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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 >[a&,gS  
     v JPX`T|  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 lz88//@gZ  
     Ze-MB0w  
    K6M_b?XekA  
    `d6,]'  
    建模任务 uPQrDr5  
    d gRTV<vM  
    =%ZR0cWPoI  
    CWW|?  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) hR(p{$-T  
    .BjnV%l7Id  
    系统建模块 g&`[r6B  
    IBSoAL  
    6*tbil_G+  
    &L`yX/N2  
    特定位置的Talbot图案 ST7Xgma-  
    I^itlQ  
     #) bqn|0l  
    }j6<S-s~  
    特定位置的Talbot图案 /o]j  
    ; 6*Ag#Z  
    F|&=\Q  
    不同位置的Talbot图案 G;Thz  
    AB")aX2% E  
     [>wvVv  
    F|{F'UXj|  
    不同位置的Talbot图案 kV:C=MLI  
    Dh~Z 8!*  
     9_I#{ ?  
    DY6ra% T  
    沿 Z 轴的强度 9d1 G u"  
    o dTg.m  
     vB;$AFh{  
    ug.'OR  
    VirtualLab Fusion技术 4,P!D3SH  
    \B1<fF2  
     IWD21lS  
     
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