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摘要 teB{GR -+PPz?0 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 sQ)4kF&, =OHDp7GXO> 4Dd9cG,lN =0f8W=d:Vr 建模任务 unX^ MPpw }`M6+.z3F =[jBOx& Bhs`Y/Ls- structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) '~2v/[<`} 7>~iS@7GV 系统建模块 8n:D#`K 5-3gsy/Mo C {,d4KG )Z _i[1V 特定位置的Talbot图案 l2v}PALs C`#N
Q*O
"Jwz.,Y\ /vV 0$vg 特定位置的Talbot图案 B~ez>/H^ .F6#s <5#e.w 不同位置的Talbot图案 $_ i41f[ W&Hf}qs
zSH#j RDV [<`+9R 不同位置的Talbot图案 37[C^R!1c 0IdD
WE"'3u^k #RD%GLY 沿 Z 轴的强度 W6iIL:sp B>mQ\Q
3TtW2h>M o99 a=x6 VirtualLab Fusion技术 w}i.$Qt 19vD(KC<
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