摘要 ,rwuy[Q8 W {.78Zi9K
|\uYv|sT /WnE:3G 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
\H5Jk$* 1(GHCxA8G 仿真任务 F X1ZG! } i)$n(A)K
YY4-bNj[p D;F{1[s( 连接建模技术:倾斜光栅 Zq ot{s
>^"BEG9i:
c;I, O ;+I4&VieK 可用的微结构建模技术:
FFGqa& ~%|G+m>
g42R 'E% }Ewo_P&` 光栅阶数分析仪 8<)$z?K r7!J&8;{K
_b4fS'[
bn 4
&O
参数变化分析仪 af+}S9To .1*DR]^`
m<3v)R[> Ew^ @Aq 参数优化 7-9;PkGG.A /'>;JF
}Pg'
vJW t&814Uf&\ 优化结果-平均效率 ? Ekq6uz\) .Tm- g#
iIU(
C.I voRfjsS~ 优化结果-对比度 T }uE0Z,
n'64;J5