[技术]VirtualLab Fusion应用：氧化硅膜层的可变角椭圆偏振光谱（VASE）分析 [复制链接]

摘要 -d9L  
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可变角度椭圆偏振光谱仪（VASE）是一种常用的技术，由于其对光学参数的微小变化具有高灵敏度，而被用在许多使用薄膜结构的应用中，如半导体、光学涂层、数据存储、平板制造等。在本用例中，我们演示了VirtualLab Fusion中的椭圆偏振分析器在二氧化硅（SiO2）涂层上的使用。对于系统的参数，我们参考Woollam等人的工作 "可变角度椭圆偏振光谱仪（VASE）概述。I. 基本理论和典型应用"，并研究该方法对轻微变化的涂层厚度有多敏感。 75pn1*"gQ  
任务描述 P~#LbUP(  
镀膜样品 #<y/m*Ota  
椭圆偏振分析仪 7z_ZD0PxPc  
总结 - 组件... wV\7  
椭圆偏振系数测量  wh#IQ.E-  
椭圆偏振分析仪测量反射系数（s-和p-极化分量）的比率𝜌，并输出相位差𝛥，以及振幅分量Ψ，根据 )(OGo`4Qz  
在VirtualLab Fusion中，复数系数𝑅p和𝑅s是通过应用严格耦合波分析（RCWA），也被称为傅里叶模态法（FMM）来计算。因此，在研究光栅样品的情况下，这些系数也可以是特定衍射阶数的瑞利系数。 ;eJ|)*  
椭圆偏振对小厚度变化的敏感性 "Lyb4#M  
为了评估椭偏仪对涂层厚度即使是非常小的变化的敏感性，对10纳米厚的二氧化硅层和10.1纳米厚的二氧化硅膜的结果进行了比较。即使是厚度的微小变化，1埃的差异也高于普通椭圆偏振的分辨率（0.02°为𝑇，0.1°为𝛥*）。因此，即使是涂层中的亚纳米变化也可以通过椭偏仪来测量。 Kum" }ux  
* 数值根据Woollam et al., Proc. SPIE 10294, 1029402 (1999) 4B9D  
仿真结果与参考文献的比较 PMi.)%++  
被研究的SiO2层厚度变化为1埃时，𝛹和𝛥的差异。