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f.w",S^ 内容简介 7d;|?R-8D Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 868X/lL 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @R&d<^I&M 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 C|ZPnm>f30 =RB
{.% 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 J?O0ixU 目录 4l 67B]o Preface 1 xF8r+{_J) 内容简介 2 Znb={hh 目录 i zud_BOq{f 1 引言 1 S;4:`?s=i 2 光学薄膜基础 2 (=j;rfvP 2.1 一般规则 2 UWT%0t_T 2.2 正交入射规则 3 GD4S/fn3 2.3 斜入射规则 6 yd;e;Bb7* 2.4 精确计算 7 ovKM;cRs/ 2.5 相干性 8 <YyE1| 2.6 参考文献 10 wv9HiHz8gD 3 Essential Macleod的快速预览 10 7P1Pk?pxy 4 Essential Macleod的特点 32 7ws<' d7/ 4.1 容量和局限性 33 w<(ubR %$ 4.2 程序在哪里? 33 Tz1^"tx9 4.3 数据文件 35 -Q20af- 4.4 设计规则 35 ,ua1sTgQ 4.5 材料数据库和资料库 37 D, ")n75 4.5.1材料损失 38 n\+c3 4.5.1材料数据库和导入材料 39 0he3[m}Nr 4.5.2 材料库 41 X.b8qbnq[ 4.5.3导出材料数据 43 gH//@`6 4.6 常用单位 43 iVFOOsJ@ 4.7 插值和外推法 46 >ai,6! 4.8 材料数据的平滑 50 ^L%_kL_7 4.9 更多光学常数模型 54 _/1/{ 4.10 文档的一般编辑规则 55 6ld4'oM 4.11 撤销和重做 56 WFF?VBT'^ 4.12 设计文档 57 COw"6czX/ 4.10.1 公式 58 1Dr&BXvf]8 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 i(.e=
4.10.3 沉积密度 59 ei5YxV6I 4.10.4 平行和楔形介质 60 F{x+1hct0 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 8 W 4.10.4 性能 61 qPPe)IM'Sc 4.10.5 保存设计和性能 64 Wk[a|> 4.10.6 默认设计 64 FI^Wh7J 4.11 图表 64 70qEqNoC 4.11.1 合并曲线图 67 Kn^+kHh: 4.11.2 自适应绘制 68 Bt<)1_ 4.11.3 动态绘图 68 a&'9[9E1 4.11.4 3D绘图 69 h%EeU
3 4.12 导入和导出 73 ?F05BS#)X 4.12.1 剪贴板 73 1ui)Hv=h* 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 HTL6;87w+] 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 :SaZhY 4.13 背景 77 w-Ph-L/ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 pB:XNkxL 4.15 生成Rugate 84 JSB+g; 4.16 参考文献 91 7Yg1z%%U 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 )^(gwE 5.1 Jobs 92 OH/9<T? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 A}lxJ5h0 5.3 输入材料 94 v-#,@&Uwq 5.4 设计数据文件夹 95 'u.Dt*.Uq 5.5 默认设计 95 l0'Yq%Nf 6 细化和合成 97 45 ^ Z5t 6.1 优化介绍 97 ku,{NY
f^Y 6.2 细化 (Refinement) 98 e[iv"|+
6.3 合成 (Synthesis) 100 K3mP 6Z#2 6.4 目标和评价函数 101 N)mZ!K44 6.4.1 目标输入 102 b"$?(Y 6.4.2 目标 103 (wL$h5SG 6.4.3 特殊的评价函数 104 hj1;f<'
U 6.5 层锁定和连接 104 W_@ b. 1 6.6 细化技术 104 u43Mo\"<&% 6.6.1 单纯形 105 :WRD<D_4 6.6.1.1 单纯形参数 106 #;8)UNc)} 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 WdOxwsq" 6.6.2.1 Optimac参数 108 wa,`BAKJ+F 6.6.3 模拟退火算法 109 Tbm
~@k(C 6.6.3.1 模拟退火参数 109 [CEV&B 6.6.4 共轭梯度 111 .QP`Qn6 (P 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 -G>J 6.6.5 拟牛顿法 112 bqH
[-mu6 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 B!mHO*g 6.6.6 针合成 113 j)/Vtf 6.6.6.1 针合成参数 114 pmP~1=3 6.6.7 差分进化 114 ;>2- 6.6.8非局部细化 115 K\ Wzh; 6.6.8.1非局部细化参数 115 5
Y&`Z J 6.7 我应该使用哪种技术? 116 T"P}` mT 6.7.1 细化 116 oQ,n?on 6.7.2 合成 117 te[uAJ1 N 6.8 参考文献 117 %( OP
[ 7 导纳图及其他工具 118 Rng-o! 7.1 简介 118 1M`>;fjYa 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 [GbrKq( 7.2.1 四分之一波长规则 119 h<LS`$PK;E 7.2.2 导纳图 120 lrc%GU): 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 #CLjQJ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ,]\cf 7.5 斜入射导纳图 141 _f2rz+ 7.6 对称周期 141 ue3 ].: 7.7 参考文献 142 ,l AZ4 8 典型的镀膜实例 143 V(kK2az 8.1 单层抗反射薄膜 145 RCfeIHL 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 )7Hx<?P 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Ngx2N<$<*g 8.4 W-膜层 148 R<1%Gdz 8.5 V-膜层 149 ps:"0^7 8.6 V-膜层高折射基底 150 j8M t"B 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 2wO8;wiA 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 78]*Jx>L 8.9 四层抗反射薄膜 153 rZ,3:x-: 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 x]YzVJ =Y 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 O:I]v@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ta.Lq8/ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 3_G0eIE"u 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 q;R&valn 8.15十五层宽带抗反射膜 159 <- sr& 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 >lmqPuf 8.17 1/4波长堆栈 162 'O 7:=l 8.18 陷波滤波器 163 1d!s8um; 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 |5>A^a 8.20 褶皱 165 =M:Po0?0E 8.21 消偏振分光器1 169 `dF~' 8.22 消偏振分光器2 171 msw'n 8.23 消偏振立体分光器 172 ;R&W#Q7>3 8.24 消偏振截止滤光片 173 :icpPv 8.25 立体偏振分束器1 174 yLqhj7 8.26 立方偏振分束器2 177 k2loGvBJ 8.27 相位延迟器 178 MYV3</Xj* 8.28 红外截止器 179 dR i6 8.29 21层长波带通滤波器 180 Uth+4Aq 8.30 49层长波带通滤波器 181 c{`!$Z'k< 8.31 55层短波带通滤波器 182 .>,Y
| 8.32 47 红外截止器 183 5o{U$ 8.33 宽带通滤波器 184 D',7 T=C
8.34 诱导透射滤波器 186 ~ecN4Oo4q; 8.35 诱导透射滤波器2 188 @fA|y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 8S#&XS>o 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 oGZuYpa9 8.35 增益平坦滤波器 193 x| D|d} 8.38 啁啾反射镜 1 196 HQF@@ 8.39 啁啾反射镜2 198 B.?F^m@zS 8.40 啁啾反射镜3 199 %qJgtu"8 8.41 带保护层的铝膜层 200 KBi(Ns#+ 8.42 增加铝反射率膜 201 {B#w9>'b 8.43 参考文献 202 8T+o.w== 9 多层膜 204 V@RdvQy 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 l'Li!u 9.2 内部透过率 204 RwK6u-u#9 9.3 内部透射率数据 205 Dg~m}La 9.4 实例 206 [[w-~hHH - 9.5 实例2 210 irw5<l 9.6 圆锥和带宽计算 212 C:AV? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 r1.zURY 10 光学薄膜的颜色 216 !:xE
X~ 10.1 导言 216 +F,])p4,]i 10.2 色彩 216 SG~HzQ\% 10.3 主波长和纯度 220 D'moy*E 10.4 色相和纯度 221 E!WlQr:b$ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 q|klsup 10.6 色差 226 L|D9+u L 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 F;/^5T3wI 10.8 颜色渲染指数 234 u"T9w]Z\ 10.9 色差计算 235 ?&qQOM~b-\ 10.10 参考文献 236 fhdqes]) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 {&Rz>JK 11.1 短脉冲 238 A3HNMz 11.2 群速度 239 E>E^t=;[ 11.3 群速度色散 241 toj5b;+4F 11.4 啁啾(chirped) 245 1f"}]MbLR 11.5 光学薄膜—相变 245 3z#>1HD$ 11.6 群延迟和延迟色散 246 GaJE(N 11.7 色度色散 246 Pec40g:#F 11.8 色散补偿 249 )_Hv9!U]e 11.9 空间光线偏移 256 U![$7k>,pr 11.10 参考文献 258 247vU1 12 公差与误差 260 gs.+|4dv 12.1 蒙特卡罗模型 260 1NTx?JJfW 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Az(,Q$"|5 12.2.1 误差工具 267 Mc8_D,7 12.2.2 灵敏度工具 271 KqBiF]Q 12.2.2.1 独立灵敏度 271 HsRoiqo 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Cnc=GTRi 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 <JXHg,Q 12.3 参考文献 276 p_zVrlVb 13 Runsheet 与Simulator 277 lR
F5/ 13.1 原理介绍 277 ^%6f%]_ 13.2 截止滤光片设计 277 iYdg1 14 光学常数提取 289 'm<L}d 14.1 介绍 289 4__HH~j ?Q 14.2 电介质薄膜 289 Q?>*h xzoP 14.3 n 和k 的提取工具 295 5>H&0> \ 14.4 基底的参数提取 302 -IDhK}C&T 14.5 金属的参数提取 306 <
uV@/fn< 14.6 不正确的模型 306 :YLYCVi| 14.7 参考文献 311 *. A-UoHa 15 反演工程 313 cdI"=B+C\ 15.1 随机性和系统性 313 ':
Ek3' L 15.2 常见的系统性问题 314 <)J@7@!P 15.3 单层膜 314 -EU=R_yg 15.4 多层膜 314 uVX,[%*P 15.5 含义 319 VsL*&Fk 15.6 反演工程实例 319 /7a3*a 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 m<;MOS 15.6.2 反演工程提取折射率 327 tp ky 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 TL-ALtG 16.1 光学性质的热致偏移 329 +,i_G?eX 16.2 应力工具 335 ,WoB)V.{( 16.3 均匀性误差 339 l;h -`( 11 16.3.1 圆锥工具 339 wXYT(R 16.3.2 波前问题 341 R(}!gv}s 16.4 参考文献 343 =8]Ru(#Ig 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 DU5rB\!.~ 17.1 引言 345 ;?-{Uk 17.2 操作数 345 p lzwk>b_ 18 如何在Function中编写脚本 351 t`Xx\ 18.1 简介 351 |\ C.il7 18.2 什么是脚本? 351 ds2xl7jg 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 tPw7zFy6r 18.4 基础 352 h-m0Ro?6 18.4.1 Classes(类别) 352 HuxvIg 18.4.2 对象 352 >RiU/L 18.4.3 信息(Messages) 352 d(5j#? 18.4.4 属性 352 ,z((?h,nm 18.4.5 方法 353 '81Rwp 18.4.6 变量声明 353 d%!yFix;< 18.5 创建对象 354 bDegIW/'w 18.5.1 创建对象函数 355 p@?(m/m$ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 @ L/i 18.5.3 丢弃对象 356 ?]}=4 18.5.4 总结 356 <rU+{&FKNL 18.6 脚本中的表格 357 cvpZF5mL]U 18.6.1 方法1 357 0h('@Hb.K# 18.6.2 方法2 357 7i=ER*F~ 18.7 2D Plots in Scripts 358 %P*b&H^0 18.8 3D Plots in Scripts 359 bvJ*REPL? 18.9 注释 360 Xi=4S[.4 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
y}W*P#BDO 18.11 一个更高级的脚本 362 I
wu^@ 18.12 <esc>键 364 9q^7%b, 18.13 包含文件 365 `y1,VY 18.14 脚本被优化调用 366 "x3!F& 18.15 脚本中的对话框 368 L_=3`xE
_ 18.15.1 介绍 368 %!L*ec%, 18.15.2 消息框-MsgBox 368 uBaGOW|Pl 18.15.3 输入框函数 370 "(a}}q 9- 18.15.4 自定义对话框 371 PJh97%7 18.15.5 对话框编辑器 371 25;`yB$ 18.15.6 控制对话框 377 .4=A:9 18.15.7 更高级的对话框 380 ;tZ 8Sh) 18.16 Types语句 384 hSk 18.17 打开文件 385 hLyV'*} 18.18 Bags 387 t.7_7`bin~ 18.13 进一步研究 388 _`9WNJiL 19 vStack 389 \JF 2'm\M 19.1 vStack基本原理 389 &{x`K4N 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 *MN("<A_ 19.3 五棱镜 393 Tz/[P:O3 19.4 光束距离 396 ^P*+0?aFr 19.5 误差 399 XfwH1n/o# 19.6 二向分色棱镜 399 ve*6WDK,H 19.7 偏振泄漏 404 >>>MTV f 19.8 波前误差—相位 405 `u8=~]rblj 19.9 其它计算参数 405 D._7)$d 20 报表生成器 406 SsIN@ 20.1 入门 406 O$Dj_R# 20.2 指令(Instructions) 406 qh wl 20.3 页面布局指令 406 uq]E^#^ 20.4 常见的参数图和三维图 407 7"{CBbT 20.5 表格中的常见参数 408 wV{VV?h} 20.6 迭代指令 408 'G3|PA7v 20.7 报表模版 408 Z^yn S 20.8 开始设计一个报表模版 409 leJ3-w{ 2 21 一个新的project 413 Olq`mlsK 21.1 创建一个新Job 414 j1dz'G}hj 21.2 默认设计 415 ;;zd/n2b 21.3 薄膜设计 416 95-%>?4 21.4 误差的灵敏度计算 420 xT8!X5; 21.5 显色指数计算 422 A)TO<dl 21.6 电场分布 424 )B Xl|V, 后记 426 V8z*mnD 感兴趣可以扫码加微联系 @<p9O0
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