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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-19
    摘要                                                                             -o"b$[sf=Z  
    B1~`*~@  
    Yq|_6zbYf  
    ^8 ,prxaok  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             L7(FD v,?  
    I|&DXF  
    仿真任务                                                                             >Q@y8*E\F  
       [DeDU:  
    A+dx7anUz  
    m`8{arz2  
    连接建模技术:倾斜光栅 EU:N9oT  
    z{1A x  
                                                                        
    e4Ibj/  
    52o^]  
    可用的微结构建模技术: YfT D  
    aL&egM*  
    9<3}zwJ  
                                                                                     __tA(uA  
    光栅阶数分析仪 }qp)VF  
    ._]Pz 6  
    n]4Elrxx  
    SODHn9)  
    参数变化分析仪                                                                            
    Lks+FW  
       wI 7gHp  
                                                                                 9"S iHp\)  
    %Ul,9qG+  
    参数优化                                                                             #=y)Wuo=  
    nxuH22:  
                       .kuNn-$  
    7@gH{p1  
    优化结果-平均效率 mpk+]n@  
    N3#^Ifn[  
                                                       )mN/e+/Lu  
    aiz ws[C  
    优化结果-对比度 _>`9]6\&  
    Yh!k uS#<  
     
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