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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-19
    摘要                                                                             O|y-nAZgU  
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    Rdt8jY6F/  
    Q(]-\L'  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             mZ/B:)_  
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    仿真任务                                                                             XZ|"7as  
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    连接建模技术:倾斜光栅 _hh|/4(  
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    $d8A_CUU  
    可用的微结构建模技术: f6|3| +  
    3:Z(tM&-O  
    lh#GD"^(w&  
                                                                                     ^G2vA8%  
    光栅阶数分析仪 J1R%w{  
    lC_zSmT  
    KG3*~G  
    iBo-ANnK9  
    参数变化分析仪                                                                            
    lZ)u4_  
       |%RFXkHS  
                                                                                 ~-:CN(U  
    LWQ BGiJj  
    参数优化                                                                             #[KwR\b{:+  
    X!2|_  
                       .9^;? Ts  
    $s]@%6 f  
    优化结果-平均效率 +] 5a(/m.~  
    \ 3LD^[qi  
                                                       epG;=\f}m`  
    !k s<VJh  
    优化结果-对比度 %[Ds-my2  
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