YH$-g 时间地点 zg>zUe
bA 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
JhYe6y[q 苏州黉论教育咨询有限公司
`Uq#W+r, 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
`&qL(66 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
DmK57V4L^ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
eNh39er 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
,};&tR ]U?^hZ_ 课程简介 m5n#v 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
$L`d&$Vh 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
yHYsZ,GE 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
"37lx;CH `6;?9NI 课程大纲 3l]lwV 第一天
PJ')R:e, 1. 基本干涉原理
uuEV_ "X 干涉发生的条件
BX/8O<s0 杨氏双缝特性
+:2klJ 2. 典型的干涉仪系统建模
4X/-4' 光学层析扫描在面型检测中的应用
W<{h,j8 基于涡旋光的干涉测量系统
]Ee?6]bN
激光准直镜的测量
xa'*P=<)C' 基础Mirau干涉仪的仿真
$V;i
'(&7 Q&A
MBK^FR-K 第二天
Gf6p'(\zun 1. 干涉系统的应用
]2A^1Del
光学系统部分相干性测试
B^=-Z8 法布里腔干涉仪分辨
光谱 -12UN(&&Z 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
2YL?,uLS 全息曝光干涉
Z9E\,Ly 2. 多尺度系统建模仿真
=>S]q71 衍射
光栅干涉测量
>dXGee>'M 阿贝
成像理论
Q>qUk@ 单色仪/光谱仪系统仿真
(M|Dx\_ 用于微结构晶圆检测的光学系统
J`Q>3]wL 不同轮廓亚
波长光栅的成像
(y'hyJo 结构光
照明显微镜与STED显微镜
K`eCDvlH SPR表面等离子共振效应
,u=`uD 3. 摩尔纹系统
n)/z0n!\ 摩尔纹检测系统
n6=By|jRh Q&A
')Zvp7>$ 
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