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摘要 H1hADn _PGS"O?j 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 2\9OT> b^WF
R zc5>)v LH= [ Ru( H 建模任务 [*^rH: k:*vD" ]w~ECP(ap eOs 4c` structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) mEq>{l: "eR-(c1 系统建模块 jl,>0MA _TjRvILC k1Sr7| M6"a
w6 特定位置的Talbot图案 !'8jy_<9 I$JyAj
TS@U0Ror -k,?cEjCs 特定位置的Talbot图案 F tay8m@f !X+}W[Ic^ &?3P5dy_ 不同位置的Talbot图案 H<ZXe!q(nx 0"DS>:Ntk
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