切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 237阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 H1hADn  
    _PGS"O?j  
    在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 2\9OT>  
    b^WF R   
    zc5>)v LH=  
    [ Ru ( H  
    建模任务 [*^ rH:  
    k:*vD"  
    ]w~ECP(ap  
    eOs4c`  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) mEq>{l:  
    "eR-(c1  
    系统建模块 jl,>0 MA  
    _TjRvILC  
    k1Sr7|  
    M6"a w6  
    特定位置的Talbot图案 !'8jy_<9  
    I$JyAj  
    TS@U0Ror  
    -k,?cEjCs  
    特定位置的Talbot图案 F tay8m@f  
    !X+}W[Ic^  
    &?3P5dy_  
    不同位置的Talbot图案 H<ZXe!q(nx  
    0"DS>:Ntk  
    KKM!($A  
    gCv[AIE_m  
    不同位置的Talbot图案 ?HP{>l0r  
    X oh@(%  
    ]vZ}4Xno  
    ![/ QW  
    沿 Z 轴的强度 {/K!cPp9  
    SI:Iv:>  
    T,5(JP(h3  
    e/F+Tf  
    VirtualLab Fusion技术 =[IKwmCX  
    `{'h+v`  
    8o[+>W  
     
    分享到