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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-19
    摘要                                                                             u $-&Im<  
    A;rk4)lij  
    n[DRX5OxR'  
    afX|R  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             F,S)P`?  
    b(N\R_IQ~  
    仿真任务                                                                             QD%xmP  
       hA 5p'a+K  
    *D%w r'!>  
    b EcN_7  
    连接建模技术:倾斜光栅 %7mGMa/  
    -51LF=(!L  
                                                                        
    ZbT$f^o}M]  
    xDw~n(*  
    可用的微结构建模技术: ktfm  
    'v<v6vs  
    QErdjjg E  
                                                                                     '/qy_7O  
    光栅阶数分析仪 c6i7f:'-0  
    15J"iN2"W  
    E'4Psx9: =  
    OcV,pJ  
    参数变化分析仪                                                                            
    ka!w\v  
        ( y!o  
                                                                                 A{\?]]/  
    3 orZBT  
    参数优化                                                                             A"pQOtrm\k  
    Z4Q]By:/L  
                       1A'eH:$  
    $)NS]wJ]3  
    优化结果-平均效率 a6 vej  
    d`rZgY  
                                                       P `@Rt  
    =| T^)J  
    优化结果-对比度 LTS{[(%  
    Q(-&}cY  
     
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