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y 时间地点 5y!
4ny_ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
?;.j) 苏州黉论教育咨询有限公司
l=5(5\ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
65VnH= 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
oC>QJ(o,8 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
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_ 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
A)En25,X lTPo2-j/eK 课程简介:
/%Bc*k=ox 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
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UE=p XM3N>OR. 课程大纲:
B^Q\l!r 第一天
P}o:WI4.cB 1. 光栅结构建模
CjM+%l0MW 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 o)KF+[^ 光栅的建模
(yE?)s 2. 光栅仿真算法比较
22|eiW/a 薄元近似法(Thin Element Approximation)
|,bsMJh0 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
QthHQA 3. 光栅严格分析实例
;Jt*s 闪耀光栅
PYqx&om 光栅与偏振
WO$PW`k 非傍轴衍射分束器分析
`pF|bZ?v 4. 光栅设计与优化
IC+Z C 倾斜光栅结构参数优化
w!)B\l^+c 公差分析
cTmoz.0 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
EA%(+tJ^0 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
eX9{ wb( Q&A
-UkP{x)S 5n1;@Vr 第二天
7]YLe+Ds 1. 二维光栅结构建模
m8H|cQ@Uu 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
`CW8Wj 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
PJN TIa 2. 二维光栅设计优化
bp2l%A; 抗反射蛾眼结构设计
km'3[}8o& 公差分析
tfj6#{M5
纳米柱的严格分析
8qn1?Lb 共振
光子晶格仿真
0\%/:2 3. 超表面微纳结构
r_T\% 超表面分光光栅设计
xh[Mmq/R 设计和分析超透镜
?"PUw3V3lB 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
," 4. 包含光栅的光学系统仿真
O^hWG ~o 光栅衍射测量
j$^3 结构光
照明的显微镜系统
F{ J>=TC 微结构晶圆检测系统
{gluK#Qm 泰伯效应
i 4
KW Q&A
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