69'ta32V 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 X$w ,zb\ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 =/MAKi}g 6y&d\_?Y 0}]k>ndT 纯相位传输设计 gCAWRNp ]Lq9Ompf(t
Eh;SH^&6 ~JY<DW7 结构设计 ;wCp j9hir /X)fWO S6
H aI " FI]l<G& %7q,[g8 更深的分析 )`]w\s
# •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 8Z%C7
"4O •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 CN0&uyu#4 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
C,:3z "YD<pRVB
4`uI)N(}* ?1 $.^ 使用TEA进行性能评估 :|xV} Kl~jcq&z
5%C-eB n\aG@X%oq 使用FMM进行性能评估 Px:PoOw\ \:C@L&3[
ZiodJ"r :WejY`}H% 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 b8v?@s~ rWI6L3,i+
bJ~]nj 3 2w93 ~j 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 'VCF{0{H~ hh`7b ,+ 4
'~A~gK0 ,dK<2XP 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 \M1- D]resk
G^J|_!.a [#V?]P\uV VirtualLab Fusion技术 1t/#ZT!X/ G (Fi
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