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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 &>^Ympr  
     nr9#3 Lb  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 pU)3*9?cIl  
     o dQ&0d  
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    W*WH .1&  
    建模任务 @'| 6lG  
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    JbD)}(G;  
    =R8.QBVdN  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) :|6D@  
    ]KV8u1H>  
    系统建模块 \iTPJcb5  
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    特定位置的Talbot图案 UC2 OY Zb  
    sT T455h)  
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    T!eh?^E  
    特定位置的Talbot图案 lNp:2P  
    P`Wf'C^h  
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    不同位置的Talbot图案 -<^Q2]PE;  
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    不同位置的Talbot图案 sf&K<C](  
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    沿 Z 轴的强度 Ku\#Wj|YrP  
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    +o70: UF%  
    VirtualLab Fusion技术 jc.Uh9Kc  
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