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摘要 4;6"I2;zfG sWlxt q g 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 9
Zo s; ArtY;.cg%
rN&fFI p6- //0qb 设计任务 ~ EBaVl ({ +ywz@0nx 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 <.ZIhDiEl SD^::bH
8WytvwB} jwk+&S 光栅级次分析模块设置 .4a|^ vT k{f1q>gd >&.N_,* 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 "q?(rx; z -?\b^
l -XfUjJ :rr<#F 2?ue.1C 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 K>'4^W5d, 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
ck;:84 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 vE[d& b[ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 %`$bQU 9BakxmAc
$(62j0mS> 衍射分束器表面 C/!P&`<6 cUug}/!I
@>z.chM; }!K
# 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ;ab[YMkH D!* SA
w_U#z(W3l (1=@.srAzK
_oZ3n2v}@ LiEEQ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) S>5w=RK A6KP(@
s {*rBX8N 6<z#*`U1 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 <1vogUDW 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 BHpay 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 XyB_8(/E k6 OO\=
)E",)}Nh vo#$xwm1 光栅级次和可编程光栅分析仪 bv7)[,i iu=@h>C
^d>m`*px 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Zq{gp1WC Cno[:iom <DqFfrpc 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 6oWFj eZ0 A/ zAB3 hAgrs[OFj 设计与评估结果 * k\;G? 相位功能设计 {dh@|BzsbH 结构设计 DFwiBB6 TEA评价 ybf,pDY#f FMM评估 f/
3'lPK^ 高度标度(公差) U7LCd+Z5X pl}W|kW} 通用设置 e9\_H=t+ J^WX^".E v%#@.D!) 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 2UR1T~r 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 mJ8EiRSE 9AWP`~l` G_WFg$7G% 纯相位传输设计 4tkb7D
q U4"&T,'lTL
]'<}kJtN. t%y
i3 结构设计 RSeav Gp_flGdGQ
x[&)\[t 9G1ZW=83 6R2F,b(_ 更深的分析 >of9m •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 }L`Z<h*H •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 uC]c`Ue •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ^S|}<6~6b 'K23oQwDB
,=pn}\R 6!6R3Za$ 使用TEA进行性能评估 29z@ ! iDCQqj`
Wa!C2nB .5~3D97X& 使用FMM进行性能评估 v/7^v}[< C
szZr>Z
xgsEe3| &?j\=% 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 &[|Z2} uowdzJ7
SJ,];mC0 ?wIw$p>wT 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 aMK\&yZD 9+Wf*:*EW
!6 kn>447Y K,bX<~e5 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 L 'e|D=y b$/7rVH!
Q}^qu6 dA#'HMh@ VirtualLab Fusion技术 &jrc] ziQ&M\
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