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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-19
    摘要                                                                             hoQ7).>  
    XIAeCU  
    LA%bq_> f  
    iiG f'@/  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             &(blN.2  
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    仿真任务                                                                             2p!"p`b~  
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    连接建模技术:倾斜光栅 rwE%G>Vb  
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    @|\R}k%(  
    j_cs;G: "  
    可用的微结构建模技术: g{:<2xI5P  
    x\\~SGd  
    LF*&(NC  
                                                                                     )ev<7g9*q  
    光栅阶数分析仪 =ll=)"O  
    '5KeL3J;  
    e]Fp=*#  
    TDtAmk  
    参数变化分析仪                                                                            
    en*d/>OVJ  
       E?)656F[  
                                                                                 k\`S lb1  
    o<i,*y88  
    参数优化                                                                             9 QC.TG@  
    c#/H:?q?a  
                       H1EDMhn/  
    CC^E_jT  
    优化结果-平均效率 Vz=auM1xZ  
    I97yt[,Yy  
                                                        #^#HuDH  
    8, "yNq  
    优化结果-对比度  vZj`|  
    O) atNE   
     
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