摘要 u
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n[DRX5OxR' afX|R 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
F,S)P`? b(N\R_IQ~ 仿真任务 QD%xmP hA 5p'a+K
*D%w r'!> bEcN_7 连接建模技术:倾斜光栅 %7mGMa/
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ZbT$f^o}M] xDw~n (* 可用的微结构建模技术:
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QErdjjgE '/qy_7O 光栅阶数分析仪 c6i7f:'-0 15J"iN2"W
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参数变化分析仪
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A{\?]]/ 3 orZBT 参数优化 A"pQOtrm\k Z4Q]By:/L
1A'eH:$ $)NS]wJ]3 优化结果-平均效率 a6vej d`rZgY
P`@Rt =| T ^)J 优化结果-对比度 LTS{[(%
Q(-&}cY