0N.B=j| 时间地点 v,bCj6 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
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T3vw 苏州黉论教育咨询有限公司
:}(Aq;}X 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
.kKU MyW( 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
B!{vSBq 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
$Y'}wB{pc 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
M ,!Dhuas -Uj)6PzGu 课程简介:
Ok63 w7 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
iY@wg 8ry xVYy`_| 课程大纲:
\cJ?2^Eq 第一天
UF37|+"E 1. 光栅结构建模
b>g&Pf#N! 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 t<=Ru*p 光栅的建模
*Rm"3S 2. 光栅仿真算法比较
~4gOv 薄元近似法(Thin Element Approximation)
VPOzt7: 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
4-j3&( 3. 光栅严格分析实例
HK}br!? 闪耀光栅
].ZfTrM] 光栅与偏振
!@>_5p>q* 非傍轴衍射分束器分析
GZ=7)eJ~< 4. 光栅设计与优化
E3..$x-/ 倾斜光栅结构参数优化
|w; hu] 公差分析
?XCFRt,ol 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
gR5
EK$ 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
P ?^h Q&A
9t$#!2z )ZZjuFQJ) 第二天
{L6@d1u 1. 二维光栅结构建模
eR1SPS1+ 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
D;?cf+6$ 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
uX/K/4 2. 二维光栅设计优化
stxei
6 抗反射蛾眼结构设计
_PPZ!r( 公差分析
.4CCR[Het
纳米柱的严格分析
)NF5,eD 共振
光子晶格仿真
I1f4u6\*X 3. 超表面微纳结构
qb$&BZj]| 超表面分光光栅设计
y
J|/^qs 设计和分析超透镜
a7Mn/ i. 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
8Cx6Me>,= 4. 包含光栅的光学系统仿真
Ow"e3]}Mt 光栅衍射测量
pseN!7+or 结构光
照明的显微镜系统
8'sT zB] 微结构晶圆检测系统
7];AB;0" 泰伯效应
WHF[l1 Q&A
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