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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 teB {GR  
     -+PPz?0  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 sQ)4kF&,  
     =OHDp7GXO>  
    4Dd9cG,lN  
    =0f8W=d:Vr  
    建模任务 unX^MPpw  
    }`M6+.z3F  
    =[jBOx&  
    Bhs`Y/Ls-  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) '~2v/[<`}  
    7>~iS@7GV  
    系统建模块 8n:D#`K  
    5-3gsy/Mo  
    C {,d4KG  
    )Z_i[1V  
    特定位置的Talbot图案 l2v}PALs  
    C`#N Q*O  
     "Jwz.,Y\  
    /vV 0$vg  
    特定位置的Talbot图案 B~ez>/H^  
    .F6#s  
    <5#e.w  
    不同位置的Talbot图案 $_ i41f[  
    W&Hf}q s  
     zSH#j RDV  
    [< `+9R  
    不同位置的Talbot图案 37[C^R!1c  
    0IdD   
     WE"'3u^k  
    #RD%GLY  
    沿 Z 轴的强度 W6iIL:sp  
    B>mQ\Q  
     3TtW2h>M  
    o99 a=x6  
    VirtualLab Fusion技术 w}i.$Qt  
    19vD(KC<  
     P}I*SV0  
     
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