$6h*lT< 时间地点 JoZ(_Jh%m 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
"(`2eXRn 苏州黉论教育咨询有限公司
hJ*Ihwn| 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
@;iXp>&& 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
!_~Uv xM+ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
G:IP? z] 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
&Z;_TN9[ C\}/" 课程简介 h|bT)!| 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
|3shc,7 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
FhkkWWL 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
#%$28sxB '<dgT&8C 课程大纲 mwC=o5O 第一天
C <B<o[:H 1. 基本干涉原理
$f$|6jM 干涉发生的条件
~"K,7sw!Y 杨氏双缝特性
Sk}{E@ 2. 典型的干涉仪系统建模
pOT7;-#n 光学层析扫描在面型检测中的应用
"6CMA0R 基于涡旋光的干涉测量系统
+f|BiW
激光准直镜的测量
G[,Q95`w?< 基础Mirau干涉仪的仿真
%lw! e Q&A
$}GTG'*. 第二天
4J0Rvod_ 1. 干涉系统的应用
:E&g%'1
光学系统部分相干性测试
5/MKzoB 法布里腔干涉仪分辨
光谱
4x;_AN 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
hK|j6xf.o 全息曝光干涉
}ns-W3B' 2. 多尺度系统建模仿真
~P.I< 衍射
光栅干涉测量
BU|#e5 阿贝
成像理论
T{+Z(L 单色仪/光谱仪系统仿真
5jB*fIz 用于微结构晶圆检测的光学系统
fCWGAO2 不同轮廓亚
波长光栅的成像
|7k_N|E 结构光
照明显微镜与STED显微镜
T;5r{{ SPR表面等离子共振效应
Q~{H@D`< 3. 摩尔纹系统
Oz:
*LZ 摩尔纹检测系统
Pe;Y1Qq>> Q&A
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