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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-19
    摘要                                                                             ?N~rms e  
    O< v0{z09*  
    {uM*.]  
    l <Tkg9  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             f2`[skNj  
    quTM|>=_R  
    仿真任务                                                                             uv%T0JA/  
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    2>Xgo%  
    ^{T]sv  
    连接建模技术:倾斜光栅 [O2xE037h`  
    fk<0~ tE  
                                                                        
    ||;V5iR:  
    dAh&Z:86\  
    可用的微结构建模技术: [1F.   
    %d c=Q SL  
    u3a"[DB9c  
                                                                                     DJdW$S7  
    光栅阶数分析仪 Rp^k D ,*  
    g=0`^APql  
    ,,sKPj[  
    C*a>B,H  
    参数变化分析仪                                                                            
    tda#9i[pkH  
       9{RCh 9  
                                                                                 bJ4})P&  
    $nUhM|It  
    参数优化                                                                             p[2`H$A  
    S1p 4.qJ  
                       X4_1kY;  
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    优化结果-平均效率 ]0p] u d&  
    V^;2u  
                                                       5Tag-+  
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    优化结果-对比度 ~2PD%+e7]  
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