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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-02-26
    摘要 /GsrGX8  
     2uu[52H8d%  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ` *9EKj  
     8[\ 79|  
    aR(E7mXQ  
    &X w`T9<  
    建模任务 w yD%x(  
    \8_V(lU   
    _'*DT=H'U  
    P06 . 1  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) q0|Z oP  
    |[wyc!nY).  
    系统建模块 A#:8X1w  
     Rkv  
    i wz` x  
    8*k oxS  
    特定位置的Talbot图案 y''0PSfb#  
    Gm@iV,F%R  
     , ,{6m d  
    Z}f^qc+  
    特定位置的Talbot图案 F^TAd  
    ZKsQ2"8{M  
    CveWl$T12  
    不同位置的Talbot图案 2E$i_jc  
    IuKnM`X  
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    ftW{C1,U7  
    不同位置的Talbot图案 -y<x!61  
    '^lUL) R  
     H:E5xz3VQ  
    Uf[T_  
    沿 Z 轴的强度 b.6ZfB,+G  
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    VirtualLab Fusion技术 .r6YrB@['  
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