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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 L-:@Om!  
     @MB)B5  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 Dw7Xy}I/  
     |,5|ZpgL  
    zRD-[Z/-  
    p/RT*?<   
    建模任务 '8\9@wzv  
    ?>7-a~*A@  
    F[$cE  
    e3W~6P  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) c ?EvrtND  
    9]w?mHslE  
    系统建模块 IQ_s]b;z  
    Hnk&2bY  
    hm d3W`8D  
    |idw?qCn  
    特定位置的Talbot图案 d)bsyZ;U  
    |%F,n2  
     A]5];c  
    R'zi#FeP  
    特定位置的Talbot图案 ;5.&TQT  
    ,!@MLn  
    #"rK1Z  
    不同位置的Talbot图案 ZK'46lh  
    72"H#dy%U  
     Q2- lHn^L:  
    L;$>SLl,  
    不同位置的Talbot图案 Gj-nT N  
    TUC)S&bC  
     T:Nk9t$W7@  
    vg[3\!8z[  
    沿 Z 轴的强度 RU4X#gP4Vh  
    o.A:29KoU  
     -u'"l(n)~  
    `MuX/ [q  
    VirtualLab Fusion技术 .4[3r[  
    K_YOp1  
     -yc YQ~R  
     
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