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摘要 bWwc2##7jo j;1X- 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 O~-#>a .5|wy<
sBq @W4 FbJlyWND 设计任务 W:b8m Xx 6\g]Y 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 g-meJhX% e!ar:>T
r3/H_Z O|#^ &d 光栅级次分析模块设置 <y \>[7Y D+N{'d?+ me$7\B;wy 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 %z tCcgu* \NS\>Q+d
XJC|6"n -JaC~v(0 Qg C 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ; @-7'%(C 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 8"LvkN/v^ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Sh*LD
QL<? 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 L/"XIMI*Xg y0M^oLx
d5\w'@Di 衍射分束器表面 !CTchk<{( QK%{\qu
; GRSe ((N<2G) 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 gsqlWfa 8U*}D~%!
|(*ReQ?= F# y5T3(P
\d2Ku10v[ ),mKEpf 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 8{ 8J(~ )Pakb!0H@t
dG'aJQw s}uOht}
o 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 w
[D9Q= 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 "e0$/WQ6J 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 * h!gjbi >93vMk~hU
t)=u}t$ -[|R\'i 光栅级次和可编程光栅分析仪 '0[D-jEr HbX>::J8
c]v$C&FX 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 y9{KBM%h G ?jKm_`L D/'kYoAEO 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 X&8&NkH %(MaH
ztKmB 设计与评估结果 WId"2W3M 相位功能设计 z8G1[ElY 结构设计 zXx H aM TEA评价 X9K@mX FMM评估 Fo=Icvo 高度标度(公差) f',n' P%A;EF~v 通用设置 7IB<0 (/Lo44wT ~,WG284 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 yl/-! 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 {`2! 3= " brx
7hI Hm!ffqO_ 纯相位传输设计 l=ehoyER gHpA@jdC*
"SJp9s3 %nk]zf.. 结构设计 ;gLHSHEA M{cF14cQ
8[\F*H @E;'Ffo @iwVU]j 更深的分析 <E/4/
ANN •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 K4~z@.
G6* •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 F7P?*!dx •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 Hof@,w vik A
: 8dQ8p; QVLv}w`O 使用TEA进行性能评估 &YC Z
L GOrDDp
sQUJ]h {9:[nqX 使用FMM进行性能评估 $c"byQ[3S A#;6~f
R+{QZ'K.qg hEUS&`K 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 )r2$!(NQ /e5' YVP
Sggha~E2s }p,#rOX:A 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 _3@[S
F g~EN3~
^{Wx\+*! )aSj!X'`; 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 >f+qImH dpG l
a7$-gW"Z(, 4SRjF$Bsz VirtualLab Fusion技术 {zzc/!| pRR1k?
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