V=% ;5/ 时间地点 b GI){0A 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
-`eB4j'7 苏州黉论教育咨询有限公司
CaO-aL 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
{V[}#Mf 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
m4m|? 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
)wCNLi>4 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
EwU)(UK MpGG}J[y 课程简介 vJ=Q{_D=\ 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
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e 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
5oSp/M 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
0Ci/-3HV! >:> W= 课程大纲 VN`fZ5*d~ 第一天
v=0G&x=/ 1. 基本干涉原理
n*A1x8tn 干涉发生的条件
KR%WBvv 杨氏双缝特性
V+y"L>K 2. 典型的干涉仪系统建模
~6@`;s`[Y 光学层析扫描在面型检测中的应用
:?BK A0E 基于涡旋光的干涉测量系统
/]5*;kO`
激光准直镜的测量
{GLGDEb 基础Mirau干涉仪的仿真
dpscgW{M Q&A
-fmJkI 第二天
eh `%E0b} 1. 干涉系统的应用
h]k$K
光学系统部分相干性测试
`o295eiY(b 法布里腔干涉仪分辨
光谱 :S_]!'H 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
%dg[ho 全息曝光干涉
1ONkmVtL 2. 多尺度系统建模仿真
)X[2~E 衍射
光栅干涉测量
_"L6mcI6 阿贝
成像理论
0
}od Q# 单色仪/光谱仪系统仿真
],S {?!'1 用于微结构晶圆检测的光学系统
I4?oBq 不同轮廓亚
波长光栅的成像
\|HNFx T` 结构光
照明显微镜与STED显微镜
FA$32*v SPR表面等离子共振效应
j]<K%lwp 3. 摩尔纹系统
uW[[8+t| 摩尔纹检测系统
p^|l ',e Q&A
G%t>Ll``C 
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