[推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 m|Sf'5fK  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 HF*j=qt!  
苏州黉论教育咨询有限公司 :-oMkBS  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 XHh*6Yt_ (  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 }H|'W[Q.  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 ]rji]4
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课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) C]Q}HI#G  
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课程简介 k\IdKiOj!D  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 se*k56,  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 2x~Pq_?y  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 "iUh.c=0F,  
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课程大纲 ZtY?X- 4_  
第一天 Q;GcV&f;f  
1. 基本干涉原理  2.'hr/.  
 干涉发生的条件 8y;gs1d;A  
 杨氏双缝特性 HQMug  
2. 典型的干涉仪系统建模 3rX40>Cs8  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 p!K^Q3kO  
 基于涡旋光的干涉测量系统 nX8ulGGs  
 激光准直镜的测量 w!-MMT4y  
 基础Mirau干涉仪的仿真 p$cb&NNh*H  
Q&A Gh352  
第二天 Y++n0sK5<  
1. 干涉系统的应用 e@iz`~[  
 光学系统部分相干性测试 m$7C{Mr'  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 `nY.&YT  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） m]c1DvQb  
 全息曝光干涉 oA3;P]~[  
2. 多尺度系统建模仿真 N_d{E/  
 衍射光栅干涉测量 6W:FT Pt44  
 阿贝成像理论 rp|A88Q/!  
 单色仪/光谱仪系统仿真 p-
H}NQ\  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 9+ |W;  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 tJA"BP3f  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 O`T_'.Lk  
 SPR表面等离子共振效应 |XV`A)=f  
3. 摩尔纹系统 @r(3   
 摩尔纹检测系统 I@TH^8(  
Q&A