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x~tEe 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
&3>ki0L 苏州黉论教育咨询有限公司
#H(|+WEu 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
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=->rP 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
,*r"cmz 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
C8y 3T/G 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
~ @Ib:M *L/_ v 课程简介 (^Xp\dyZL 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
Pv`yOx&nE 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
8UoMOeI3 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
BG"~yyKA `|i #) 课程大纲 dh%C@n:B 第一天
Vf*!m~]Vqi 1. 基本干涉原理
qJFBdJU (1 干涉发生的条件
}3Pz{{B&+O 杨氏双缝特性
UKQ,]VC 2. 典型的干涉仪系统建模
cg<10KT 光学层析扫描在面型检测中的应用
";9cYoKRY 基于涡旋光的干涉测量系统
X}_}`wIn
激光准直镜的测量
QR'"Zw&q5/ 基础Mirau干涉仪的仿真
U}6'_ PRQ Q&A
t
qbS!r 第二天
1#Dpj.cO# 1. 干涉系统的应用
\^?BC;s^C
光学系统部分相干性测试
&7T0nB/) 法布里腔干涉仪分辨
光谱 PX[taDN 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
1fQvh/2 全息曝光干涉
Et%s,zeA{2 2. 多尺度系统建模仿真
oKz|hks[6 衍射
光栅干涉测量
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SE+ 7 阿贝
成像理论
Q<d\K(<3?: 单色仪/光谱仪系统仿真
]~87v 用于微结构晶圆检测的光学系统
!~m)_Q5?~ 不同轮廓亚
波长光栅的成像
`l1{BU 结构光
照明显微镜与STED显微镜
"a-Ex ] SPR表面等离子共振效应
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