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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 tPQjjoh  
     k=^~\$e  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 kWSei3  
     =%i~HDiy  
    y;GwMi $KI  
    \dx$G?R  
    建模任务 /QgU!:e  
    w%3*T#tp  
    C6 PlO  
    7NFRCCXHQ  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 'joc8o sS  
    #M)S Ae2  
    系统建模块 T4c]VWtD  
    ;ndwVZ~,  
    q{c/TRp7  
    j#f7-nHyz8  
    特定位置的Talbot图案 u)hr  
    mw!EDJ;'  
     ##\ <mFE  
    %v"qFYVX"  
    特定位置的Talbot图案 `mt x+C  
    H\PY\O&cP  
    4WAs_~  
    不同位置的Talbot图案 =/Lwprj  
    n N_Ylw  
     W,D$=Bg  
    n>o0PtGxC  
    不同位置的Talbot图案 l&2pUv=  
    myvn@OsEw  
     ir?Y>  
    S9;:)  
    沿 Z 轴的强度 `pJWZ:3  
    `h(*D   
     TIIwq H+h.  
    CKuf'h#  
    VirtualLab Fusion技术 RAs5<US:  
    D=!T,p=  
     .S6u{B  
     
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