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_H9 MwJ 内容简介 @tF\p
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 `b?R#:G 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 AL[KpY 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 4%{,]
q\p N(O9&L*4fm 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 32(^Te]: 目录 '%>=ZhO Preface 1 o m!!Sl 3 内容简介 2 CYt?,qk-r 目录 i dSLU>E3g 1 引言 1 3t.l5m
Rg5 2 光学薄膜基础 2 m\;R2"H% 2.1 一般规则 2 3D6RLu 2.2 正交入射规则 3 pLl(iNf] 2.3 斜入射规则 6 Dxtp2wu%t 2.4 精确计算 7 XUrXnz|> 2.5 相干性 8 WEAT01 2.6 参考文献 10 !zBhbmlKt 3 Essential Macleod的快速预览 10 ]z;P9B3@& 4 Essential Macleod的特点 32 X
enE^e+9 4.1 容量和局限性 33 .Q<>-3\K 4.2 程序在哪里? 33 XYQ/^SI!: 4.3 数据文件 35 Qo>b*Ku; 4.4 设计规则 35 zlyS}x@p 4.5 材料数据库和资料库 37 aasoW\UG 4.5.1材料损失 38 -7SAK1c$ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 "WlZ)wyF% 4.5.2 材料库 41 P=qa::A 4.5.3导出材料数据 43 S2E8Gq9 4.6 常用单位 43 AWcLUe { 4.7 插值和外推法 46 qjwxhabc 4.8 材料数据的平滑 50 {M3qLf~z#C 4.9 更多光学常数模型 54 C^s^D: 4.10 文档的一般编辑规则 55 Y&`=jDI 4.11 撤销和重做 56 r`$OO,W 4.12 设计文档 57 z Eq GD2" 4.10.1 公式 58 vp1941P 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 v0ujdp,B 4.10.3 沉积密度 59 a@8v^G 4.10.4 平行和楔形介质 60 % BVs47g 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Gw=B:kGk 4.10.4 性能 61 ^9m\=5d 4.10.5 保存设计和性能 64 >1s*
at/h 4.10.6 默认设计 64 K'55O&2 4.11 图表 64 t9nqu!); 4.11.1 合并曲线图 67 7Sf
bx~48 4.11.2 自适应绘制 68 !1rlN8w(qr 4.11.3 动态绘图 68 ,aOl_o -& 4.11.4 3D绘图 69 'SO %)B 4.12 导入和导出 73 Y5f1lUT 4.12.1 剪贴板 73 B`YTl~4 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 dW_KU} 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ]Gzm^6v 4.13 背景 77 2$9odD<r 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ()2I# 4.15 生成Rugate 84 ^"2i 4.16 参考文献 91 tI]Q%S, 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,%6P0#- 5.1 Jobs 92 ;m0~L=w 5.2 创建一个新Job(工作) 93 m];]7uB5= 5.3 输入材料 94 26e]`]!SU 5.4 设计数据文件夹 95 [O$Wa:< 0x 5.5 默认设计 95 YA''2Ii 6 细化和合成 97 C'G/AU 6.1 优化介绍 97 !6n_}I-W 6.2 细化 (Refinement) 98 R"4Vtww 6.3 合成 (Synthesis) 100 8H;t_B 6.4 目标和评价函数 101 oNr-Q& C, 6.4.1 目标输入 102 R(!s 6.4.2 目标 103 3("_Z% 6.4.3 特殊的评价函数 104 d<% z
1Dj2 6.5 层锁定和连接 104 @u.58H& }R 6.6 细化技术 104 ) dn(G@5 6.6.1 单纯形 105 O80<Z#%j` 6.6.1.1 单纯形参数 106 ^b/ Z)3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 YO#M/%^j 6.6.2.1 Optimac参数 108 "K ~ 6.6.3 模拟退火算法 109 ,f<?;z 6.6.3.1 模拟退火参数 109 g=39C> 6.6.4 共轭梯度 111 3Q"<<pi!~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 BYpG 6.6.5 拟牛顿法 112 %.vQU @2A 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ;>#wU' 6.6.6 针合成 113 5BWH-2HsB 6.6.6.1 针合成参数 114 #~#R- 6.6.7 差分进化 114 +vvv[ 6.6.8非局部细化 115 ztnFhJ<a$ 6.6.8.1非局部细化参数 115 TBs|r# 6.7 我应该使用哪种技术? 116 4 kn|^ 6.7.1 细化 116 u_hD}V^x4 6.7.2 合成 117 1cxrH+N 6.8 参考文献 117 wL;lQ& 7 导纳图及其他工具 118 ! _f9NK 7.1 简介 118 p%#<D9S 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 |P[w==AAf 7.2.1 四分之一波长规则 119 fo5iJz"Z 7.2.2 导纳图 120 /rMI"khB 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
05z,b]>l 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 V:qSy#e 7.5 斜入射导纳图 141 {,3>" 7.6 对称周期 141 Ci?Ss+| 7.7 参考文献 142 Z LB4m` 8 典型的镀膜实例 143 ^]7}YF2| 8.1 单层抗反射薄膜 145 q_TRq:&. 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 FQm`~rA~zt 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 V}bjK8$$ 8.4 W-膜层 148 6 2'j!"xv 8.5 V-膜层 149 RzBF~2 >i 8.6 V-膜层高折射基底 150 &atuK*W> 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 (gy#js# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ,.rs(5.z8/ 8.9 四层抗反射薄膜 153 Jzj1w}?H 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 YX=a#%vrl 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 t5[#x4
p 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 \wo?47+= 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 %oq{L]C(rf 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 yXz*5W_0D 8.15十五层宽带抗反射膜 159 " |Xk2U 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 2-7IJ\ 8.17 1/4波长堆栈 162 ~kShq% 8.18 陷波滤波器 163 kB3H="3[[ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 j2ve^F:Q 8.20 褶皱 165 F=`AY^u0 8.21 消偏振分光器1 169 aAJU`=uq 8.22 消偏振分光器2 171 oz AS[B6 8.23 消偏振立体分光器 172 cJN7bA{ 8.24 消偏振截止滤光片 173 txW{7[w+, 8.25 立体偏振分束器1 174 W=vG$ 8.26 立方偏振分束器2 177 &f"-d 8.27 相位延迟器 178 }3o|EXx= 8.28 红外截止器 179 DSC$i| 8.29 21层长波带通滤波器 180 lV`Q{bd+ 8.30 49层长波带通滤波器 181 5i>$]*o 8.31 55层短波带通滤波器 182 plUZ"Tr 8.32 47 红外截止器 183 vtw6FX_B 8.33 宽带通滤波器 184 Rec6c&5_ 8.34 诱导透射滤波器 186 [baiH|5> 8.35 诱导透射滤波器2 188 |?rNy=P, 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 W{%TlN 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 {)"iiJ 8.35 增益平坦滤波器 193 /s?r`' j[ 8.38 啁啾反射镜 1 196 Ey_" ~OB 8.39 啁啾反射镜2 198 #1`-*.u 8.40 啁啾反射镜3 199 *FC=X) _&W 8.41 带保护层的铝膜层 200 L%BNz3:Dt 8.42 增加铝反射率膜 201 k40* e\ 8.43 参考文献 202 fF?z| 9 多层膜 204 [K9'<Qnu 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 AmaT0tzJC 9.2 内部透过率 204 ,$+lFv3LE 9.3 内部透射率数据 205 xgpi-l 9.4 实例 206 vI2^tX9 9.5 实例2 210 crqpV F]1] 9.6 圆锥和带宽计算 212 bLe<G 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 |(pRaiJ 10 光学薄膜的颜色 216 V^JV4 `o 10.1 导言 216 U'8bdsF_ 10.2 色彩 216 7Bb9t 10.3 主波长和纯度 220 JQ,1D`?.a 10.4 色相和纯度 221 T^ w36}a 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 S/^"@?z,vE 10.6 色差 226 >H'4{| 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 e?opkq\f 10.8 颜色渲染指数 234 'XZ)!1N 10.9 色差计算 235 MOsl_^c 10.10 参考文献 236 9/hrjItV 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 kB/D!1
" 11.1 短脉冲 238 U 'R)x";= 11.2 群速度 239 5"HVBfFk 11.3 群速度色散 241 @n(Z$)8tR 11.4 啁啾(chirped) 245 *$p2*%7Ne 11.5 光学薄膜—相变 245 q8^^H$<Db 11.6 群延迟和延迟色散 246 &GlwC%$S 11.7 色度色散 246 Gs9:6 11.8 色散补偿 249 %K\?E98M 11.9 空间光线偏移 256 J13>i7]L% 11.10 参考文献 258 L%Ow#.[C2 12 公差与误差 260 IkBei&4F` 12.1 蒙特卡罗模型 260 #gp,V#T 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 V>R8GSx 12.2.1 误差工具 267 UG2nX3? 12.2.2 灵敏度工具 271 >c9a0A 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ^zt-HDBR_ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 {jYOsl 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 &m|wH4\ 12.3 参考文献 276 Sg6"WV{< 13 Runsheet 与Simulator 277 c8L~S/t 13.1 原理介绍 277 hg+X(0 13.2 截止滤光片设计 277 Z7_m)@%;kk 14 光学常数提取 289 wm)#[x # 14.1 介绍 289 Ys,{8Y,7 14.2 电介质薄膜 289 !R1.7}O 14.3 n 和k 的提取工具 295 qxFB%KqU 14.4 基底的参数提取 302 GG@md_ 14.5 金属的参数提取 306 oXxCXO,q 14.6 不正确的模型 306 GFel(cx:K 14.7 参考文献 311 6
G3\=) 15 反演工程 313 LUC4=kk4 15.1 随机性和系统性 313 ^1Zeb$Nw' 15.2 常见的系统性问题 314 9T|IvQK8 15.3 单层膜 314 ]@uE#a:[ 15.4 多层膜 314 ZCB_ 15.5 含义 319 J.ck~;3 15.6 反演工程实例 319 5e$~)fL 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 MxY/`9>E|+ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 \|E^v6E%0 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 4$*%gL;f^ 16.1 光学性质的热致偏移 329 <5NF; 16.2 应力工具 335 =|I>G?g- 16.3 均匀性误差 339 c0hwc1kv- 16.3.1 圆锥工具 339 {@tv>!WW 16.3.2 波前问题 341 d!:6[7X6 16.4 参考文献 343 l-ct?T_@ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 hRty [ 17.1 引言 345 .G+Pe'4a 17.2 操作数 345 AwslWkd= 18 如何在Function中编写脚本 351 Z\HX~*,6 18.1 简介 351 :,J}z~I,lB 18.2 什么是脚本? 351 ]3g?hM6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 9'{}!-(xR 18.4 基础 352 #B:hPZM1 18.4.1 Classes(类别) 352 6(G?MW. 18.4.2 对象 352 %*&UJpbA 18.4.3 信息(Messages) 352 Sqo
:- 18.4.4 属性 352 c05 %iv 18.4.5 方法 353 #m[|2R 18.4.6 变量声明 353 ,t`Kv1 18.5 创建对象 354 xfb]b2 18.5.1 创建对象函数 355 ,(;lIP 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 /\H>y 18.5.3 丢弃对象 356 QF&W`c 18.5.4 总结 356 nS&3?lx9_ 18.6 脚本中的表格 357 tkXEHsRT 18.6.1 方法1 357 )l!3( 18.6.2 方法2 357 ]R=,5kK3 18.7 2D Plots in Scripts 358 RTv
qls 18.8 3D Plots in Scripts 359 ^_ kJKM, 18.9 注释 360 BRk0CLr5 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ]|sAK%/ 18.11 一个更高级的脚本 362 BQ @huns3 18.12 <esc>键 364 Er{#ziN+ 18.13 包含文件 365 K^B%/T]d 18.14 脚本被优化调用 366
~i21%$ 18.15 脚本中的对话框 368 $6CwkM: 18.15.1 介绍 368 ~t^eiyv 18.15.2 消息框-MsgBox 368 2D:fJ~|-[ 18.15.3 输入框函数 370 L~ IhsiB 18.15.4 自定义对话框 371 ed:@C? 18.15.5 对话框编辑器 371 e'=MQ,EWd 18.15.6 控制对话框 377 5vw{b? 18.15.7 更高级的对话框 380 TOoQZTI 18.16 Types语句 384 h;-yU.(w 18.17 打开文件 385 lhtZaU~V 18.18 Bags 387 WdnIp! 18.13 进一步研究 388 ZeEWp3vW 19 vStack 389 "h|'}7p 19.1 vStack基本原理 389 .VkbYK 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 UQ[B?jc 19.3 五棱镜 393 !vk|<P1 19.4 光束距离 396 r" K':O6y 19.5 误差 399 ;>AL`M+ 19.6 二向分色棱镜 399 H_0/f8GwnG 19.7 偏振泄漏 404 HgBGV0 19.8 波前误差—相位 405 wN2QK6Oc 19.9 其它计算参数 405 v$=QA:!U 20 报表生成器 406 r)i>06Hd 20.1 入门 406 Y&
F=t/U2 20.2 指令(Instructions) 406 P|HKn,ar 20.3 页面布局指令 406 j~FD{%4N 20.4 常见的参数图和三维图 407 tOOchu?= 20.5 表格中的常见参数 408 aDehqP6vf 20.6 迭代指令 408 uio@r^Xz 20.7 报表模版 408 ^mb[j`CCt 20.8 开始设计一个报表模版 409 hRq3C1mR 21 一个新的project 413
!xwG%{_ 21.1 创建一个新Job 414 kFQ8
y~>y} 21.2 默认设计 415 UThB7(O, 21.3 薄膜设计 416 JKX_q&bUw 21.4 误差的灵敏度计算 420 e#B#B 21.5 显色指数计算 422 ]q6;#EUr? 21.6 电场分布 424 HFq m6| 后记 426 )LdyC`S\c 感兴趣可以扫码加微联系 b9"jtRTdz
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