[推荐]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 n 'E
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主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 nWFU8u%  
苏州黉论教育咨询有限公司 lky5%H  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 xL$7bw5fY  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 d'k99(vy  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 !U4<4<+  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
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课程简介 q6EZ?bo{  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 q}cm"lO$  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 _m*FHi  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 4x|\xg( l  
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课程大纲 bE6bx6=u  
第一天 Sc9}WU
 
1. 基本干涉原理 'w?}~D.y  
 干涉发生的条件 q#\4/Dt  
 杨氏双缝特性 x*!%o(G  
2. 典型的干涉仪系统建模 GBYwS{4  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 ;S+]Z!5LT  
 基于涡旋光的干涉测量系统 og`K!d~  
 激光准直镜的测量 HwZ"l31  
 基础Mirau干涉仪的仿真 NM+(ss'  
Q&A JVR,Py:%G  
第二天 V,&A? Y  
1. 干涉系统的应用 y&6 pc  
 光学系统部分相干性测试 D\^\_r):  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 <Wm'V-  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） w@x||K=Z  
 全息曝光干涉 cf,^7,-`"  
2. 多尺度系统建模仿真  6h?)x  
 衍射光栅干涉测量 0SV4p.  
 阿贝成像理论 IsiBn(1Z  
 单色仪/光谱仪系统仿真 )4^Sz&\  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 /~3kkM(Ty  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 FK~*X
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 结构光照明显微镜与STED显微镜 Y(F>;/AA  
 SPR表面等离子共振效应 Ogu";p(  
3. 摩尔纹系统 ffR<G&"n~b  
 摩尔纹检测系统 ?H!QV;ku  
Q&A