%<x2=#0 时间地点 Gy*6I)l 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
/b *VFA/75 苏州黉论教育咨询有限公司
DL&\iR 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
FKU$HQw* 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
/IDfGAE 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
3Lx]-0h 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
>L6V! ({/@=e x* 课程简介:
:OC`X~}Rc 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
7r=BGoA2E `'BvUTDyZ 课程大纲:
16q"A$ 第一天
$7q'Be@{ 1. 光栅结构建模
ocwh*t)<k 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 Xne{:!btw 光栅的建模
_KSYt32N 2. 光栅仿真算法比较
L&td4`2y 薄元近似法(Thin Element Approximation)
pgg4<j_mn 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
:'-FaGy 3. 光栅严格分析实例
U0}]3a0 闪耀光栅
]V!q"|
光栅与偏振
5;=,BWU 非傍轴衍射分束器分析
)L?JH?$C 4. 光栅设计与优化
D]nVhOg| 倾斜光栅结构参数优化
4u;db_gX 公差分析
)M5:aSRz 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
Xz`?b4i 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
~2Jvb[IM Q&A
rSU%!E+|< 2J;h}/!H 第二天
bqmOfGM 1. 二维光栅结构建模
;74hOHDS 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
y>zPsc, 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
I~lX53D 2. 二维光栅设计优化
n dRy&[f7 抗反射蛾眼结构设计
$Bd{Y"P@6 公差分析
0w?\KHT
纳米柱的严格分析
v@bs4E46e 共振
光子晶格仿真
PfTjC"`, 3. 超表面微纳结构
SdF*"]t 超表面分光光栅设计
1=C>S2q 设计和分析超透镜
=
E'\ 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
U[5 4. 包含光栅的光学系统仿真
;hsgi|Cy- 光栅衍射测量
:~JgB 结构光
照明的显微镜系统
{ Z<4 微结构晶圆检测系统
uZ mi 泰伯效应
U#v??Sl Q&A
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