wlvgg 时间地点 ~~P5k: 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
kD%( _K5 苏州黉论教育咨询有限公司
>U>(`r* 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
5tkAFb4P 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
q2j{tP# 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
l)\! .X 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
(t|Zn@uY "sCRdx]_ 课程简介 5qm`J,~k 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
<lPG=Xt 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
C!!M%P 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
w&#]-|$ 0d&6lqTo 课程大纲 Llo"MO*sr 第一天
+'a^f5 1. 基本干涉原理
AT3Mlz~7# 干涉发生的条件
GxxW&y 杨氏双缝特性
m(!FHPvN 2. 典型的干涉仪系统建模
ki!0^t:9 光学层析扫描在面型检测中的应用
=T@1@w 基于涡旋光的干涉测量系统
eym4=k ~
激光准直镜的测量
4VSU8tK|N] 基础Mirau干涉仪的仿真
\b x$i* Q&A
?`ZUR&
20 第二天
Hn"RH1Zy 1. 干涉系统的应用
oc`H}Wvn
光学系统部分相干性测试
Otuf]B^s 法布里腔干涉仪分辨
光谱 a=2%4Wmz 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
0h_|t-9j 全息曝光干涉
7NGxa6wi 2. 多尺度系统建模仿真
K%oG,-wdg 衍射
光栅干涉测量
6&x@.1('z 阿贝
成像理论
=,M5KDk` 单色仪/光谱仪系统仿真
25?6gu*Z 用于微结构晶圆检测的光学系统
&QgR*,5eo 不同轮廓亚
波长光栅的成像
4B.*g-L 结构光
照明显微镜与STED显微镜
bAMdI 5Zk? SPR表面等离子共振效应
T~e.PP 3. 摩尔纹系统
K0>zxqY 摩尔纹检测系统
":ue-=&M Q&A
V,njO{Q 
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