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'~OKt`SfIo 内容简介 THHA~;00YN Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 xqLIs:* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 GL8 N!, 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !)h?2#V8; 9<6Hs3|.! 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 H'wh0K( 目录 Zm#qW2a]P Preface 1 Mp)|5<% 内容简介 2 nQM7@"R 目录 i n8 e4`-cY 1 引言 1 ~R\U1XXyUY 2 光学薄膜基础 2 8b:\@]g$ 2.1 一般规则 2 Uiu9o]n 2.2 正交入射规则 3 w"?E=RS 2.3 斜入射规则 6 8,YxCm ie 2.4 精确计算 7 DY!mq91
2.5 相干性 8 ?Qdp#K]WX 2.6 参考文献 10 -[-Ry6G 3 Essential Macleod的快速预览 10 \X0wr%I 4 Essential Macleod的特点 32 dxF/]>t 4.1 容量和局限性 33 :j(D&?ao 4.2 程序在哪里? 33 v9+1[Y"; 4.3 数据文件 35 V'XvwO@ 4.4 设计规则 35 "U%jG`q 4.5 材料数据库和资料库 37 ybgAyJ{J< 4.5.1材料损失 38 Cd51.Sk(l 4.5.1材料数据库和导入材料 39 2Ik@L, 4.5.2 材料库 41 ljRR{HOl 4.5.3导出材料数据 43 5"8R|NU:\0 4.6 常用单位 43 6v9A7g;4. 4.7 插值和外推法 46 .Wq" 4.8 材料数据的平滑 50 }doJ=lc 4.9 更多光学常数模型 54 MtIhpTX 4.10 文档的一般编辑规则 55 NJTC+`Hm 4.11 撤销和重做 56 ?jRyw(Q 4.12 设计文档 57 3+| {O 4.10.1 公式 58 {;j@-=pV 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ]6 vqgu 4.10.3 沉积密度 59 ,Jh('r7 4.10.4 平行和楔形介质 60 6mbHfL>cO 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 qvhol 4.10.4 性能 61
20p/p~< 4.10.5 保存设计和性能 64 5Pu
F]5 4.10.6 默认设计 64 sT"h)I)]* 4.11 图表 64 JdW:%,sv 4.11.1 合并曲线图 67 FWzf8*^ 4.11.2 自适应绘制 68 l\Or.I7n
4.11.3 动态绘图 68 Z,bv D'u 4.11.4 3D绘图 69 &.t|&8- 4.12 导入和导出 73 s(Tgv 4.12.1 剪贴板 73 fG\]&LFBU 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 58 Rmq/6s 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Uv"GG:
K_ 4.13 背景 77 >J[Wd<~t 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 !rMl" Y[ 4.15 生成Rugate 84 =#c?g Wb56 4.16 参考文献 91 I+^B] @" 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 l
TJqWSV=f 5.1 Jobs 92 DG
$._ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 * 5Y.9g3)Q 5.3 输入材料 94 |. zotEh 5.4 设计数据文件夹 95 :,^pL At 5.5 默认设计 95 (iZE}qf7g 6 细化和合成 97 v|v^(P,o 6.1 优化介绍 97 C^x+'. ^N 6.2 细化 (Refinement) 98 'ehJr/0&g 6.3 合成 (Synthesis) 100 jW-j+WGSM 6.4 目标和评价函数 101 &i~AXNw 6.4.1 目标输入 102 :
*Nvy={c 6.4.2 目标 103 #j{!&4M 6.4.3 特殊的评价函数 104 Eb<iR)e H= 6.5 层锁定和连接 104 "wPFQXU 6.6 细化技术 104 G;%Pf9o26 6.6.1 单纯形 105 fuxBoB 6.6.1.1 单纯形参数 106 \KaWR 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 O}!L;? 6.6.2.1 Optimac参数 108 3e g<) 6.6.3 模拟退火算法 109 _ .%\czO 6.6.3.1 模拟退火参数 109 aQEMCWxZ 6.6.4 共轭梯度 111 Svmyg] 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 5M{DJ/q 6.6.5 拟牛顿法 112 %#Vn?zr|~ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 )oSUhU26} 6.6.6 针合成 113 |WB<yA1 6.6.6.1 针合成参数 114 e,}]K'!t 6.6.7 差分进化 114 {t$
vsR 6.6.8非局部细化 115 dsP1Zq 6.6.8.1非局部细化参数 115 .wD>0Ig 6.7 我应该使用哪种技术? 116 q(Y<cJ?X 6.7.1 细化 116 w\'Zcw,d 6.7.2 合成 117 ^#R-_I 6.8 参考文献 117 =Po!\[SBU 7 导纳图及其他工具 118 [Pdm1]":( 7.1 简介 118 _|ucC$* 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 In0kP" 7.2.1 四分之一波长规则 119 JqO#W1h~R| 7.2.2 导纳图 120 b+NF:-fO 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 pQxaT$ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 HB4Hz0Fa 7.5 斜入射导纳图 141 B(mxW8y 7.6 对称周期 141 G^F4c{3c~ 7.7 参考文献 142 0C}7=_? 8 典型的镀膜实例 143 Hm+-gI3* 8.1 单层抗反射薄膜 145 QY2!.a^q 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 0:**uion 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 (9BjZ&ej 8.4 W-膜层 148 u!%]?MSc 8.5 V-膜层 149 ?kew[oZ 8.6 V-膜层高折射基底 150 j8@YoD5o 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 )@3ce' 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 GG\]}UjX 8.9 四层抗反射薄膜 153 )}?'1ciHI 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 r +;C}[E 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 YizJT0$ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 :eI.E:/' 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 `"M=Z Vk 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 7g5sJj 8.15十五层宽带抗反射膜 159 j?6%=KuX< 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 0z."6r 8.17 1/4波长堆栈 162 W;,.OoDc> 8.18 陷波滤波器 163 w&v_#\T 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 DT(A~U<y 8.20 褶皱 165 V5K!u8T 8.21 消偏振分光器1 169 .F.4fk 8.22 消偏振分光器2 171 @4h .? 8.23 消偏振立体分光器 172 (]>c8;o#b 8.24 消偏振截止滤光片 173 :gb7Py'C 8.25 立体偏振分束器1 174 ReP7c3D>p 8.26 立方偏振分束器2 177 =4yME 8.27 相位延迟器 178 s_K:h 8.28 红外截止器 179 <!&nyuSz 8.29 21层长波带通滤波器 180 anA>' 63 8.30 49层长波带通滤波器 181 Og%qv
Bj 6 8.31 55层短波带通滤波器 182 UioLu90
P 8.32 47 红外截止器 183 oj@B'j 8.33 宽带通滤波器 184 !yH&l6s 8.34 诱导透射滤波器 186 E$f.&<>T 8.35 诱导透射滤波器2 188 D(}v`q{Y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 8;.WX 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 8:-[wl/@ 8.35 增益平坦滤波器 193 6+FmYp 8.38 啁啾反射镜 1 196 bR49(K$~ 8.39 啁啾反射镜2 198 R#Id"O 8.40 啁啾反射镜3 199 6ndt1W
z 8.41 带保护层的铝膜层 200 eUVE8pZl 8.42 增加铝反射率膜 201 +|Xx=1_?BK 8.43 参考文献 202 V?HC\F- 9 多层膜 204 _i:yI-jA 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 zXvAW7 9.2 内部透过率 204 I9ubV cV8 9.3 内部透射率数据 205 J`uV $l: 9.4 实例 206 ar=uDb; 9.5 实例2 210 [1dlV/ 9.6 圆锥和带宽计算 212 F^&_O*" 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 d~O\zLQ; 10 光学薄膜的颜色 216
EdE,K1gD 10.1 导言 216 kfg9l?R$I< 10.2 色彩 216 r.[!n)* 10.3 主波长和纯度 220 O|#^ &d 10.4 色相和纯度 221 <y \>[7Y 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 uOs
8|pj, 10.6 色差 226 EG59L~nM 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 :^1 Xfc" 10.8 颜色渲染指数 234 Dx/?0F7V 10.9 色差计算 235 ?H0 #{!s 10.10 参考文献 236 L=VJl[DL 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ;->(hFJt 11.1 短脉冲 238 7
\!t/< 11.2 群速度 239 W<xu*U(A 11.3 群速度色散 241 #)hM]=,e 11.4 啁啾(chirped) 245 \$V~kgQ0 11.5 光学薄膜—相变 245 ,S2D/Y^> 11.6 群延迟和延迟色散 246 8{@|M l 11.7 色度色散 246 /'u-Fr(Q+ 11.8 色散补偿 249 eFp4MD8? 11.9 空间光线偏移 256 41^+T<+ 11.10 参考文献 258 7*M+bZ`x 12 公差与误差 260 60*2k 12.1 蒙特卡罗模型 260 siZ w-. 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 cMsm[D{b 12.2.1 误差工具 267 hoD (G X 12.2.2 灵敏度工具 271 YbND2i 12.2.2.1 独立灵敏度 271 g599Lc&
12.2.2.2 灵敏度分布 275 e54wAypPOl 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 6OF&Q`*4 12.3 参考文献 276 s|dcO 13 Runsheet 与Simulator 277 >> Z.] 13.1 原理介绍 277 LS+ _y<v= 13.2 截止滤光片设计 277 F>%~<or 14 光学常数提取 289 :&HrOdz 14.1 介绍 289 S2kFdx*Zf 14.2 电介质薄膜 289 ZC@ 33Q( 14.3 n 和k 的提取工具 295 ?gY^,Ckj 14.4 基底的参数提取 302 'mXf8 14.5 金属的参数提取 306 SHOg,#mV 14.6 不正确的模型 306 0+}42g|_ Z 14.7 参考文献 311 b<P9@h~: 15 反演工程 313 U
]`SM6 15.1 随机性和系统性 313 BRPvBs?Q,{ 15.2 常见的系统性问题 314 75u/'0~5 15.3 单层膜 314 4`yCvPu 15.4 多层膜 314 ) kfA5xi[ 15.5 含义 319 U}~SY 15.6 反演工程实例 319 L%}k.)yev 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 lRF04 15.6.2 反演工程提取折射率 327 k(pI5N}pJZ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 J70#pF 16.1 光学性质的热致偏移 329 O; 7`*}m 16.2 应力工具 335 P%A;EF~v 16.3 均匀性误差 339 7IB<0 16.3.1 圆锥工具 339 (/Lo44wT 16.3.2 波前问题 341 OS;qb:; 16.4 参考文献 343 vxhs1vh 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
s!X@ l 17.1 引言 345 T!0o(Pp< 17.2 操作数 345 }><VcouJ[ 18 如何在Function中编写脚本 351 _CO?HX5ek 18.1 简介 351 !K-lO{Z^ 18.2 什么是脚本? 351 47 xyS%X 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 [APwHIS 18.4 基础 352 0+L:+S 18.4.1 Classes(类别) 352 FNL[6.!PV 18.4.2 对象 352 T2<?4^xN 18.4.3 信息(Messages) 352 1O]'iS" 18.4.4 属性 352 2#1"(m{ 18.4.5 方法 353 dmI~$* 18.4.6 变量声明 353 [-5%[ty9X 18.5 创建对象 354 D[32t0 18.5.1 创建对象函数 355 HX%lL}E 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 X |zQZ<CO 18.5.3 丢弃对象 356 kH/u]+_ 18.5.4 总结 356 'APtY;x^{ 18.6 脚本中的表格 357 Fk=Sx<TX 18.6.1 方法1 357 }Q&zYC]d 18.6.2 方法2 357 44C"Pl
E
u 18.7 2D Plots in Scripts 358 h+=xG|1R[5 18.8 3D Plots in Scripts 359 w.Cw)#N 18.9 注释 360 #JMww 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ;,2i1m0" 18.11 一个更高级的脚本 362 b* k= 18.12 <esc>键 364 5x856RQ' 18.13 包含文件 365 1W3+ng 18.14 脚本被优化调用 366 Z>hS&B 18.15 脚本中的对话框 368 $/*19e~ 18.15.1 介绍 368 nb-]fa 18.15.2 消息框-MsgBox 368 &\tD$g~"
18.15.3 输入框函数 370 \ OPJ*/U 18.15.4 自定义对话框 371 `#@#eZ 18.15.5 对话框编辑器 371 k{\wjaf) 18.15.6 控制对话框 377 ?+Gc.lU 18.15.7 更高级的对话框 380 &!i'Q;q 18.16 Types语句 384 4SRjF$Bsz 18.17 打开文件 385 (5CdA1| 18.18 Bags 387 U}f"a! 18.13 进一步研究 388 ~5`p/.L)ZD 19 vStack 389 UU\wP(f 19.1 vStack基本原理 389 ^4MRG6G 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 A c^hZ.qPz 19.3 五棱镜 393 QIl=Ho"c 19.4 光束距离 396 <[.{aj]QV 19.5 误差 399 3oD?e 19.6 二向分色棱镜 399 cft/;Au{ 19.7 偏振泄漏 404 D+4oV6}~ 19.8 波前误差—相位 405 P+ejyl, 19.9 其它计算参数 405 .-ihxEbzr 20 报表生成器 406 T{WJf-pI 20.1 入门 406 /Ne;Kdp 20.2 指令(Instructions) 406 CgT5sk} 20.3 页面布局指令 406 LV}Z[\? 20.4 常见的参数图和三维图 407 ]bcAbCZ@ 20.5 表格中的常见参数 408 unX mMSz( 20.6 迭代指令 408 9 +1}8"~ 20.7 报表模版 408 O q3aboAt 20.8 开始设计一个报表模版 409 7QSrC/e 21 一个新的project 413 I{nrOb1G( 21.1 创建一个新Job 414 .)(5F45Wg 21.2 默认设计 415 ( JMk0H3u 21.3 薄膜设计 416 r4MPs-}oF 21.4 误差的灵敏度计算 420 DP@F-Q4 21.5 显色指数计算 422 ZNfQM&<d 21.6 电场分布 424 kB#;s 后记 426 0*J},#ba$ 感兴趣可以扫码加微联系
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