摘要 -o"b$[sf=Z B1~`*~@
Yq|_6zbYf ^8,prxaok 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
L7(FDv,? I|&DXF 仿真任务 >Q@y8*E\F [DeDU:
A+dx7anUz m`8{arz2 连接建模技术:倾斜光栅 EU:N9oT
z{1A x
e4Ibj/ 52o^] 可用的微结构建模技术:
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D aL&egM*
9<3}zwJ __tA(uA 光栅阶数分析仪 }qp)VF ._]Pz6
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参数变化分析仪 Lks+FW
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9"S iHp\) %Ul,9qG+ 参数优化 # =y)Wuo= nxuH22:
.kuNn-$ 7@gH{p1 优化结果-平均效率 mpk+]n@ N3#^Ifn[
)mN/e+/Lu aizws[C 优化结果-对比度 _>`9]6\&
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