摘要 O|y-nAZgU >+vWtO2
Rdt8jY6F/ Q(]-\L' 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
mZ/B:)_ $Q{1^ 仿真任务 XZ|"7a s hD>:WJ
QV .A.DK _&(ij(H 连接建模技术:倾斜光栅 _hh|/4(
n+Ag |.,|
CdaB.xk $d8A_CUU 可用的微结构建模技术:
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+ 3:Z(tM&-O
lh#GD"^(w& ^G2vA8% 光栅阶数分析仪 J1R%w{ lC_zSmT
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参数变化分析仪 lZ)u4_ |%RFXkHS
~-:CN(U LWQ BGiJj 参数优化 #[KwR\b{:+ X! 2|_
.9^;? Ts $s]@%6f 优化结果-平均效率 +]
5a(/m.~ \3LD^[qi
epG;=\f}m` !k s<VJh 优化结果-对比度 %[Ds-my2
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