摘要 ?N~rms
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{uM*.] l <Tkg9 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
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2>Xgo% ^{T]sv 连接建模技术:倾斜光栅 [O2xE037h`
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||;V5iR: dAh&Z:86\ 可用的微结构建模技术:
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u3a"[DB9c DJdW$S7 光栅阶数分析仪 Rp^kD ,* g=0`^APql
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参数变化分析仪 tda#9i[pkH 9{RCh9
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