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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 dPHw3^J0j  
     H- 185]7  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 w}d}hI  
     N?$7 Z v[G  
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    58J_ w X  
    建模任务 (Q'U@{s  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 57U%`  
    Ss 2$n  
    系统建模块 bjlkX[{}I  
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    特定位置的Talbot图案 XoJgs$3B  
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    特定位置的Talbot图案 & N;pH  
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    不同位置的Talbot图案 Q3,=~}ZNK  
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    不同位置的Talbot图案 :c=v}  
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    g ?V&mu  
    沿 Z 轴的强度 odpUM@OAW  
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    VirtualLab Fusion技术 k}zd' /b  
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