切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1178阅读
    • 6回复

    [求助]AR膜中间脱膜 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线飞奔的牛
    实习生
     
    发帖
    39
    光币
    58
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-01-22
    6层膜，GE/ZNS/  GE/ZNS/  GE/ZNS,膜层在ZNS之后镀GE脱膜，晶圆经过划成小片，边缘出现中间膜层脱膜。想求助一下是什么原因 nd?R|._R  
    目前怀疑是ZNS+GE之间膜层结合力不好 tW7*(D  
    本主题包含附件，请 登录 后查看, 或者 注册 成为会员
     
    回复
    举报
    分享到
    离线ouyuu
    论坛版主
    发帖
    589
    光币
    3388
    光券
    1
    只看该作者 1楼 发表于: 2025-02-20
    真空度，温度，镀膜速率都有关系的。另外你是用什么镀的？阻蒸还是电子枪？
    回复
    举报
    离线nailiang
    实习生
    发帖
    6
    光币
    14
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 07-16
    楼主问题有解决吗？我们倒数第二层用的ybf3。超声过后最外层的zns出现了整块脱膜，脱膜范围是基片边缘一圈。
    回复
    举报
    离线飞奔的牛
    实习生
    发帖
    39
    光币
    58
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 07-17
    回 nailiang 的帖子
    nailiang:楼主问题有解决吗？我们倒数第二层用的ybf3。超声过后最外层的zns出现了整块脱膜，脱膜范围是基片边缘一圈。 (2026-07-16 13:12)  N%A[}Y0;MW  
    0wLu*K5$4E  
    建议做完加个退火处理，我是修改了离子源的参数解决的
    回复
    举报
    离线飞奔的牛
    实习生
    发帖
    39
    光币
    58
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 07-17
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:真空度，温度，镀膜速率都有关系的。另外你是用什么镀的？阻蒸还是电子枪？ (2025-02-20 11:33)  EX%KfWDr  
    \0iF <0oy  
    基本都试验了，最后改的离子源参数，增加退火处理，怀疑应力没释放掉
    回复
    举报
    离线nailiang
    实习生
    发帖
    6
    光币
    14
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 07-17
    回 飞奔的牛 的帖子
    飞奔的牛:建议做完加个退火处理，我是修改了离子源的参数解决的 (2026-07-17 14:18)  F?#^wm5TZ  
    K.s\xA5`_  
    你们的离子源是全程开启的吗？我们只是打底层使用离子源辅助
    回复
    举报
    离线飞奔的牛
    实习生
    发帖
    39
    光币
    58
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 前天 13:49
    回 nailiang 的帖子
    nailiang:你们的离子源是全程开启的吗？我们只是打底层使用离子源辅助 (2026-07-17 15:23)  4FwtC"G3  
    KHnq%#  
    不算全程开启，中间层1-2层没加
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表