ZF@T,i9 时间地点 O>
.gcLA 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
Ah#bj8} 苏州黉论教育咨询有限公司
>tGl7Ov 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
u/6b.hDO 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
ZlEQzL~ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
0Tp,b (;n 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
P80mK-Iyv_ pXPLTGY<R+ 课程简介 8r{:di* 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
]'q"Kw/10 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
9=o;I;I 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
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x59 b_v {Q E< 课程大纲 x b6X8: 第一天
6v1F.u 1. 基本干涉原理
@a~GHG[x 干涉发生的条件
P[q 'Y^\ 杨氏双缝特性
aWg*f*2f 2. 典型的干涉仪系统建模
.+#<~Jv 光学层析扫描在面型检测中的应用
VV'*3/I 基于涡旋光的干涉测量系统
_@] uHp|
激光准直镜的测量
,Y+J.8.H 基础Mirau干涉仪的仿真
1^v?Ly8 Q&A
<h"07.y 第二天
CT2L }5L& 1. 干涉系统的应用
myq:~^L
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光学系统部分相干性测试
,RXfJh 法布里腔干涉仪分辨
光谱 Fi3k 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
,'}qLor 全息曝光干涉
p 3`odmbN 2. 多尺度系统建模仿真
xPp\OuwK 衍射
光栅干涉测量
q{RH/. l 阿贝
成像理论
gR#lRA/ 单色仪/光谱仪系统仿真
wgPkSsuBuC 用于微结构晶圆检测的光学系统
MGbl-,] 不同轮廓亚
波长光栅的成像
+ 7~u_J 结构光
照明显微镜与STED显微镜
u&-Zh@;Q7 SPR表面等离子共振效应
RX\l4H5; 3. 摩尔纹系统
+CaA%u 摩尔纹检测系统
XLq%nVBM8\ Q&A
}<=4A\LZ 
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