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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 `YAqR?Xj_<  
     ,.uu/qV}w  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 HiCNs;t  
     GiJ|5"  
    ~b/lr  
    'm}K$h(U  
    建模任务 frbKi _1  
    > xkl7D  
    zM"OateA  
    JDfkm+}uY  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) BusD}9QqB  
    VlRN  
    系统建模块 SdBv?`u|g  
    cOcF VPQ  
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    特定位置的Talbot图案 8<t6_* f  
    xK9"t;!C&  
     F2]v]]F!  
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    特定位置的Talbot图案 t%ye :  
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    不同位置的Talbot图案 j*n Z   
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    wV-1B\m  
    不同位置的Talbot图案 6js94ko[  
    ]3wg-p+  
     mv|eEz)r  
    /~NsHStn  
    沿 Z 轴的强度 n3t1'_/TU}  
    _R<eWp  
     0b+OB pqN  
    7YsBwo  
    VirtualLab Fusion技术 [>QV^2'Z  
    @y3w_;P  
     ~Z!!wDHS  
     
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