Owz.C_{) 时间地点 V-
HO_GDo 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
Vj{}cL"MR 苏州黉论教育咨询有限公司
6q]`??g. 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
*2tG07kI 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
}2-p=Y:6 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
>iIUS 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
O)i]K`jk *S$`/X 课程简介:
mbm|~UwD 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
jQ[M4)>_k` )ls<"WTC. 课程大纲:
z`Cq,Sz/ 第一天
,)JSXo 1. 光栅结构建模
q|fZdTw 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 sBfPhBT| 光栅的建模
YDMimis\H5 2. 光栅仿真算法比较
F6h|AF|" 薄元近似法(Thin Element Approximation)
7/$s!pV 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
~0~f 3. 光栅严格分析实例
_Z|3qQ 闪耀光栅
E?+MM0 光栅与偏振
xHMbtY 非傍轴衍射分束器分析
sXaIQhZ 4. 光栅设计与优化
|vY0[#E8& 倾斜光栅结构参数优化
x3>PM]r(V 公差分析
Qy+&N*k> 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
l[J'FR: 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
4z##4^9g Q&A
yHL5gz@k A+Xk=k5< 第二天
*1[v08?! 1. 二维光栅结构建模
P5*~Wi` 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
C'c9AoE5> 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
+#c3Y;JP 2. 二维光栅设计优化
rHWlv\+Nn 抗反射蛾眼结构设计
o?$B<Cb" 公差分析
IO\>U(:vx
纳米柱的严格分析
utvZ<zz` 共振
光子晶格仿真
0H-~-z8Y 3. 超表面微纳结构
Aey*n=V4#F 超表面分光光栅设计
u{o!#_o64 设计和分析超透镜
lbtVQW0V;o 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
]E+deM 4. 包含光栅的光学系统仿真
.#]
V5g, 光栅衍射测量
De(\<H# 结构光
照明的显微镜系统
z$>_c"D 微结构晶圆检测系统
x{X(Y]*1S 泰伯效应
&l=%*`On Q&A
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