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vx 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
d@C&+#QDF 苏州黉论教育咨询有限公司
fnKY1y]2+ 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
>JwLk[=j 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
~V=<3X 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
K0pac6] 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
PCrU<J 7 |]=2 }%1w 课程简介 ^ZDBO/ 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
z&8un%Jt 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
MxQ?Sb%Gka 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
J8a*s`ik Ck =;1sGh 课程大纲 VhGs/5 第一天
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1. 基本干涉原理
RkEN
,xWE 干涉发生的条件
penlG36Q 杨氏双缝特性
HmmS(fU 2. 典型的干涉仪系统建模
Flxvhl)L 光学层析扫描在面型检测中的应用
3voT^o 基于涡旋光的干涉测量系统
t>)45<PEw
激光准直镜的测量
BI?@1q}: 基础Mirau干涉仪的仿真
y&[y=0! Q&A
t+r:"bb 第二天
=SOe}! 1. 干涉系统的应用
_?voU
光学系统部分相干性测试
NG&_?|OmV 法布里腔干涉仪分辨
光谱 eas:6Q) 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
wd@aw / 全息曝光干涉
w2O!M!1 2. 多尺度系统建模仿真
S{Hx]\ 衍射
光栅干涉测量
)2q~u%9n 阿贝
成像理论
U).*q?.z 单色仪/光谱仪系统仿真
?rX]x8iP 用于微结构晶圆检测的光学系统
nwt C:*} 不同轮廓亚
波长光栅的成像
RPnRVJ&"Z 结构光
照明显微镜与STED显微镜
;^Sr"v6r>u SPR表面等离子共振效应
1' v5/ 3. 摩尔纹系统
s^OO^%b 摩尔纹检测系统
hJz):d>Im Q&A
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