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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 es+_]:7B9  
     jDXGm[U  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 j%jd@z ]@  
     h./vTNMc  
    OG7v'vmY  
    IA#*T`  
    建模任务 h^kNM8  
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    |!5T+H{Sj  
    N3p 7 0  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) I7z/GA\x  
    cN}A rv  
    系统建模块 XqS*;Zj0  
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    特定位置的Talbot图案 }9udo,RWu  
    kJi&9  
     vq:OH H  
    &Z;8J @  
    特定位置的Talbot图案 A2:){`Mw  
    ]q[  
    GL =XiBt  
    不同位置的Talbot图案 ^}/ E~Sg7\  
    ZHD0u)ri=J  
     D4O5@KfL  
    eO PCYyN  
    不同位置的Talbot图案 |+xtFe  
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     ->2wrOH|H  
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    沿 Z 轴的强度 4 Re@QOZ  
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    T ~~[a|bLa  
    VirtualLab Fusion技术 1;:t~Y  
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