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摘要 yTkYPx \QHe0?6 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 Qj[4gN?}= %jKR\f G
mL18FR N .eK1xwhJ 设计任务 Xdq2.:\ v?fB:[dG
使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 m*CIbkDsZ #}:VZ2Z
.y+>-[j?B 1K09iB 光栅级次分析模块设置 D#W{:_f >`'#4!}G5j iDp]lu 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 pb_mW;JVu ~k|~Q\
aE1h0`OT &"Ua"H) Drk9F"J 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ZJ=-cE2n 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 SO]x^+[ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 b;9v.MZ4>g 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 1g2%f9G ;T-i+_
.<rL2`C[c 衍射分束器表面 tojJQ6;J i,4
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fuF]yL% +qD4`aI 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 gigDrf} _o' jy^
#wx0xQ~,J JEU?@J71O
8kH'ai s:jr/ j! 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) T7Lk4cU >fdS$,`A
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7a;g7. y 9/27yWB 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 O 4l[4,` 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 _GI [SzD 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 IDdhBdQ 1p+2*c
czdNqk.kh XH1so1h 光栅级次和可编程光栅分析仪 PKwHq<vAsB frc>0\
JQQD~J1)E 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 :pDwgd ~Jp\'P7* .F'Fk=N 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 v;?t=}NwF bveNd0hN S%mN6b~{ 设计与评估结果 9);a0}*5 相位功能设计 #u|;YC 结构设计 (+CB)nV0IA TEA评价 ra_`NsKF} FMM评估 XZZ Ml 高度标度(公差) Yt0
l'B%[u CuT[V?^iD 通用设置 Uu
}ai."iB 8'Z9Z*^h#x c}g^wLa 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 SobK<6 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 d[-w&[iy Eq~&d.j 4q~+K'Z 纯相位传输设计 fCO!M1t \W??`?Idh
niqiDT/ WH/r$.& 结构设计 @"'1"$ -]W AB9
k2k/v[60 i,<TaW*I 2[qO;js 更深的分析 nCGLuZn •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 BU<A+Pe> •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 uDQ
d48> •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 <CzH'!FJN 2@uo2]o)
?J%$;"q z)]_(zZ^ 使用TEA进行性能评估 MFiX8zwhx+ Vyu0OiGcR
$@}6P,mg `[VoW2CLH+ 使用FMM进行性能评估 g[q1P:I@W \iSaxwU_
<,HdX,5
^qS[2Dy 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 psgXJe$ e@NS=U` <
T AwA)Zg bn~=d@' 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 E`u=$~K d]0fgwwGC
2Z\6xb|u |9~{&<^X 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 zw7=:<z= ;]KGRT
~bdADVH a^,6[ VirtualLab Fusion技术 u6awcn =HQH;c"
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