切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 392阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6613
    光币
    27214
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 q`@8  
     nb(Od,L  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 xUDXg*  
     <#e!kWGR?  
    N)X51;+  
    A )xfO-  
    建模任务 ksQw|>K  
    XI5q>cd\Sz  
    yu=(m~KX   
    Xl/2-'4  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) t ZA%^Y  
    -nk0Q_7N  
    系统建模块  -to3I  
    zG~nRt{4  
    kDWvjT  
    <nF1f(ky  
    特定位置的Talbot图案 n#)kvr  
    %>,Kd6bdg  
     '];=1loD  
    t<znz6  
    特定位置的Talbot图案 'dcO-A:>  
    Med0O~T%  
    ]ru UX  
    不同位置的Talbot图案 3!u:*ibt  
    >2K:O\&  
     \yY2 mr  
    .q9i10C  
    不同位置的Talbot图案 8#15*'Y  
    jR{Rd}QtQ  
     q%MLj./?[  
    W.  p'T}2  
    沿 Z 轴的强度 `6y\.6j  
    i,y7R?-K  
     KJ8Qi+cZ  
    Eo_; N c  
    VirtualLab Fusion技术 mjbV^^>  
    _~uYNvmg  
     &(rR)cG  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表