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    [求助]AR膜中间脱膜 [复制链接]

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    在线飞奔的牛
    实习生
     
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    光币
    31
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 5小时前
    6层膜，GE/ZNS/  GE/ZNS/  GE/ZNS,膜层在ZNS之后镀GE脱膜，晶圆经过划成小片，边缘出现中间膜层脱膜。想求助一下是什么原因 }>93X0%r  
    目前怀疑是ZNS+GE之间膜层结合力不好 bwR$9 10b  
     
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