X?(R!=a 时间地点 xqauSW 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
:8N{;aui 苏州黉论教育咨询有限公司
K~fWZT3] 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
}Nma %6PfV 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
o> &-B.zq 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
M-e|$'4u 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
|:SIyXGbY mcs!A/]< 课程简介:
!FvL2L 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
8v=t-GJW =GiN~$d 课程大纲:
m';4`Y5- 第一天
j%':M 1. 光栅结构建模
O(:/&`) 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 oxJAI4{y
4 光栅的建模
y(Em+YTD 2. 光栅仿真算法比较
D8{f7{nY 薄元近似法(Thin Element Approximation)
!wZIXpeL 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
zhY]! 3. 光栅严格分析实例
\KKE&3= 闪耀光栅
tq L2' (= 光栅与偏振
Zm+GH^f' 非傍轴衍射分束器分析
o@L
'|#e 4. 光栅设计与优化
t"5ZYa 倾斜光栅结构参数优化
JM53sx4& 公差分析
(-@I'CFd 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
]H<}6}Gd 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
} V"A;5j` Q&A
jY ;Hdb'' |;"(C# B 第二天
Jn9{@?? 1. 二维光栅结构建模
&gI*[5v
体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
i1 GQ=@ 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
Q@*9|6- 2. 二维光栅设计优化
f9O_M1=|lo 抗反射蛾眼结构设计
^,J>=>,1\ 公差分析
vOl3utu7
纳米柱的严格分析
t7*F, 共振
光子晶格仿真
*T.V5FB0S 3. 超表面微纳结构
FS*J8) 超表面分光光栅设计
biU
?>R
设计和分析超透镜
A[^k4> 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
Ty*+?#` 4. 包含光栅的光学系统仿真
wBEBj7(y 光栅衍射测量
a;&0u> 结构光
照明的显微镜系统
>A}ra ^gU 微结构晶圆检测系统
!P6?nS 泰伯效应
Pu'lp
O Q&A
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