*}qWj_RT 时间地点 *uRBzO} 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
](]i 'fE> 苏州黉论教育咨询有限公司
y%$AhRk*U 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
4&lv6`G ` 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
gT{Q#C2Baw 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
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-Tem'# 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
)2KF}{ _IHV7*u{; 课程简介 sjHE/qmq-Z 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
f1RWP@iar 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
Ux!p8 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
Vi$~-6n& 4}baSV 课程大纲 |fJ};RLI" 第一天
h|9L5 1. 基本干涉原理
dh\'<|\K 干涉发生的条件
edq4D53 杨氏双缝特性
9
RgVK{F 2. 典型的干涉仪系统建模
wc@X.Q[ 光学层析扫描在面型检测中的应用
WF+99?75 基于涡旋光的干涉测量系统
|-67\p]
激光准直镜的测量
#pow ub 基础Mirau干涉仪的仿真
@Sn(lnlB Q&A
%g$o/A$ 第二天
vkV0On 1. 干涉系统的应用
Lnl(2xD
光学系统部分相干性测试
T@B/xAq5! 法布里腔干涉仪分辨
光谱
=%K;X\NB 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
CI0C1/:@ 全息曝光干涉
9wUkh}s 2. 多尺度系统建模仿真
r.&Vw|*> 衍射
光栅干涉测量
? pmHFlx 阿贝
成像理论
(_]~wi-, 单色仪/光谱仪系统仿真
R$<&ie6UQ 用于微结构晶圆检测的光学系统
9d659iC 不同轮廓亚
波长光栅的成像
Xza(k 结构光
照明显微镜与STED显微镜
ifQ*,+@fxR SPR表面等离子共振效应
kd(8I_i@ 3. 摩尔纹系统
ORw,)l 摩尔纹检测系统
Np9<:GF1 Q&A
Af2( 5] 
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